程序、预测方法、预测装置、决定方法以及决定装置与流程

本发明涉及一种程序、预测方法、预测装置、决定方法以及决定装置。

背景技术：

1、在专利文献1中记载了一种通孔的检查装置，该通孔的检查装置设定印刷电路板的焊盘的rgb信息，将检查区域的图像二值化，并执行基于二值化映射的标记处理，来检查设置于焊盘的通孔的形成状态。在专利文献2中记载了一种装置，该装置在检查丝网印刷版中的与印刷图案相应的丝网开口部的尺寸时，对丝网印刷版的摄像数据进行处理，进行排除了颜色深浅反复的部分的明暗或鲜艳度的差异的影响的图案提取。在专利文献3中记载了如下的装置和方法：在检查丝网印刷版中的丝网开口部的尺寸时，在对于色相处于规定的色相值的范围内且能够视觉辨认颜色深浅的区域通过选择其一部分这样的简便的处理来提取的情况下，能够排除颜色深浅反复的部分的明暗、鲜艳度的差异的影响。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2010-175483号公报

5、专利文献2：日本专利第7082426号公报

6、专利文献3：国际公开第2021-152924号小册子

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在进行使层叠在基板上的感光性材料选择性地感光并将没有感光的部位溶解去除的工艺的情况下，期望通过自动地检测在溶解去除后残留在基板上的感光性材料的量来定量地预测感光性材料对光的灵敏度。

3、用于解决问题的方案

4、在本发明的第一方式中，提供一种用于预测感光性材料的与光有关的灵敏度的程序。通过计算机执行所述程序，所述计算机执行以下阶段：获取通过对经由排列有多个光照射区域的透射片向第一特定颜色的基板照射预先规定的曝光量的光并实施显影处理之后的所述基板进行拍摄而得到的、表示与所述多个光照射区域对应的多个检查区域的基板图像，其中，所述基板设置有作为预测对象的感光性材料，所述多个光照射区域的光的透射率阶段性地不同；从所述基板图像获取所述多个检查区域中的各个检查区域的色调；以及基于所述多个检查区域中的各个检查区域的色调和预先规定的基准色调，来预测所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度。

5、在所述程序中，所述基准色调可以是针对在配置有所述作为预测对象的感光性材料的所述基板中的、视为在照射预先规定的曝光量的光并实施显影处理之后所述感光性材料的剩余量为阈值量以上的检查区域预先规定的色调。

6、在任意的所述程序中，所述多个光照射区域中的各个光照射区域可以包括具有预先规定的大小且具有预先规定的透射率的区域，该区域用于划定用于唯一地识别所述多个光照射区域中的各个光照射区域且与透射率相应的各个符号。获取所述多个检查区域中的各个检查区域的色调的阶段可以包括以下阶段：根据所述基板图像确定表示所述符号的符号区域，基于所述符号区域的特征来确定一个检查区域的大小，基于所确定出的一个检查区域的大小，根据所述基板图像来确定所述多个检查区域中的各个检查区域。

7、在任意的所述程序中，所述符号可以是数字。

8、在任意的所述程序中，获取所述多个检查区域中的各个检查区域的色调的阶段可以包括以下阶段：从所述基板图像剪切包含所述第一特定颜色的含特定颜色图像；以及根据所述含特定颜色图像确定表示所述符号的符号区域，基于所述符号区域的特征来确定一个检查区域的大小，基于所确定出的一个检查区域的大小，根据所述含特定颜色图像来确定所述多个检查区域中的各个检查区域。

9、在任意的所述程序中，获取所述多个检查区域中的各个检查区域的色调的阶段可以还包括以下阶段：在从所述基板图像剪切包含所述第一特定颜色的区域的含特定颜色图像的阶段之前，在所述基板图像的周围添加与所述第一特定颜色不同的第二特定颜色的图像。

10、在任意的所述程序中，预测所述灵敏度的阶段可以包括以下阶段：导出所述多个检查区域中的各个检查区域的色调与基于同所述多个检查区域对应的所述多个光照射区域中的各个符号的第一参数之间的关系；以及基于所述基准色调和所述关系，来确定针对所述基准色调的所述第一参数的值，由此预测所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度。

11、任意的所述程序可以还包括以下阶段：导出所述基板图像中的所述多个检查区域所包含的所述第一特定颜色的比例；以及基于所述多个检查区域中的各个彼此相邻的检查区域之间的所述比例之差，来决定可预测为所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度的最高灵敏度。预测所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度的阶段可以包括以下阶段：在所预测出的所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度比所述最高灵敏度高的情况下，将所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度预测为所述最高灵敏度。

12、在任意的所述程序中，所述色调可以是基于lab值的值。

13、在任意的所述程序中，所述色调可以是基于所述多个检查区域的lab值与所述第一特定颜色的lab值之间的距离的值。

14、在任意的所述程序中，所述基板图像可以还包括以不经由所述透射片的方式照射所述预先规定的曝光量的光之后的第二部分。可以为，将第三特定颜色设为所述第二部分的颜色，所述色调是基于所述多个检查区域的lab值与所述第三特定颜色的lab值之间的距离的值。

