一种FMM蚀刻用氯化铁测试装置的制作方法

本技术属于金属蚀刻，具体涉及一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置。

背景技术：

1、在fmm(精细金属掩模板)工艺生产过程中，蚀刻槽需要管控氯化铁的比重，一般的蚀刻槽台带有自动测试的aqua(水溶液)测试机，可实时监控机台氯化铁比重，但aqua测试机的测试可能存在偏差。

2、现有的装置通过蚀刻槽自带的aqua测试机测试，aqua测试机具体如图5所示，aqua测试机包括201、比重架台；202、比重传感器；203、钛；204、浮球安装垫圈；205、hcl传感器；206、盐铜对电极；207、h2o2传感器；208、浮球；209、聚氯乙烯六角螺丝；210、进管；211、出管，aqua测试机的进管与蚀刻槽相连，出管用于排液，采用比重传感器检测氯化铁比重，由于机台切换蚀刻槽喷压，不同产品工艺需要不同的喷压，进而导致测试产生偏差，这种测试氯化铁比重的方法存在千分之二以上的偏差，得到偏差的数据易影响fmm后续工艺，导致后续参数存在错误。

3、为此，本领域技术人员提出了一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置来解决上述提出的问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，解决了现有技术中的问题。

2、本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，包括蚀刻槽和aqua测试机，还包括：

4、取样盒，所述取样盒上安装有测试机构；

5、所述测试机构包括固定在所述取样盒表面的安装盒，所述安装盒上竖直插接有多个滑套，所述滑套的内壁上插接有玻璃比重计；

6、安装在所述蚀刻槽上的输液机构，所述输液机构的两个输出端分别与aqua测试机和取样盒相连，所述输液机构输出端靠近aqua测试机的位置安装有流量控制器一，所述输液机构输出端靠近取样盒的位置安装有流量控制器二。

7、上述技术方案，其原理和效果为：

8、本装置在蚀刻槽和aqua测试机外，再外接一个取样盒，蚀刻槽内的水溶液通过输液机构同时输向aqua测试机和取样盒，两者输入等量的溶液，通过流量控制器一和流量控制器二来控制输入溶液的量，待水溶液进入取样盒并静置一端时间后，取下滑套，使得玻璃比重计悬浮在溶液内，且四周不触碰安装盒，利用玻璃比重计即可直接读出氯化铁比重，还可以与aqua测试机的测试值进行比对。

9、优选的，还包括集液盒和安装在集液盒上的出液机构，所述出液机构的两个输入端分别与aqua测试机和取样盒相连。

10、优选的，所述出液机构包括安装在所述集液盒上的泵体二，所述泵体二的一端安装有连接管，所述连接管的一端安装有二级三通阀，所述二级三通阀的两端分别安装有输出管一和输出管二，所述输出管一的一端与aqua测试机相连，所述输出管二的一端与取样盒相连。

11、优选的，所述输液机构包括安装在所述蚀刻槽上的泵体一，所述泵体一的一端安装有进液管，所述进液管的一端安装有一级三通阀，所述一级三通阀的两端分别安装有输入管一和输入管二。

12、优选的，所述输入管一的外壁上安装有手阀一。

13、优选的，所述输入管二的外壁上安装有手阀二。

14、优选的，所述输入管一和输入管二的内径大小相同。

15、优选的，所述取样盒靠近所述玻璃比重计的一侧开有安装口，所述安装口的内壁上固定有观察窗。

16、关于上述技术方案中涉及的名词、连接词或者形容词部分解释如下：

17、固定连接是指将零件或部件固定后，没有任何相对运动的连接；

18、转动连接是指零件之间的连接可使零件相互转动；

19、螺纹连接是一种可拆卸的固定连接，具有结构简单、连接可靠、装拆方便等优点，广泛应用于机械工程、连接结构领域；

20、滑动连接是指零件之间的连接可使零件相互滑动。

21、本实用新型的有益效果：

22、1、本实用新型设置了流量控制器一和流量控制器二，精准控制进入aqua测试机和取样盒内溶液的容量，保证一致性，利用玻璃比重计测试的同时，还能与aqua测试机的测试进行对比。

23、2、本实用新型设置了滑套和玻璃比重计，滑套用于固定玻璃比重计，等到需要测试氯化铁比重时，一手捏住玻璃比重计的头部，另一端将滑套抽出，然后将手从玻璃比重计的头部移到滑套下方，将滑套移出，然后使得玻璃比重计悬浮在水溶液上，四周不触碰安装盒，待比重计静止30秒以上，无明显晃动后，视线与溶液凹液面的最低处保持水平，直接读取刻度线对应的数值，即为该温度下的氯化铁的比重。

1.一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，包括蚀刻槽(1)和aqua测试机(2)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，还包括集液盒(9)和安装在集液盒(9)上的出液机构(8)，所述出液机构(8)的两个输入端分别与aqua测试机(2)和取样盒(4)相连。

3.根据权利要求2所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，所述出液机构(8)包括安装在所述集液盒(9)上的泵体二(801)，所述泵体二(801)的一端安装有连接管(802)，所述连接管(802)的一端安装有二级三通阀(803)，所述二级三通阀(803)的两端分别安装有输出管一(804)和输出管二(805)，所述输出管一(804)的一端与aqua测试机(2)相连，所述输出管二(805)的一端与取样盒(4)相连。

4.根据权利要求1所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，所述输液机构(3)包括安装在所述蚀刻槽(1)上的泵体一(301)，所述泵体一(301)的一端安装有进液管(302)，所述进液管(302)的一端安装有一级三通阀(303)，所述一级三通阀(303)的两端分别安装有输入管一(304)和输入管二(306)。

5.根据权利要求4所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，所述输入管一(304)的外壁上安装有手阀一(305)。

6.根据权利要求4所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，所述输入管二(306)的外壁上安装有手阀二(307)。

7.根据权利要求4所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，所述输入管一(304)和输入管二(306)的内径大小相同。

8.根据权利要求1所述的一种fmm蚀刻用氯化铁测试装置，其特征在于，所述取样盒(4)靠近所述玻璃比重计(703)的一侧开有安装口，所述安装口的内壁上固定有观察窗(401)。