真空镀膜设备的检测装置的制作方法

本申请涉及真空镀膜设备，尤其是涉及一种真空镀膜设备的检测装置。

背景技术：

1、在真空镀膜领域，环保无铬工艺（如采用钛、硅、铝基陶瓷膜等）是替代传统电镀铬的绿色发展方向。然而，无铬镀膜层，尤其是高纯度、高活性的功能性薄膜，对镀膜环境极为敏感。腔室的微小泄漏是导致工艺失败和产品缺陷的主要原因之一。

2、公告号cn218470071u的专利文件中公开了一种真空镀膜设备用检测真空压力的装置，包括检测壳体和固定壳体，所述检测壳体内活动连接有圆盘，圆盘的顶部固定连接有刻度表杆，且刻度表杆穿过检测壳体，所述圆盘的上表面固定连接有强力弹簧，且强力弹簧与检测壳体相固定，所述检测壳体的外侧开设有两个卡槽，所述固定壳体内固定连接有透气盘，所述固定壳体内活动连接有滑环，滑环的底部固定连接有多个辅助弹簧，辅助弹簧的底端固定连接有固定环。本实用新型不仅能够利用真空负压的原理来检测真空，避免电子设备出现乱码，提高了装置检测的准确性，而且能够避免出现漏气的现象导致检测出现偏差，提高了装置的密封效果，还能够提高装置的使用效果。

3、但是上述专利文件在使用过程中，不便于对真空镀膜设备的气密性进行快速检测，功能较为单一，为此我们提出了一种真空镀膜设备的检测装置用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在检测装置在使用过程中，不便于对真空镀膜设备的气密性进行快速检测，功能较为单一的缺点，而提出的真空镀膜设备的检测装置。

2、本申请提供的真空镀膜设备的检测装置采用如下的技术方案：

3、真空镀膜设备的检测装置，包括底座、螺纹套管和检测壳体，底座上开设有安装孔，螺纹套管固定安装在底座的顶部，检测壳体的外侧开设有螺纹，螺纹与螺纹套管螺纹连接；

4、检测壳体采用透明材质；

5、还包括：

6、气筒，气筒固定安装在检测壳体的外侧，气筒的外侧开设有进气口；

7、启闭机构，启闭机构设置在气筒内，启闭机构用于释放气筒内的示踪气体。

8、进一步地，所述导杆的外侧固定安装有固定块，导杆的外侧套设有第二弹簧，第二弹簧的两端分别与固定块的外侧和气筒的顶部内壁固定连接。

9、进一步地，所述气筒与检测壳体上固定安装有同一个弯管，气筒的顶部开设有第二滑孔，第二滑孔内滑动安装有导杆，导杆与压杆相配合，当压杆与导杆挤压接触时，压杆带动导杆竖直移动。

10、进一步地，所述启闭机构包括连接板，连接板固定安装在导杆的一端，连接板的顶部固定安装有堵块，堵块与弯管相配合，当堵块与弯管分离时，可以使弯管通气。

11、进一步地，所述测量杆的外侧套设有第一弹簧，第一弹簧的两端分别与活塞的顶部和检测壳体的顶部内壁固定连接，测量杆的外侧固定安装有压杆，当活塞竖直移动时，测量杆带动压杆竖直移动。

12、进一步地，所述检测壳体的底部固定安装有密封垫圈，密封垫圈与底座相配合，密封垫圈用于提高检测壳体与螺纹套管连接的密封性。

13、进一步地，所述检测壳体内滑动安装有活塞，检测壳体的顶部开设有第一滑孔，第一滑孔内滑动安装有测量杆，测量杆的一端与活塞的顶部固定连接，测量杆的外侧设置有刻度线。

14、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

15、1.本方案通过设置由活塞、测量杆、第一弹簧和刻度线组成的机械式真空度指示机构，能够直观、可靠地显示真空镀膜设备腔体内的真空压力状态，避免了电子传感器在复杂镀膜环境中可能出现的干扰或乱码问题，提高了检测的稳定性和抗干扰能力；

16、2.本方案集成了示踪气体存储与释放装置（气筒、弯管及启闭机构），活塞的移动会通过压杆自动触发启闭机构，释放示踪气体，操作人员可以在腔体外部疑似泄漏点（如法兰连接处、观察窗等）使用检漏仪进行探测，从而实现对泄漏点的快速定位和精准检测，将宏观的真空度变化与微观的泄漏点定位功能相结合，大大提升了检测效率和准确性。

17、本实用新型通过机械结构实现了真空度的直观显示与自动触发辅助检漏的功能，便于快速检测气密性及定位泄漏点，结构简单，运行可靠。

1.真空镀膜设备的检测装置，包括底座（1）、螺纹套管（2）和检测壳体（3），其特征在于：底座（1）上开设有安装孔（5），螺纹套管（2）固定安装在底座（1）的顶部，检测壳体（3）的外侧开设有螺纹（4），螺纹（4）与螺纹套管（2）螺纹连接；还包括：

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的检测装置，其特征在于：所述检测壳体（3）内滑动安装有活塞（8），检测壳体（3）的顶部开设有第一滑孔，第一滑孔内滑动安装有测量杆（6），测量杆（6）的一端与活塞（8）的顶部固定连接，测量杆（6）的外侧设置有刻度线（7）。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的检测装置，其特征在于：所述测量杆（6）的外侧套设有第一弹簧（9），第一弹簧（9）的两端分别与活塞（8）的顶部和检测壳体（3）的顶部内壁固定连接，测量杆（6）的外侧固定安装有压杆（10）。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备的检测装置，其特征在于：所述气筒（11）与检测壳体（3）上固定安装有同一个弯管（13），气筒（11）的顶部开设有第二滑孔，第二滑孔内滑动安装有导杆（15），导杆（15）与压杆（10）相配合。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备的检测装置，其特征在于：所述启闭机构包括连接板（17），连接板（17）固定安装在导杆（15）的一端，连接板（17）的顶部固定安装有堵块（18），堵块（18）与弯管（13）相配合。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜设备的检测装置，其特征在于：所述导杆（15）的外侧固定安装有固定块（14），导杆（15）的外侧套设有第二弹簧（16），第二弹簧（16）的两端分别与固定块（14）的外侧和气筒（11）的顶部内壁固定连接。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜设备的检测装置，其特征在于：所述检测壳体（3）的底部固定安装有密封垫圈（19），密封垫圈（19）与底座（1）相配合。