固晶设备及固晶生产线的制作方法

本技术属于半导体，尤其涉及一种固晶设备及固晶生产线。

背景技术：

1、固晶机是用于半导体器件制造的设备之一，其作用是将半导体芯片与其他组件连接在一起。目前为了提高生产的效率，固晶生产大多采用流水线作业，在固晶机的工作过程中需要从上一个工序处接收产品，将芯片从晶环上拾取后运输并安装至产品上。但是现有的固晶机大多存在着与其他设备对接不便的问题，导致产品在生产线中的多个设备之间流转不畅，影响了生产的效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种固晶设备及固晶生产线，旨在解决现有技术中的固晶设备在工作时存在着的与其他设备对接不便的技术问题。

2、本实用新型是这样实现的，第一方面，提供一种固晶设备，上述固晶设备包括工作台、晶环支撑机构、夹具机构、固晶机构及接驳机构，所述晶环支撑机构设置于所述工作台上，用于支撑晶环并将晶环运输至取晶位，所述接驳机构设置于所述工作台上，用于驱动产品沿第一方向往复运动，所述接驳机构具有第一工作端与第二工作端，所述第一工作端用于与其他设备相接驳，以使产品可以从其他设备处运输至所述接驳机构上，所述夹具机构设置于所述工作台上，所述夹具机构用于支撑产品并将产品从所述第二工作端处运输至固晶位，所述固晶机构设置于所述工作台上，用于将位于取晶位处的晶环上的芯片运送并安装至位于固晶位的所述产品上。

3、在一个可选实施例中，所述接驳机构包括两个均沿所述第一方向设置的第一侧挡件，且两个所述第一侧挡件沿第二方向相互间隔设置、以组成用于供所述产品滑动的第一通道，所述第一方向与所述第二方向之间呈夹角设置，两个所述第一侧挡件之间还设置有第一传动组件，所述第一传动组件用于支撑所述产品并推动所述产品沿所述第一通道运动。

4、在一个可选实施例中，所述接驳机构还包括第一挡料组件及第二挡料组件，所述第一挡料组件与所述第二挡料组件沿所述第一方向间隔设置，在所述第一传动组件驱动产品沿所述第一通道的正向运动至第一预设位置时，所述第一挡料组件阻挡所述产品，在所述第一传动组件驱动产品沿所述第一通道的反向运动至第二预设位置时，所述第二挡料组件阻挡所述产品。

5、在一个可选实施例中，所述第一挡料组件与所述第二挡料组件均包括安装支架、挡料块以及升降驱动单元，所述安装支架滑动设置于所述第一侧挡件上，所述挡料块设置于所述安装支架上，所述挡料块用于与所述产品抵接以对产品进行阻挡，所述升降驱动单元设置于所述第一侧挡件上，且所述升降驱动单元用于驱动所述安装支架沿竖直方向往复运动。

6、在一个可选实施例中，所述夹具机构包括夹具底座、第一夹具滑块、第二夹具滑块、定位结构以及两个第二侧挡件，所述夹具底座设置于所述工作台上，所述第一夹具滑块沿所述第一方向滑动设置于所述夹具底座上，所述第二夹具滑块沿所述第二方向滑动设置于所述第一夹具滑块上，两个所述第二侧挡件均沿所述第一方向设置于所述第二夹具滑块上，且两个所述第二侧挡件沿所述第二方向间隔设置，以组成用于供所述产品滑动的第二通道，两个所述第二侧挡件之间还设置有第二传动组件，所述第二传动组件用于支撑产品并推动所述产品沿所述第二通道运动，且所述定位结构设置于所述第二夹具滑块和/或所述第二侧挡件上，用于对所述产品进行定位。

7、在一个可选实施例中，所述晶环支撑机构包括晶环底座、第一晶环滑块、第二晶环滑块以及晶环支撑件，所述晶环底座设置于所述工作台上，所述第一晶环滑块沿所述第一方向滑动设置于所述晶环底座上，所述第二晶环滑块沿第二方向滑动设置于所述第一晶环滑块上，所述晶环支撑件设置于所述第二晶环滑块上，所述晶环支撑件上具有多个用于放置固定晶环的放置位。

8、在一个可选实施例中，所述固晶设备还包括顶针机构，所述顶针机构设置于工作台上，且所述顶针机构位于所述晶环支撑件的下方，所述顶针机构用于对晶环上的芯片施加推力，以使芯片与蓝膜脱离。

9、在一个可选实施例中，所述固晶机构包括固晶支撑座、固晶动力单元以及两个摆臂组件，所述固晶支撑座设置于所述工作台上，所述固晶动力单元设置于所述固晶支撑座上，两个所述摆臂组件均与所述固晶动力单元的驱动端相连接，且两个所述摆臂组件相对设置。

10、在一个可选实施例中，所述晶环支撑机构、所述夹具机构、所述固晶机构及所述接驳机构组成一个固晶工作组，所述固晶工作组的数量为两个，两个所述固晶工作组均设置于所述工作台上。

