一种主动隔振系统的校准方法、装置、电子设备及存储介质与流程

本技术涉及半导体，具体而言，涉及一种主动隔振系统的校准方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术：

1、高精密度设备作为高精度工具，广泛应用于半导体行业的制造过程中，扮演着至关重要的角色，这些设备的运行精度直接影响着最终产品的质量和性能。在高精密度设备中，主动隔振系统是最为重要的系统之一，它的作用是抑制振动并提高设备的精度和稳定性。主动隔振系统是一个复杂的机电系统，主要由3个减振器组成，整个控制结构包含传感器、控制器和执行器。由于制造公差、材料老化、温度漂移及安装时产生的微小差异，使得每个减振器的电气特性和机械特性不可能完全一致。如果直接使用未经测校的默认参数，主动隔振系统自身就会成为一个不稳定的振动源，根本无法提供高精密度设备所需的超稳定环境。

2、现有技术中减振器作为主动隔振系统中的被控对象，通过在x及y向上正负方向手动推动获得行程的最大值及最小值，根据最大值及最小值计算作为水平方向设定点，垂直方向设定点采用固定厚度塞尺标定3个减振器同时浮起同样的固定高度。

3、现有技术中减振器通过在x及y向的正负方向手动推动获得行程的最大值及最小值，根据最大值及最小值计算作为水平方向设定点，然而手动推动减振器获得行程的最大值及最小值会产生较大的测量误差，垂直方向设定点使用塞尺测量会产生较大的误差。

技术实现思路

1、本技术实施例的目的在于提供一种主动隔振系统的校准方法、装置、电子设备及存储介质，用以解决现有的手动主动隔振系统校准方案误差过大的技术问题。

2、第一方面，本发明提供一种主动隔振系统的校准方法，通过以下步骤获得主动隔振系统的水平方向设定坐标（x，y，rz）：

3、在主动隔振系统气动回路及电机逻辑轴位置回路稳定状态下，控制电机驱动减振器带动主基板，通过x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的位置追踪算法获取主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向的运动轨迹，其中，所述运动轨迹包括三个电机逻辑轴方向上最大正向行程和最大负向行程；

4、根据所述运动轨迹，确定出稳定状态下主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向上与零位的距离绝对值；

5、基于所述距离绝对值与第一预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器水平方向的位置传感器偏置，并重新执行获取所述运动轨迹的步骤；

6、若否，则根据所述运动轨迹，确定出主动隔振系统的水平方向设定坐标。

7、在可选的实施方式中，通过以下方式获取主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向的运动轨迹：

8、确定主动隔振系统气动回路及电机逻辑轴位置回路稳定状态后，控制电机驱动减振器带动主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向正向运动，通过x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的位置追踪算法获取主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向的第一运动轨迹；

9、根据所述第一运动轨迹，确定出主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的最大正向行程；

10、控制电机驱动减振器带动主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向回零。

11、在可选的实施方式中，确定主动隔振系统气动回路及电机逻辑轴位置回路稳定状态后，控制电机驱动减振器带动主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向负向运动，通过x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的位置追踪算法获取主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向的第二运动轨迹；

12、根据所述第二运动轨迹，确定出主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的最小负向行程；

13、控制电机驱动减振器带动主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向回零。

14、在可选的实施方式中，所述基于所述距离绝对值与第一预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器水平方向的位置传感器偏置的步骤，具体包括：

15、若主基板在x、y、rz中任一电机逻辑轴方向上的距离绝对值大于等于第一预设值，则确定需要更新减振器水平方向的位置传感器偏置。

16、第二方面，本发明提供一种主动隔振系统的校准方法，通过以下步骤获得主动隔振系统的垂直方向设定坐标（z1，z2，z3）：

17、在主动隔振系统电机物理轴回路稳定状态下，控制气动回路气阀及电机物理轴位置回路电机驱动减振器带动主基板，通过z1、z2、z3三个电机物理轴垂直方向上的位置追踪算法获取主基板在z1、z2、z3三个电机物理轴垂直方向的运动轨迹，其中，所述运动轨迹包括三个电机物理轴垂直方向上的最大负向行程；

18、根据所述运动轨迹，确定出稳定状态下主基板在三个电机物理轴垂直方向上与指定位置的距离绝对值；

19、基于所述距离绝对值与第二预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器垂直方向的位置传感器偏置，并重新执行获取所述运动轨迹的步骤；

