一种硅光芯片清洗装置的制作方法

本技术涉及芯片清洗，尤其涉及一种硅光芯片清洗装置。

背景技术：

1、硅光芯片作为光通信、光计算领域的核心器件，其表面洁净度直接影响光电转换效率、信号传输稳定性及器件使用寿命；

2、现有装置通常直接将硅光芯片放置在清洗篮内，部分场景下还会将多个芯片堆叠放置，芯片间隙之间易产生水膜，难以彻底清洗和烘干，残留的水膜会携带污染物，严重影响芯片洁净度；因此，需要对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅光芯片清洗装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅光芯片清洗装置，包括清洗仓，所述清洗仓一侧设有控制箱，所述清洗仓一端面等距开有多个观察窗，所述清洗仓一端面两侧分别开有入口和出口，所述清洗仓位于入口和出口处均安装有第一丝杆模组，所述第一丝杆模组的滑块上固接有托盘，所述清洗仓内顶面安装有双轴移动丝杆模组，所述双轴移动丝杆模组包括控制x轴移动和y轴移动的两组丝杆模组，所述双轴移动丝杆模组y轴的丝杆滑块底面固接有安装平台，所述安装平台底面四角处安装有四个第一电推杆，多个所述第一电推杆的底面固接有挂钩组件，所述挂钩组件上钩挂配合有清洗篮，所述清洗篮内底面等距安装有多个用于放置硅光芯片的放置组件，所述清洗仓内底面中部设有清洗组件，所述清洗组件一侧设有烘干仓。

3、优选地，所述烘干仓顶面两侧对向安装有第二电推杆，所述第二电推杆的伸缩端固接有闭合板，所述烘干仓内底面开有用于闭合板导向的t形槽，所述t形槽内滑移设有与闭合板顶面固接的t形条，所述烘干仓一端内壁设有水汽出口，所述烘干仓两侧内壁固接设有呈蛇形排布的蒸汽管道，所述清洗仓外壁设有多个分别与蒸汽管道两端和水汽出口一端连通的第一法兰管。

4、优选地，所述挂钩组件包括安装板，所述安装板顶面对称安装有两个电推缸，所述电推缸的伸缩端固接有呈倒u形的挂钩，所述挂钩的钩头处抵接有清洗篮的提手，所述清洗篮的提手位于挂钩处呈n形。

5、优选地，所述放置组件包括放置条，所述放置条顶面开有插槽，所述插槽底面中部开有适配圆形硅光芯片的弧形槽，所述清洗篮底面位于放置条底面两端处穿设有两个固定螺栓，所述放置条底面两端开有与固定螺栓适配的螺孔，所述放置条两侧通过螺栓固接有呈倒u形的限位杆，所述限位杆一侧面上端中部开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺接有抵接螺杆，所述抵接螺杆朝内的一端固接有垫片，所述插槽内底面等距开有多个通孔。

6、优选地，所述清洗组件包括两个超声波清洗池和快排漂洗池，所述快排漂洗池一侧设有喷淋漂洗池，所述清洗仓外壁一侧对称设有两个用于两个超声波清洗池注入和排出清洗液的第二法兰管，所述清洗仓一侧设有恒温循环箱,所述恒温循环箱的进液口和出液口均通过连接管道与快排漂洗池和喷淋漂洗池连通，所述连接管道的一端管身上通过法兰连接有过滤管，所述过滤管内设有滤芯，所述连接管道与快排漂洗池和喷淋漂洗池的连接处均设有电磁阀。

7、优选地，所述喷淋漂洗池两侧内壁上端开有t形收纳槽，所述t形收纳槽内铰接喷淋架，所述喷淋漂洗池内壁位于t形收纳槽一侧开有防水槽，所述防水槽内设有自锁电机,所述自锁电机的输出轴与喷淋架的铰接轴同轴固接。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过放置条的插槽与弧形槽配合，便于分别适配方形和圆形硅光芯片，提高了装置对不同形状芯片的适配性，进而能够实现多类型芯片的精准放置；再通过放置条与限位杆配合，便于对单个硅光芯片进行独立定位，提高了芯片放置的稳定性，进而能够实现芯片有序摆放避免堆叠；又通过放置条上的通孔与清洗组件配合，便于清洗液和气流顺畅流通，提高了水膜清除的彻底性，进而能够实现芯片表面高效清洗与烘干；最终解决了现有装置中芯片堆叠放置间隙产生水膜导致污染物残留、影响芯片洁净度的问题，同时提升了对不同形状硅光芯片的适配能力，提高了硅光芯片清洗后的洁净度、清洗作业的可靠性及装置的通用性。