15、在本发明的第二方式中，提供一种用于决定在用于预测感光性材料的与光有关的灵敏度的预测方法中使用的基准色调的程序。通过计算机执行所述程序，所述计算机执行以下阶段：按多个样本的基板中的每个基板，获取通过对经由排列有多个光照射区域的透射片向设置有所述感光性材料的第一特定颜色的基板照射预先规定的曝光量的光并实施显影处理之后的所述基板进行拍摄而得到的、表示与所述多个光照射区域对应的多个检查区域的基板图像，其中，所述多个光照射区域的光的透射率阶段性地不同；按所述多个样本的基板中的每个基板，受理灵敏度的指定；按所述多个样本的基板中的每个基板，获取所述多个检查区域的色调；以及基于所述灵敏度和所述多个样本的基板中的每个基板的所述色调，根据通过对设置有作为预测对象的感光性材料的基板进行拍摄而得到的预测对象的基板图像来决定基准色调。

16、在所述程序中，也可以是，受理所述灵敏度的指定的阶段包括以下阶段：通过受理所述基板图像的所述多个检查区域中的、排列在视为所述感光性材料的剩余量小于阈值量的检查区域的旁边且视为所述感光性材料的剩余量为所述阈值量以上的检查区域的指定，来按所述多个样本的基板中的每个基板受理灵敏度的指定。

17、在任意的所述程序中，可以为，所述多个光照射区域中的各个光照射区域包括具有预先规定的透射率的区域，该区域用于划定用于唯一地识别所述多个光照射区域中的各个光照射区域且与透射率相应的各个符号，所述多个检查区域包括表示所述各个符号的符号区域。所述受理的阶段可以包括以下阶段：通过所述符号的指定来受理视为所述感光性材料的剩余量为所述阈值量以上的检查区域的指定。

18、在任意的所述程序中，所述色调可以是基于lab值的值。

19、在任意的所述程序中，所述色调可以是基于所述检查区域的lab值与所述第一特定颜色的lab值之间的距离的值。

20、在任意的所述程序中，所述基板图像可以还包括以不经由所述透射片的方式照射所述预先规定的曝光量的光之后的第二部分。可以为，将第三特定颜色设为所述第二部分的颜色，所述色调是基于所述检查区域的lab值与所述第三特定颜色的lab值之间的距离的值。

21、在本发明的第三方式中，提供一种预测感光性材料的与光有关的灵敏度的预测方法。所述预测方法包括以下阶段：图像获取部获取通过对经由排列有多个光照射区域的透射片向特定颜色的基板照射预先规定的曝光量的光之后的所述基板进行拍摄而得到的、表示与所述多个光照射区域对应的多个检查区域的基板图像，其中，所述基板设置有作为预测对象的感光性材料，所述多个光照射区域的光的透射率阶段性地不同；色调获取部从所述基板图像获取所述多个检查区域中的各个检查区域的色调；以及预测部基于所述多个检查区域中的各个检查区域的色调和预先规定的基准色调，来预测所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度。

22、在本发明的第四方式中，提供一种预测感光性材料的与光有关的灵敏度的预测装置。所述预测装置具备：图像获取部，其获取通过对经由排列有多个光照射区域的透射片向特定颜色的基板照射预先规定的曝光量的光之后的所述基板进行拍摄而得到的、表示与所述多个光照射区域对应的多个检查区域的基板图像，其中，所述基板设置有作为预测对象的感光性材料，所述多个光照射区域的光的透射率阶段性地不同；色调获取部，其从所述基板图像获取所述多个检查区域中的各个检查区域的色调；以及预测部，其基于所述多个检查区域中的各个检查区域的色调和预先规定的基准色调，来预测所述作为预测对象的感光性材料的灵敏度。

23、在本发明的第五方式中，提供一种决定在用于预测感光性材料的与光有关的灵敏度的预测方法中使用的基准色调的决定方法。所述决定方法包括以下阶段：图像获取部按多个样本的基板中的每个基板，获取通过对经由排列有多个光照射区域的透射片向设置有所述感光性材料的第一特定颜色的基板照射预先规定的曝光量的光之后的所述基板进行拍摄而得到的、表示与所述多个光照射区域对应的多个检查区域的基板图像，其中，所述多个光照射区域的光的透射率阶段性地不同；受理部按所述多个样本的基板中的每个基板，受理所述基板图像的所述多个检查区域中的、排列在视为所述感光性材料的剩余量小于阈值量的检查区域的旁边且视为所述感光性材料的剩余量为所述阈值量以上的检查区域的指定；色调获取部按所述多个样本的基板中的每个基板，获取所指定的所述检查区域的色调；以及决定部基于所述多个样本的基板中的每个基板的色调，根据通过对设置有作为预测对象的感光性材料的基板进行拍摄而得到的预测对象的基板图像来决定基准色调。

24、在本发明的第六方式中，提供一种决定在用于预测感光性材料的与光有关的灵敏度的预测方法中使用的基准色调的决定装置。所述决定装置具备：图像获取部，其按多个样本的基板中的每个基板，获取通过对经由排列有多个光照射区域的透射片向设置有所述感光性材料的第一特定颜色的基板照射预先规定的曝光量的光之后的所述基板进行拍摄而得到的、表示与所述多个光照射区域对应的多个检查区域的基板图像，其中，所述多个光照射区域的光的透射率阶段性地不同；受理部，其按多个样本的基板中的每个基板，受理所述基板图像的所述多个检查区域中的、排列在视为所述感光性材料的剩余量小于阈值量的检查区域的旁边且视为所述感光性材料的剩余量为所述阈值量以上的检查区域的指定；色调获取部，其按多个样本的基板中的每个基板，获取所指定的所述检查区域的色调；以及决定部，其基于所述多个样本的基板中的每个基板的色调，根据通过对设置有作为预测对象的感光性材料的基板进行拍摄而得到的预测对象的基板图像来决定基准色调。

25、此外，上述的 技术实现要素： 并没有列举出本发明的全部特征。这些特征组的副组合也能够成为发明。