一种用于PECVD腔室的温度检测装置的制作方法

本公开涉及真空检测，尤其涉及一种用于pecvd腔室的温度检测装置。

背景技术：

1、目前，真空设备已广泛应用于众多生产领域，小至灯泡、手表，大至汽车、航空航天等关键零部件的制造，均离不开真空技术的支持。作为真空设备的重要分支，真空热处理设备能够帮助用户在材料成分不变的前提下，调控其微观结构与性能，从而获得具有不同功能特性的产品。

2、在这一背景下，温度检测的准确性与可靠性显得尤为关键。特别是在等离子体增强化学气相沉积（pecvd）工艺中，腔室内的温度均匀性直接决定了薄膜的厚度一致性与成分均匀性。若腔室温度分布不均，将导致沉积薄膜性能波动，进而显著降低晶圆良率。因此，实现对pecvd腔室温度场的精准感知，已成为提升工艺稳定性和产品一致性的核心需求。

技术实现思路

1、本公开提供一种用于pecvd腔室的温度检测装置，至少有利于提高pecvd腔室温度检测的准确性与可靠性。

2、本公开一方面提供一种用于pecvd腔室的温度检测装置，包括：安装法兰，用于密封安装至所述腔室的视窗端口；接口适配组件，一端与所述安装法兰密封连接；信号传输组件，包括真空连接器和数据采集模块，所述真空连接器密封安装于所述接口适配组件的另一端；多根热电偶，所述多根热电偶的偶丝穿过所述安装法兰并伸入所述腔室内部，所述偶丝的端部以预设的固定空间位置关系对应所述腔室内的多个测温点；所述多根热电偶的信号引线自所述安装法兰穿出，并穿过所述接口适配组件内部的通道，与所述真空连接器一端的接线柱连接，所述真空连接器的另一端连接所述数据采集模块。

3、可选的，所述接口适配组件包括用于与第一法兰、变径管以及第二法兰；其中，所述第一法兰与所述安装法兰密封连接，所述第一法兰通过所述变径管与所述第二法兰连接，所述真空连接器密封安装于所述第二法兰上。

4、可选的，所述第一法兰设有用于安装密封圈的环形凹槽。

5、可选的，所述接口适配组件还包括锁紧机构，用于紧固所述第二法兰和所述真空连接器。

6、可选的，所述变径管的长度为20mm~50mm。

7、可选的，所述变径管的内壁粗糙度为0.1μm~0.8μm。

8、可选的，所述偶丝的直径为0.3mm~1mm。

9、可选的，所述偶丝自其穿出所述安装法兰处向所述腔室内伸出的长度为15mm~30mm。

10、可选的，所述安装法兰和所述腔室的视窗端口周围的腔室壁间安装密封圈。

11、可选的，所述数据采集模块为多路温度记录仪。

12、本公开提供的技术方案至少具有以下优点：

13、本公开提供的温度检测装置，通过将多根热电偶的偶丝穿过安装法兰伸入腔室内部，且偶丝端部以预设的固定空间位置关系固定在腔室内的多个测温点上，能够实现对腔室内多个位置温度的同时、定点、稳定采集，提高温度测量的空间覆盖性和数据一致性；安装法兰可密封安装至腔室的视窗端口，便于装置集成且无需对腔体结构进行改造；接口适配组件一端与安装法兰密封连接，另一端密封安装真空连接器，形成可靠的信号引出通路；多根热电偶的信号引线经接口适配组件内部通道连接至真空连接器，并最终接入数据采集模块，从而在维持腔室密封性的前提下，实现多路温度信号的稳定传输与实时读取。

1.一种用于pecvd腔室的温度检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述接口适配组件包括用于与第一法兰、变径管以及第二法兰；

3.根据权利要求2所述的温度检测装置，其特征在于，所述第一法兰设有用于安装密封圈的环形凹槽。

4.根据权利要求2所述的温度检测装置，其特征在于，所述接口适配组件还包括锁紧机构，用于紧固所述第二法兰和所述真空连接器。

5.根据权利要求2所述的温度检测装置，其特征在于，所述变径管的长度为20mm~50mm。

6.根据权利要求2所述的温度检测装置，其特征在于，所述变径管的内壁粗糙度为0.1μm~0.8μm。

7.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述偶丝的直径为0.3mm~1mm。

8.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述偶丝自其穿出所述安装法兰处向所述腔室内伸出的长度为15mm~30mm。

9.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述安装法兰和所述腔室的视窗端口周围的腔室壁间安装密封圈。

10.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述数据采集模块为多路温度记录仪。