一种目标角度自动补偿的MEMS振镜反射激光压制机构的制作方法

本技术具体涉及一种目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，属于mems振镜。

背景技术：

1、mems振镜是一种采用mems技术制造的，在驱动器作用下，镜面按照一定规律扭转的器件，其具体原理是通过反射镜在微小驱动结构的作用力下，发生扭转或变形，通过mens振镜一定角度的扭转从而改变光束的传播方向；mems振镜是实现激光光束快速扫描的常规手段，在激光雷达中应用广泛；现有的mems振镜驱动控制方式，如中国专利公开号：cn118732256a，公开的一种电磁驱动式mems振镜及其控制方法、控制器和介质，基于上述控制方法，可在无需额外设置温度传感器的情况下，实现对扭转梁对应的压阻传感器进行温度补偿，提高了电磁驱动式mems振镜的扭转角度控制精度，然而现有的mems振镜一般采用压电陶瓷谐振原理，加电起振后不能停止在振动区间内的任意角度上，当目标检测装置发现目标后，无法使光束按照目标固定角度持续发射，从而导致无法持续对目标进行激光压制。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本实用新型提出了一种目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，能够对目标角度自动补偿，形成对目标的持续压制。

2、本实用新型的目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，包括目标检测装置，还包括自动补偿单元，目标检测装置为现有的激光光斑检测单元，用于目标光斑检测；目标检测装置捕捉到光斑目标后，根据检测结果向自动补偿单元发送补偿信号，自动补偿单元接收到补偿信号，并根据补偿信号的高电平、低电平、上升沿和下降沿状态执行补偿动作。

3、所示自动补偿单元包括托盘，所述托盘上固定有整机控制的主控板、舵机和配重块；所述舵机输出端固定有mems振镜，所述mems振镜上方通过支架安装有光纤激光光源；所述的光纤激光光源正对mems振镜的反射面中心；所述主控板包括给整个主控板供电的电源变换模块、pwm脉冲发生模块、mems振镜角度计数模块、外触发锁存模块和振镜电源开关；

4、所述mems振镜角度计数模块的输入端口与所述mems振镜输出端连接，所述mems振镜角度计数模块的输出端口与外触发锁存模块的输入端口相连；

5、所述外触发锁存模块的输入端口连接到pwm脉冲发生模块的输入端口；

6、所述pwm脉冲发生模块的输出端口与所述的舵机的控制端连接；

7、所述振镜电源开关接入到mems振镜电源端；

8、所述振镜电源开关控制端、外触发锁存模块触发端和pwm脉冲发生模块触发端接入到目标检测装置的外部触发信号输出端。

9、先通过纤激光光源持续发射激光；当外部触发信号为低电平时，经mems振镜反射形成扫描激光；当外部触发信号发生上升沿跳变时， mems振镜角度计数模块的输出角度计数被锁存；当外部触发信号上升沿转换为高电平时， mems振镜失去电源停止振动，其偏转角度回到0°；此时，pwm脉冲发生模块开始输出pwm脉冲，驱动舵机转动到锁存角度，形成补偿角度；此时mems振镜不再振动，反射激光形成对目标的持续压制。

10、进一步地，所述pwm脉冲发生模块、mems振镜角度计数模块和外触发锁存模块由fpga硬件描述构成或直接由硬件模块搭载构成；由于电源变换模块、pwm脉冲发生模块、mems振镜角度计数模块、外触发锁存模块和振镜电源开关均为现有的成熟模块，能够直接外购集成，为此不再对每个硬件模块进行详述具体构造和工作原理；另外，pwm脉冲发生模块、mems振镜角度计数模块和外触发锁存模块也可直接采用fpga硬件描述构成，由于上述每个模块其硬件结构（输入端口、输出端口和逻辑关系）均为现有技术，且其定义过程在现有的fpga硬件描述中也得到了广泛的应用；为此，上述的主控板的各个独立模块均为现有技术，本实用新型是根据目标角度自动补偿功能需求，进行集成应用。

11、进一步地，所述目标检测装置由单片机最小系统或arm最小系统构成。

12、进一步地，所述目标检测装置输出外部触发信号为高电平时，所述振镜电源开关掉电，所述的pwm脉冲发生模块输出pwm脉冲信号；所述目标检测装置的输出外部触发信号为低电平时，所述振镜电源开关上电运行，pwm脉冲发生模块停止输出pwm脉冲信号；所述目标检测装置的输出外部触发信号为上升沿时，所述的外触发锁存模块进行锁存；所述目标检测装置的输出外部触发信号为下升沿时，所述的外触发锁存模块停止锁存。

13、与现有技术相比，本实用新型的目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，在目标角度自动补偿工作时，先将mems振镜停机，其偏转角度将恢复为0°，再通过该补偿机构回转原目标角度，使得激光光束持续对准目标，形成对目标的持续压制。

1.一种目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，包括目标检测装置，其特征在于：还包括自动补偿单元，所示自动补偿单元包括托盘，所述托盘上固定有整机控制的主控板、舵机和配重块；所述舵机输出端固定有mems振镜，所述mems振镜上方通过支架安装有光纤激光光源；所述的光纤激光光源正对mems振镜的反射面中心；所述主控板包括给整个主控板供电的电源变换模块、pwm脉冲发生模块、mems振镜角度计数模块、外触发锁存模块和振镜电源开关；

2.根据权利要求1所述的目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，其特征在于：所述pwm脉冲发生模块、mems振镜角度计数模块和外触发锁存模块由fpga硬件描述构成或直接由硬件模块搭载构成。

3.根据权利要求1所述的目标角度自动补偿的mems振镜反射激光压制机构，其特征在于：所述目标检测装置输出外部触发信号为高电平时，所述振镜电源开关掉电，所述的pwm脉冲发生模块输出pwm脉冲信号；所述目标检测装置的输出外部触发信号为低电平时，所述振镜电源开关上电运行，pwm脉冲发生模块停止输出pwm脉冲信号；所述目标检测装置的输出外部触发信号为上升沿时，所述的外触发锁存模块进行锁存；所述目标检测装置的输出外部触发信号为下升沿时，所述的外触发锁存模块停止锁存。