能量测量装置及激光设备的制作方法

本申请属于光学设备，尤其涉及一种能量测量装置及激光设备。

背景技术：

1、随着激光技术的飞速迭代与产业化应用的深度拓展，激光加工凭借其高精度、高效率、低损伤的核心优势，已成为pcb（印刷电路板）、fpc（柔性电路板）等精密电子元器件制造过程中的关键工艺手段。在电路板钻孔、切割、刻蚀等加工环节，激光束的能量稳定性直接决定了加工精度、线路导通性及产品良率。

2、当前电子制造业对电路板的小型化、高密度、柔性化要求持续提升，推动激光加工设备向高动态、高速度方向发展，加工过程中激光束常以动态扫描、连续移动的方式作业。然而，当前相关技术中的激光能量测量装置仅适配静态激光束的能量检测场景，依赖固定光路与静态光斑接收结构，无法适配动态激光束的传播特性与光斑变化规律。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种能量测量装置及激光设备，旨在解决当前能量测量装置无法适配动态激光束的技术问题。

2、本申请实施例是这样实现的，第一方面，提供一种能量测量装置，包括能量计及调光组件，所述能量计能够接收经所述调光组件调节后出射的光束并进行测量，所述调光组件包括衰减片、聚焦镜及散射片，所述衰减片及所述散射片沿所述光束的传输方向排布，所述聚焦镜设置于所述光束的光路上。

3、在第一方面的一种可能的情况在于，所述衰减片、所述聚焦镜及所述散射片沿所述光束的传输方向依次间隔排布。

4、在第一方面的一种可能的情况在于，能量测量装置还包括镜座，所述镜座安装于所述能量计，所述调光组件安装于所述镜座上。

5、在第一方面的一种可能的情况在于，所述能量计的入射端设置有窗口，所述镜座环绕所述窗口设置，所述镜座内设有贯穿的透光孔，所述衰减片、所述聚焦镜及所述散射片均设置于所述透光孔内。

6、在第一方面的一种可能的情况在于，所述镜座包括沿所述光束的传输方向依次可拆卸连接的第一座部、第二座部及第三座部，所述第三座部可拆卸连接于所述能量计，所述第一座部环绕所述衰减片设置，并形成第一孔部，所述第二座部环绕所述聚焦镜设置，并形成第二孔部，所述第三座部环绕所述散射片设置，并形成第三孔部，所述第一孔部、所述第二孔部及所述第三孔部共同形成所述透光孔。

7、在第一方面的一种可能的情况在于，所述能量测量装置还包括固定座，所述能量计安装于所述固定座，所述固定座用于与外部结构件安装。

8、在第一方面的一种可能的情况在于，所述固定座包括第一固定板、第二固定板及连接板，所述第一固定板包括呈夹角设置的第一固定部及第一弯折部，第二固定板包括呈夹角设置的第二固定部及第二弯折部，所述第一弯折部与所述第二弯折部相连，且所述第一固定部与所述第二固定部之间形成避让空间，所述第二固定部用于与外部结构件连接，所述连接板连接于所述能量计与所述第一固定部之间，并用于调节所述能量计的位置。

9、在第一方面的一种可能的情况在于，所述固定座的至少部分棱角处设置有倒角。

10、第二方面，提供一种激光设备，包括激光器及如上任一可能情况所述的能量测量装置，所述激光器用于向所述能量测量装置出射所述光束。

11、在第二方面的一种可能的情况在于，所述激光设备还包括分光镜，所述分光镜能够将所述激光器出射的所述光束分为出射方向不同的两个光路，所述能量测量装置位于其中一个所述光路上。

12、本申请实施例相对于现有技术的技术效果是：该能量测量装置通过设置衰减片调节能量大小避免传感器过载或信号丢失、通过设置聚焦镜压缩动态发散光斑防止能量泄漏、通过设置散射片优化高斯光斑能量分布降低测量偏差，三者协同实现动态激光束的稳定精准测量，突破静态测量局限。同时，该能量测量装置还通过衰减片前置降功率以及散射片分散能量的分级防护，减少高功率激光对能量计传感器的损耗，降低运维成本，延长了该装置的使用寿命。

1.一种能量测量装置，其特征在于，包括能量计及调光组件，所述能量计能够接收经所述调光组件调节后出射的光束并进行测量，所述调光组件包括衰减片、聚焦镜及散射片，所述衰减片及所述散射片沿所述光束的传输方向排布，所述聚焦镜设置于所述光束的光路上。

2.如权利要求1所述的能量测量装置，其特征在于，所述衰减片、所述聚焦镜及所述散射片沿所述光束的传输方向依次间隔排布。

3.如权利要求1所述的能量测量装置，其特征在于，能量测量装置还包括镜座，所述镜座安装于所述能量计，所述调光组件安装于所述镜座上。

4.如权利要求3所述的能量测量装置，其特征在于，所述能量计的入射端设置有窗口，所述镜座环绕所述窗口设置，所述镜座内设有贯穿的透光孔，所述衰减片、所述聚焦镜及所述散射片均设置于所述透光孔内。

5.如权利要求4所述的能量测量装置，其特征在于，所述镜座包括沿所述光束的传输方向依次可拆卸连接的第一座部、第二座部及第三座部，所述第三座部可拆卸连接于所述能量计，所述第一座部环绕所述衰减片设置，并形成第一孔部，所述第二座部环绕所述聚焦镜设置，并形成第二孔部，所述第三座部环绕所述散射片设置，并形成第三孔部，所述第一孔部、所述第二孔部及所述第三孔部共同形成所述透光孔。

6.如权利要求1所述的能量测量装置，其特征在于，所述能量测量装置还包括固定座，所述能量计安装于所述固定座，所述固定座用于与外部结构件连接。

7.如权利要求6所述的能量测量装置，其特征在于，所述固定座包括第一固定板、第二固定板及连接板，所述第一固定板包括呈夹角设置的第一固定部及第一弯折部，第二固定板包括呈夹角设置的第二固定部及第二弯折部，所述第一弯折部与所述第二弯折部相连，且所述第一固定部与所述第二固定部之间形成避让空间，所述第二固定部用于与外部结构件连接，所述连接板连接于所述能量计与所述第一固定部之间，并用于调节所述能量计的位置。

8.如权利要求6所述的能量测量装置，其特征在于，所述固定座的至少部分棱角处设置有倒角。

9.一种激光设备，其特征在于，包括激光器及如权利要求1至8任一项所述的能量测量装置，所述激光器用于向所述能量测量装置出射所述光束。

10.如权利要求9所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备还包括分光镜，所述分光镜能够将所述激光器出射的所述光束分为出射方向不同的两个光路，所述能量测量装置位于其中一个所述光路上。