20、若否，则根据所述运动轨迹，确定出主动隔振系统的垂直方向设定坐标。

21、在可选的实施方式中，所述基于所述距离绝对值与第二预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器垂直方向的位置传感器偏置的步骤，具体包括：

22、若主基板在z1、z2、z3中任一电机物理轴垂直方向上的距离绝对值大于等于第二预设值，则确定需要更新减振器垂直方向的位置传感器偏置。

23、第三方面，本发明提供一种主动隔振系统的校准装置，包括校准模块，用于通过以下步骤获得主动隔振系统的水平方向设定坐标（x，y，rz）：

24、在主动隔振系统气动回路及电机逻辑轴位置回路稳定状态下，控制电机驱动减振器带动主基板，通过x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的位置追踪算法获取主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向的运动轨迹，其中，所述运动轨迹包括三个电机逻辑轴方向上最大正向行程和最大负向行程；

25、根据所述运动轨迹，确定出稳定状态下主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向上与零位的距离绝对值；

26、基于所述距离绝对值与第一预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器水平方向的位置传感器偏置，并重新执行获取所述运动轨迹的步骤；

27、若否，则根据所述运动轨迹，确定出主动隔振系统的水平方向设定坐标。

28、第四方面，本发明提供一种主动隔振系统的校准装置，包括校准模块，用于通过以下步骤获得主动隔振系统的垂直方向设定坐标（z1，z2，z3）：

29、在主动隔振系统电机物理轴回路稳定状态下，控制气动回路气阀及电机物理轴位置回路电机驱动减振器带动主基板，通过z1、z2、z3三个电机物理轴垂直方向上的位置追踪算法获取主基板在z1、z2、z3三个电机物理轴垂直方向的运动轨迹，其中，所述运动轨迹包括三个电机物理轴垂直方向上的最大负向行程；

30、根据所述运动轨迹，确定出稳定状态下主基板在三个电机物理轴垂直方向上与指定位置的距离绝对值；

31、基于所述距离绝对值与第二预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器垂直方向的位置传感器偏置，并重新执行获取所述运动轨迹的步骤；

32、若否，则根据所述运动轨迹，确定出主动隔振系统的垂直方向设定坐标。

33、第五方面，本发明提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如前述实施方式以及前述实施方式中任一所述主动隔振系统的校准方法的步骤。

34、第六方面，本发明提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如前述实施方式以及前述实施方式中任一所述主动隔振系统的校准方法的步骤。

35、本技术提供的一种主动隔振系统的校准方法、装置、电子设备及计存储介质，其中，方法包括通过以下步骤获得主动隔振系统的水平方向设定坐标（x，y，rz）：在主动隔振系统气动回路及电机逻辑轴位置回路稳定状态下，控制电机驱动减振器带动主基板，通过x、y、rz三个电机逻辑轴方向上的位置追踪算法获取主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向的运动轨迹，其中，所述运动轨迹包括三个电机逻辑轴方向上最大正向行程和最大负向行程；根据所述运动轨迹，确定出稳定状态下主基板在x、y、rz三个电机逻辑轴方向上与零位的距离绝对值；基于所述距离绝对值与第一预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器水平方向的位置传感器偏置，并重新执行获取所述运动轨迹的步骤；若否，则根据所述运动轨迹，确定出主动隔振系统的水平方向设定坐标。以及通过以下步骤获得主动隔振系统的垂直方向设定坐标（z1，z2，z3）：在主动隔振系统电机物理轴回路稳定状态下，控制气动回路气阀及电机物理轴位置回路电机驱动减振器带动主基板，通过z1、z2、z3三个电机物理轴垂直方向上的位置追踪算法获取主基板在z1、z2、z3三个电机物理轴垂直方向的运动轨迹，其中，所述运动轨迹包括三个电机物理轴垂直方向上的最大负向行程；根据所述运动轨迹，确定出稳定状态下主基板在三个电机物理轴垂直方向上与指定位置的距离绝对值；基于所述距离绝对值与第二预设值之间的大小关系，确定是否更新减振器垂直方向的位置传感器偏置，并重新执行获取所述运动轨迹的步骤；若否，则根据所述运动轨迹，确定出主动隔振系统的垂直方向设定坐标。与现有的手动校准相比，本技术通过使用轨迹规划算法、运动控制算法、数据追踪算法及逻辑轴控制算法，完成对水平向设定点及垂向设定点的测校，提高了设定点的准确性，以确保主动隔振系统工作在最优状态，为高精密度设备提供稳定环境。