测试装置的制作方法

本申请属于光束质量测试，尤其涉及一种测试装置。

背景技术：

1、为保证远场激光设备的正常工作和实现预期功能，往往需要通过光束质量分析仪对激光光束的质量进行严格测试和控制。目前技术中，光束质量分析仪的标定测试往往需要利用多个激光器，导致测试耗时长且繁琐，测试效率低且测试成本高。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种测试装置，不仅省时省力，还能提高测试效率和测试的灵活性，尽可能降低了测试成本，简化了测试流程。

2、第一方面，本申请提供了一种测试装置，用于测试目标光束质量分析仪，包括：

3、激光器；

4、分光元件，用于将所述激光器的输出光分成第一测试光束和第二测试光束，以使所述目标光束质量分析仪接收所述第一测试光束并获得第一光束数据；

5、参考光束质量分析仪，用于接收所述第二测试光束并获得第二光束数据；

6、光束调节器件，设置于所述激光器和所述分光元件之间，包括扩束单元和缩束单元中的一个。

7、根据本申请的测试装置，一方面，输出光通过分光元件分成第一测试光束和第二测试光束，目标光束质量分析仪和参考光束质量分析仪分别接收第一测试光束和第二测试光束，并获得对应的获得第一光束数据和第二光束数据，以利用第二光束数据作为参考标准来对比第一光束数据，以判断目标光束质量分析仪是否合格。另一方面，由于光束调节器件包括扩束单元和缩束单元中的一个，可以在测试过程中输出光进行放缩，以改变输出光的束腰直径和发散角，使得目标光束质量分析仪和参考光束质量分析仪分别获得的第一光束数据和第二光束数据可能存在偏差，相较于相关技术中需要用多个不同的激光器或者对激光器进行转动来测试目标光束质量分析仪，可以提高测试效率和测试的灵活性，尽可能降低了测试成本，简化了测试流程。

8、根据本申请的一个实施例，所述第一测试光束的光轴和所述第二测试光束的光轴呈夹角设置。

9、根据本申请的一个实施例，所述夹角为直角。

10、根据本申请的一个实施例，所述第一测试光束的光轴和所述第二测试光束的光轴中的一个与所述输出光的光轴重合。

11、根据本申请的一个实施例，还包括：

12、第一孔径光阑，设置于所述分光元件和所述目标光束质量分析仪之间，用于限制所述第一测试光束的大小。

13、根据本申请的一个实施例，所述第一孔径光阑设置有两个，两个所述第一孔径光阑沿所述第一测试光束的光轴方向间隔设置。

14、根据本申请的一个实施例，所述第一孔径光阑的透光孔的孔径可调；和/或

15、所述第一孔径光阑沿所述第一测试光束的光轴方向的安装位置可调。

16、根据本申请的一个实施例，还包括：

17、第二孔径光阑，设置于所述分光元件和所述参考光束质量分析仪之间，用于限制所述第二测试光束的大小。

18、根据本申请的一个实施例，所述第二孔径光阑设置有两个，两个所述第二孔径光阑沿所述第二测试光束的光轴方向间隔设置。

19、根据本申请的一个实施例，所述第二孔径光阑的透光孔的孔径可调；和/或

20、所述第二孔径光阑沿所述第二测试光束的光轴方向的安装位置可调。

21、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

1.一种测试装置，用于测试目标光束质量分析仪（10），其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述第一测试光束的光轴和所述第二测试光束的光轴呈夹角设置。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述夹角为直角。

4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述第一测试光束的光轴和所述第二测试光束的光轴中的一个与所述输出光的光轴重合。

5.根据权利要求1至4任一项所述的测试装置，其特征在于，还包括：

6.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述第一孔径光阑（400）设置有两个，两个所述第一孔径光阑（400）沿所述第一测试光束的光轴方向间隔设置。

7.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述第一孔径光阑（400）的透光孔的孔径可调；和/或

8.根据权利要求1至4任一项所述的测试装置，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的测试装置，其特征在于，所述第二孔径光阑（500）设置有两个，两个所述第二孔径光阑（500）沿所述第二测试光束的光轴方向间隔设置。

10.根据权利要求8所述的测试装置，其特征在于，所述第二孔径光阑（500）的透光孔的孔径可调；和/或