一种石英管清洗设备及方法与流程

本发明涉及半导体清洗，尤其涉及一种石英管清洗设备及方法。

背景技术：

1、石英管在半导体制造等领域中应用广泛，其内壁和外壁的洁净度直接影响后续工艺质量，因此需要对石英管进行化学清洗、冲洗和干燥。

2、目前，石英管清洗多采用槽式清洗设备，即将石英管承载于清洗槽内，依次进行化学清洗、冲洗和干燥。在现有技术中，在清洗石英管时，由于管内液体和杂质在排液时难以依靠重力向一端自动汇聚并排出，导致石英管内残留的杂质和清洗液无法被有效清除干净。

3、因此，如何在化学清洗、二次冲洗和干燥过程中减少石英管内的液体和杂质残留，提高清洗效果，成为本发明需要解决的技术问题。

技术实现思路

1、本发明提供一种石英管清洗设备及方法，以解决现有技术中存在的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供以下的技术方案：

3、一种石英管清洗设备，包括：

4、供液组件，用于提供化学清洗液；

5、第一处理槽，其内设有第一喷淋组件，所述第一喷淋组件与所述供液组件连通，用于利用所述化学清洗液，对置于所述第一处理槽内的石英管进行化学清洗；

6、第二处理槽，其内设有第二喷淋组件和烘干组件，所述第二喷淋组件连通二次清洗液源，用于对置于所述第二处理槽内的石英管进行二次冲洗，所述烘干组件用于干燥二次冲洗后的石英管；

7、所述第一处理槽和所述第二处理槽内分别设有承载旋转组件，所述承载旋转组件用于承载石英管，并配置为在化学清洗、二次冲洗和干燥过程中使所述石英管保持倾斜姿态且绕自身轴线旋转。

8、在一种可能的实施方式中，所述第一处理槽为酸洗槽，所述化学清洗为酸洗；所述第二处理槽为干燥槽，所述二次冲洗为纯水冲洗，所述干燥为热氮气烘干。

9、在一种可能的实施方式中，所述供液组件包括混液槽，所述混液槽与所述第一喷淋组件连通，用于将混合后的化学清洗液供给至所述第一喷淋组件；所述供液组件还包括供液桶、计量泵和流量感应器，所述供液桶通过所述计量泵和所述流量感应器将清洗液原液定量输送至所述混液槽。

10、在一种可能的实施方式中，所述承载旋转组件包括倾斜承载部和旋转驱动部，所述倾斜承载部相对于水平面倾斜设置，所述旋转驱动部与所述倾斜承载部传动连接，用于驱动承载于所述倾斜承载部上的石英管绕自身轴线旋转。

11、在一种可能的实施方式中，所述倾斜承载部包括多个第一传动轴和设置于各第一传动轴上的滚轮，各所述第一传动轴的一端设有第一锥齿轮，各所述第一传动轴的一端还设有挡轮，所述挡轮用于对石英管的端部进行轴向限位；

12、所述旋转驱动部包括电机、第二传动轴及设置于所述第二传动轴上的第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与各所述第一锥齿轮啮合，所述电机通过链轮链条与所述第二传动轴传动连接，以通过一个电机同时驱动多个所述第一传动轴旋转，使多根石英管同时保持倾斜姿态并绕自身轴线旋转。

13、在一种可能的实施方式中，所述的石英管清洗设备还包括快排储存槽，所述第一处理槽和所述第二处理槽分别通过快排阀与所述快排储存槽连通，用于将槽内废液排放至所述快排储存槽。

14、在一种可能的实施方式中，所述的石英管清洗设备还包括循环机构，所述循环机构分别与所述快排储存槽、所述供液组件及厂务排液管路连通，用于将所述快排储存槽内的废液选择性地输送至所述供液组件进行循环利用，或排放至厂务排液管路。

15、在一种可能的实施方式中，所述第一处理槽和所述第二处理槽被配置为同时运行，以在一批石英管于所述第二处理槽内进行二次冲洗和干燥的同时，使另一批石英管于所述第一处理槽内进行化学清洗。