11、第二方面，提供一种固晶生产线，包括上述任一项所述的固晶设备。

12、本实用新型第一方面的技术效果是：通过在工作台上晶环支撑机构、夹具机构、固晶机构以及接驳机构，接驳机构的第一工作端与其他设备相接驳。在晶环运输过程中，可以将晶环安装放置在晶环支撑机构上，并通过晶环支撑机构对晶环的位置进行调节，以将晶环移动至取晶位处。在产品的运输过程中，产品可以通过第一工作端从其他设备处运输至接驳机构上，然后接驳机构再将产品运输至第二工作端。最后夹具机构可以将产品从第二工作端处运输至固晶位处，并在产品运输过程中对产品支撑。在晶环与产品均运输至指定位置后，可以通过固晶机构将位于取晶位处的晶环上的芯片运送并安装至位于固晶位的产品上，以完成固晶操作。同时在产品完成固晶操作后，还可以通过夹具机构与接驳机构的配合将固晶完成的产品重新送回生产线，以方便后续加工。与现有技术中的固晶设备相比，通过在工作台上设置有接驳机构，并将接驳机构的第一工作端其它设备（例如生产线中的运输设备）接驳，使固晶设备与生产线进行联机，避免了固晶设备只能单机运行的问题，提高了生产效率。

13、可以理解的是，上述第二方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。

1.一种固晶设备，其特征在于，包括工作台、晶环支撑机构、夹具机构、固晶机构及接驳机构，所述晶环支撑机构设置于所述工作台上，用于支撑晶环并将晶环运输至取晶位，所述接驳机构设置于所述工作台上，用于驱动产品沿第一方向往复运动，所述接驳机构具有第一工作端与第二工作端，所述第一工作端用于与其他设备相接驳，以使产品可以从其他设备处运输至所述接驳机构上，所述夹具机构设置于所述工作台上，所述夹具机构用于支撑产品并将产品从所述第二工作端处运输至固晶位，所述固晶机构设置于所述工作台上，用于将位于取晶位处的晶环上的芯片运送并安装至位于固晶位的所述产品上。

2.如权利要求1所述的固晶设备，其特征在于，所述接驳机构包括两个均沿所述第一方向设置的第一侧挡件，且两个所述第一侧挡件沿第二方向相互间隔设置、以组成用于供所述产品滑动的第一通道，所述第一方向与所述第二方向之间呈夹角设置，两个所述第一侧挡件之间还设置有第一传动组件，所述第一传动组件用于支撑所述产品并推动所述产品沿所述第一通道运动。

3.如权利要求2所述的固晶设备，其特征在于，所述接驳机构还包括第一挡料组件及第二挡料组件，所述第一挡料组件与所述第二挡料组件沿所述第一方向间隔，所述第一传动组件驱动产品沿所述第一通道的正向运动至第一预设位置时，所述第一挡料组件阻挡所述产品，所述第一传动组件驱动产品沿所述第一通道的反向运动至第二预设位置时，所述第二挡料组件阻挡所述产品。

4.如权利要求3所述的固晶设备，其特征在于，所述第一挡料组件与所述第二挡料组件均包括安装支架、挡料块以及升降驱动单元，所述安装支架滑动设置于所述第一侧挡件上，所述挡料块设置于所述安装支架上，所述挡料块用于与所述产品抵接以对产品进行阻挡，所述升降驱动单元设置于所述第一侧挡件上，且所述升降驱动单元用于驱动所述安装支架沿竖直方向往复运动。

5.如权利要求2所述的固晶设备，其特征在于，所述夹具机构包括夹具底座、第一夹具滑块、第二夹具滑块、定位结构以及两个第二侧挡件，所述夹具底座设置于所述工作台上，所述第一夹具滑块沿所述第一方向滑动设置于所述夹具底座上，所述第二夹具滑块沿所述第二方向滑动设置于所述第一夹具滑块上，两个所述第二侧挡件均沿所述第一方向设置于所述第二夹具滑块上，且两个所述第二侧挡件沿所述第二方向间隔设置，以组成用于供所述产品滑动的第二通道，两个所述第二侧挡件之间还设置有第二传动组件，所述第二传动组件用于支撑产品并推动所述产品沿所述第二通道运动，且所述定位结构设置于所述第二夹具滑块和/或所述第二侧挡件上，用于对所述产品进行定位。

6.如权利要求1至5任一项所述的固晶设备，其特征在于，所述晶环支撑机构包括晶环底座、第一晶环滑块、第二晶环滑块以及晶环支撑件，所述晶环底座设置于所述工作台上，所述第一晶环滑块沿所述第一方向滑动设置于所述晶环底座上，所述第二晶环滑块沿第二方向滑动设置于所述第一晶环滑块上，所述晶环支撑件设置于所述第二晶环滑块上，所述晶环支撑件上具有多个用于放置固定晶环的放置位。

7.如权利要求6所述的固晶设备，其特征在于，所述固晶设备还包括顶针机构，所述顶针机构设置于工作台上，且所述顶针机构位于所述晶环支撑件的下方，所述顶针机构用于对晶环上的芯片施加推力，以使芯片与蓝膜脱离。

8.如权利要求1至5任一项所述的固晶设备，其特征在于，所述固晶机构包括固晶支撑座、固晶动力单元以及两个摆臂组件，所述固晶支撑座设置于所述工作台上，所述固晶动力单元设置于所述固晶支撑座上，两个所述摆臂组件均与所述固晶动力单元的驱动端相连接，且两个所述摆臂组件相对设置。

9.如权利要求1至5任一项所述的固晶设备，其特征在于，所述晶环支撑机构、所述夹具机构、所述固晶机构及所述接驳机构组成一个固晶工作组，所述固晶工作组的数量为两个，两个所述固晶工作组均设置于所述工作台上。

10.一种固晶生产线，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的固晶设备。