一种干涉仪出光垂直度调试系统及调试方法与流程

本申请涉及光学干涉仪装调、光束角度校准，特别涉及一种干涉仪出光垂直度调试系统及调试方法。

背景技术：

1、激光干涉仪多用于精密测量与光学标定场景，其出光与基准反射镜的垂直度直接影响干涉仪测量的行程，是干涉仪装调的核心关键。现有干涉仪光路调节多采用光斑放远，并且人工目视光斑、靶标试错调节的方式，缺少实时可视化反馈手段，仅能依靠多次试错调整，光路校准难度大，存在明显的弊端。行业内缺乏高效、精准的一体化调装方案。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供及一种干涉仪出光垂直度调试系统及调试方法，实现光束夹角可视化、高精度、快速校准，降低人为误差，提升调试效率与光路稳定性。

2、第一方面，本申请提供了一种干涉仪出光垂直度调试系统，包括：

3、布置于第一直线的干涉仪、迈克尔逊工装和反射镜；平行光管设置于所述迈克尔逊工装的出光路径上；ccd相机设置于所述平行光管的焦平面处，并与显示终端电连接；

4、从所述干涉仪出射的激光射入所述迈克尔逊工装，得到的反射光束直接射入所述平行光管，得到的透射光束经过所述反射镜反射后回到所述迈克尔逊工装，再折射射入所述平行光管；

5、所述ccd相机获取所述反射光束和所述透射光束的入射位置，并在所述显示终端显示。

6、在优选的实施方式中，所述干涉仪、所述迈克尔逊工装、所述反射镜和所述平行光管共水平面布置；所述迈克尔逊工装位于所述平行光管的中心线上，且所述平行光管的中心线与所述第一直线垂直。

7、在优选的实施方式中，还包括与所述平行光管连接的第一姿态调节机构，所述第一姿态调节机构能够调节所述平行光管在空间的位置、俯仰角度和偏摆角度。

8、在优选的实施方式中，所述第一姿态调节机构为三脚架。

9、在优选的实施方式中，还包括综合调光器，通过所述综合调光器将激光导入所述干涉仪。

10、在优选的实施方式中，还包括基板，所述综合调光器设置于所述基板的上表面，所述干涉仪吊装于所述基板的下方。

11、在优选的实施方式中，还包括与所述综合调光器连接的第二姿态调节机构，所述第二姿态调节机构能够调节所述综合调光器的俯仰角度和偏摆角度。

12、在优选的实施方式中，所述显示终端为电脑。

13、第二方面，本申请提供了一种基于所述调试系统的调试方法，包括以下步骤：

14、粗调所述干涉仪、所述迈克尔逊工装、所述反射镜和所述平行光管的位置，使所述干涉仪、所述迈克尔逊工装和所述反射镜位于第一直线上，使所述迈克尔逊工装位于所述平行光管的中心线上，且使所述平行光管的中心线与所述第一直线垂直且在同一水平面内；

15、精调所述第一姿态调节机构的角度，使从所述迈克尔逊工装出射的反射光束和透射光束同时射入所述平行光管，并在所述ccd相机的靶面形成两个光斑；

16、在所述显示终端观察两个所述光斑的位置，调节所述综合调光器，使两个所述光斑重合。

17、在优选的实施方式中，还包括步骤：调整所述ccd相机的位置，使所述ccd相机的靶面与所述平行光管的焦平面重合。

18、本申请具有以下有益效果：

19、本申请利用平行光管的逆向原理将角度偏差转化为光斑位置的分离，校准精度高，消除人工目视误差；采用了ccd相机配合显示终端实时成像，可视化反馈偏差，调试流程简化，效率大幅提升。整个系统集成导光、调光结构，光路布局紧凑，调节便捷，校准后光路稳定性好。

1.一种干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，所述干涉仪、所述迈克尔逊工装、所述反射镜和所述平行光管共水平面布置；所述迈克尔逊工装位于所述平行光管的中心线上，且所述平行光管的中心线与所述第一直线垂直。

3.根据权利要求2所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，还包括与所述平行光管连接的第一姿态调节机构，所述第一姿态调节机构能够调节所述平行光管在空间的位置、俯仰角度和偏摆角度。

4.根据权利要求3所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，所述第一姿态调节机构为三脚架。

5.根据权利要求3所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于， 还包括综合调光器，通过所述综合调光器将激光导入所述干涉仪。

6.根据权利要求5所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，还包括基板，所述综合调光器设置于所述基板的上表面，所述干涉仪吊装于所述基板的下方。

7.根据权利要求6所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，还包括与所述综合调光器连接的第二姿态调节机构，所述第二姿态调节机构能够调节所述综合调光器的俯仰角度和偏摆角度。

8.根据权利要求3所述的干涉仪出光垂直度调试系统，其特征在于，所述显示终端为电脑。

9.一种基于权利要求5~8任一项所述调试系统的调试方法，其特征在于，包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的调试方法，其特征在于，还包括步骤：调整所述ccd相机的位置，使所述ccd相机的靶面与所述平行光管的焦平面重合。