16、另一方面，本发明还提供了一种石英管清洗方法，基于如上任一项所述的石英管清洗设备，包括以下步骤：

17、供液步骤：通过所述供液组件向所述第一处理槽提供化学清洗液；

18、第一处理步骤：将石英管承载于所述第一处理槽内的所述承载旋转组件上，使所述石英管保持倾斜姿态并绕自身轴线旋转，同时通过所述第一喷淋组件向所述石英管喷淋化学清洗液进行化学清洗；

19、转移步骤：将经化学清洗后的石英管转移至所述第二处理槽内的所述承载旋转组件上；

20、第二处理步骤：使所述石英管在所述第二处理槽内保持倾斜姿态并绕自身轴线旋转，同时通过所述第二喷淋组件向所述石英管喷淋清洗液进行二次冲洗，冲洗完毕后通过所述烘干组件对所述石英管进行烘干；

21、其中，所述第一处理步骤和所述第二处理步骤中，所述石英管在喷淋、冲洗和烘干全程保持倾斜姿态并持续绕自身轴线旋转。

22、在一种可能的实施方式中，所述第一处理步骤中，所述化学清洗为酸洗，所述第一处理槽为酸洗槽；所述第二处理步骤中，所述二次冲洗为纯水冲洗，所述干燥为热氮气烘干；其中，在第一批石英管于所述第二处理槽内进行二次冲洗和干燥的同时，使第二批石英管于所述第一处理槽内进行化学清洗。

23、与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

24、本发明提供的一种石英管清洗设备及方法，通过在第一处理槽和第二处理槽内分别设置承载旋转组件，使石英管在化学清洗、二次冲洗和干燥过程中保持倾斜姿态且绕自身轴线旋转，由于石英管保持倾斜姿态，石英管内的液体受到沿石英管轴向的重力分量作用，能够向较低端汇聚并沿轴向排出，减少石英管内的液体和杂质残留，从而实现高纯清洗。

25、本发明具有其它的特性和优点，这些特性和优点从并入本文中的附图和随后的具体实施方式中将是显而易见的，或者将在并入本文中的附图和随后的具体实施方式中进行详细陈述，这些附图和具体实施方式共同用于解释本发明的特定原理。

1.一种石英管清洗设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述化学清洗为酸洗；所述二次冲洗为纯水冲洗，所述干燥为热氮气烘干。

3.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述供液组件包括混液槽，所述混液槽与所述第一喷淋组件连通，用于将混合后的化学清洗液供给至所述第一喷淋组件；所述供液组件还包括供液桶、计量泵和流量感应器，所述供液桶通过所述计量泵和所述流量感应器将清洗液原液定量输送至所述混液槽。

4.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述承载旋转组件包括倾斜承载部和旋转驱动部，所述倾斜承载部相对于水平面倾斜设置，所述旋转驱动部与所述倾斜承载部传动连接，用于驱动承载于所述倾斜承载部上的石英管绕自身轴线旋转。

5.根据权利要求4所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述倾斜承载部包括多个第一传动轴和设置于各第一传动轴上的滚轮，各所述第一传动轴的一端设有第一锥齿轮，各所述第一传动轴的一端还设有挡轮，所述挡轮用于对石英管的端部进行轴向限位；

6.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，还包括快排储存槽，所述第一处理槽和所述第二处理槽分别通过快排阀与所述快排储存槽连通，用于将槽内废液排放至所述快排储存槽。

7.根据权利要求6所述的石英管清洗设备，其特征在于，还包括循环机构，所述循环机构分别与所述快排储存槽、所述供液组件及厂务排液管路连通，用于将所述快排储存槽内的废液选择性地输送至所述供液组件进行循环利用，或排放至厂务排液管路。

8.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述第一处理槽和所述第二处理槽被配置为同时运行，以在一批石英管于所述第二处理槽内进行二次冲洗和干燥的同时，使另一批石英管于所述第一处理槽内进行化学清洗。

9.一种石英管清洗方法，其特征在于，基于权利要求1至8任一项所述的石英管清洗设备，包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的石英管清洗方法，其特征在于，所述第一处理步骤中，所述化学清洗为酸洗；所述第二处理步骤中，所述二次冲洗为纯水冲洗，所述干燥为热氮气烘干；其中，在第一批石英管于所述第二处理槽内进行二次冲洗和干燥的同时，使第二批石英管于所述第一处理槽内进行化学清洗。