1.一种硅光芯片清洗装置，包括清洗仓（1），其特征在于：所述清洗仓（1）一侧设有控制箱，所述清洗仓（1）一端面等距开有多个观察窗，所述清洗仓（1）一端面两侧分别开有入口和出口，所述清洗仓（1）位于入口和出口处均安装有第一丝杆模组，所述第一丝杆模组的滑块上固接有托盘（2），所述清洗仓（1）内顶面安装有双轴移动丝杆模组（3），所述双轴移动丝杆模组（3）包括控制x轴移动和y轴移动的两组丝杆模组，所述双轴移动丝杆模组（3）y轴的丝杆滑块底面固接有安装平台，所述安装平台底面四角处安装有四个第一电推杆，多个所述第一电推杆的底面固接有挂钩组件，所述挂钩组件上钩挂配合有清洗篮（4），所述清洗篮（4）内底面等距安装有多个用于放置硅光芯片的放置组件，所述清洗仓（1）内底面中部设有清洗组件，所述清洗组件一侧设有烘干仓（5）。

2.根据权利要求1所述的一种硅光芯片清洗装置，其特征在于：所述烘干仓（5）顶面两侧对向安装有第二电推杆，所述第二电推杆的伸缩端固接有闭合板，所述烘干仓（5）内底面开有用于闭合板导向的t形槽，所述t形槽内滑移设有与闭合板顶面固接的t形条，所述烘干仓（5）一端内壁设有水汽出口，所述烘干仓（5）两侧内壁固接设有呈蛇形排布的蒸汽管道，所述清洗仓（1）外壁设有多个分别与蒸汽管道两端和水汽出口一端连通的第一法兰管。

3.根据权利要求1所述的一种硅光芯片清洗装置‌，其特征在于：所述挂钩组件包括安装板，所述安装板顶面对称安装有两个电推缸（6），所述电推缸（6）的伸缩端固接有呈倒u形的挂钩（7），所述挂钩（7）的钩头处抵接有清洗篮（4）的提手，所述清洗篮（4）的提手位于挂钩（7）处呈n形。

4.根据权利要求1所述的一种硅光芯片清洗装置‌，其特征在于：所述放置组件包括放置条（8），所述放置条（8）顶面开有插槽，所述插槽底面中部开有适配圆形硅光芯片的弧形槽，所述清洗篮（4）底面位于放置条（8）底面两端处穿设有两个固定螺栓，所述放置条（8）底面两端开有与固定螺栓适配的螺孔，所述放置条（8）两侧通过螺栓固接有呈倒u形的限位杆（9）。

5.根据权利要求4所述的一种硅光芯片清洗装置‌，其特征在于：所述限位杆（9）一侧面上端中部开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺接有抵接螺杆，所述抵接螺杆朝内的一端固接有垫片，所述插槽内底面等距开有多个通孔。

6.根据权利要求1所述的一种硅光芯片清洗装置‌，其特征在于：所述清洗组件包括两个超声波清洗池（10）和快排漂洗池（11），所述快排漂洗池（11）一侧设有喷淋漂洗池（12），所述清洗仓（1）外壁一侧对称设有两个用于两个超声波清洗池（10）注入和排出清洗液的第二法兰管。

7.根据权利要求6所述的一种硅光芯片清洗装置‌，其特征在于：所述清洗仓（1）一侧设有恒温循环箱（13）,所述恒温循环箱（13）的进液口和出液口均通过连接管道与快排漂洗池（11）和喷淋漂洗池（12）连通，所述连接管道的一端管身上通过法兰连接有过滤管（15），所述过滤管（15）内设有滤芯，所述连接管道与快排漂洗池（11）和喷淋漂洗池（12）的连接处均设有电磁阀。

8.根据权利要求6所述的一种硅光芯片清洗装置‌，其特征在于：所述喷淋漂洗池（12）两侧内壁上端开有t形收纳槽，所述t形收纳槽内铰接喷淋架（14），所述喷淋漂洗池（12）内壁位于t形收纳槽一侧开有防水槽，所述防水槽内设有自锁电机,所述自锁电机的输出轴与喷淋架（14）的铰接轴同轴固接。