电主轴、基板加工设备及基板加工系统的制作方法

本技术涉及基板加工设备领域，尤其涉及一种电主轴、基板加工设备及基板加工系统。

背景技术：

1、随着科技的飞速发展，电子设备的小型化和集成化趋势日益显著，这对基板（如印刷电路板）的线路密度和孔径密度提出了更高的要求。而在基板的制造过程中，基板的加工工序包括多种，例如，钻孔、锣、铣和切等，其加工质量也直接影响到基板的电气性能。

2、现有用于基板加工设备的电主轴为了提升基板加工精度和加工效率，主要是通过调节电主轴转速与进给速度来实现。然而，这种方式在加工高密度基板或高厚径比基板等特殊基板时，仍面临加工精度与效率较低的问题。

技术实现思路

1、基于此，本实用新型实施例提供一种电主轴、基板加工设备及基板加工系统，以解决现有用于基板加工设备的电主轴在加工基板时，存在的加工精度与效率较低的技术问题。

2、为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案如下：

3、第一方面，提供了一种基板加工设备，包括气静压电主轴；

4、所述气静压电主轴，用于在加工过程中以设定的振幅与频率驱动高速旋转的加工刀具在第一方向振动，使所述加工刀具与基板之间形成周期性接触与分离，以实现对所述基板的加工。

5、可选地，所述气静压电主轴包括气静压超声波电主轴；所述气静压超声波电主轴包括利用空气动力学原理，使设置在电主轴内部的旋转轴芯在气旋浮状态下实现预设方向振动和旋转的电主轴。

6、可选地，所述气静压电主轴包括气静压超声波电主轴，所述气静压超声波电主轴包括主轴本体、气路结构、气浮振动板以及设置在所述主轴本体内部的旋转轴芯；

7、所述气浮振动板连接于所述旋转轴芯；

8、所述气路结构设置在所述主轴本体的前端或内部，用于引导气流分别作用于所述气浮振动板的两侧，从而驱动所述气浮振动板带动所述旋转轴芯沿所述第一方向进行振动，进而带动所述加工刀具沿所述第一方向同步振动。

9、可选地，所述基板加工设备还包括龙门系统、第一运动组件、第二运动组件和主轴固定组件；

10、所述气静压电主轴与所述主轴固定组件的一侧可拆卸连接，所述主轴固定组件的另一侧与所述第一运动组件的一端可拆卸连接，所述第一运动组件的另一端与所述第二运动组件的一端可拆卸连接，所述第二运动组件的另一端与所述龙门系统可拆卸连接；

11、所述第一运动组件可驱动所述主轴固定组件沿所述第一方向移动，以使所述主轴固定组件带动所述气静压电主轴沿所述第一方向移动；

12、所述第二运动组件可驱动所述第一运动组件沿第二方向移动，以带动所述气静压电主轴沿所述第二方向移动。

13、可选地，所述主轴固定组件包括主轴安装板、主轴安装座和法兰盘；

14、所述主轴安装座上设有贯通孔；

15、所述法兰盘固定套接在所述主轴本体；

16、所述第一运动组件的一端与所述主轴安装板的一侧可拆卸连接；

17、所述主轴安装板的另一侧与所述主轴安装座固定连接；

18、所述主轴本体的下端部穿过所述主轴安装座的贯通孔，且所述法兰盘与所述主轴安装座相互固定。

19、可选地，所述主轴固定组件还包括主轴定位套；

20、所述主轴定位套套接在所述主轴本体，且设置在所述法兰盘与主轴安装座之间，用于调整所述主轴本体的垂直安装度。

21、可选地，所述主轴固定组件包括主轴夹后座、主轴夹前盖、主轴夹后座胶圈、主轴夹前盖胶圈和主轴垫圈；

22、所述第一运动组件的一端与所述主轴夹后座的一侧可拆卸连接；

23、所述主轴夹后座胶圈安装在所述主轴夹后座的另一侧接触面，所述主轴夹前盖胶圈安装在所述主轴夹前盖的一侧接触面，且与所述主轴夹后座的另一侧接触面对应；

24、所述主轴本体的下端部固定安装在所述主轴夹后座胶圈和所述主轴夹前盖胶圈之间；

25、所述主轴垫圈设置在所述主轴本体的上端部和主轴夹前盖之间。

26、可选地，所述基板加工设备还包括床身、工作台和第三运动组件；

27、所述龙门系统与所述床身之间形成通道；

28、所述第三运动组件的一端与所述床身可拆卸连接，另一端与所述工作台可拆卸连接；

29、所述第三运动组件可驱动所述工作台沿第三方向移动，以使所述工作台在所述通道中移入或移出。

30、可选地，所述基板的加工类型包括钻孔、锣、铣或切，和/或，所述基板包括高厚径比基板、多层叠基板或高密度互连基板。

31、第二方面，提供了一种基板加工系统，所述基板包括pcb板、封装基板以及玻璃基板；所述基板加工系统至少包括一个上述第一方面所述的基板加工设备。

32、本实用新型实施例提供的电主轴、基板加工设备及基板加工系统中的一方案，电主轴用于基板加工设备；所述电主轴配置为在加工过程中以设定的振幅与频率驱动高速旋转的加工刀具在第一方向振动，使所述加工刀具与所述基板加工设备上的基板之间形成周期性接触与分离，以实现对所述基板的加工。本实施例中，通过电主轴以设定的振幅和频率驱动高速旋转的加工刀具在第一方向上振动，使得加工刀具在每个振动周期内的位移会发生微小的变化，这种变化促使加工刀具与基板加工设备上的基板之间的接触点在每个周期内进行微调。因此，当加工刀具由于偏移或定位不准而出现误差时，这些误差能够在下一个振动周期内得到自动校正，有效减少了加工刀具偏移，提升了加工的精准定位能力，从而提高了加工精度和效率。

1.一种电主轴，其特征在于，用于基板加工设备；

2.根据权利要求1所述的电主轴，其特征在于，所述气静压电主轴包括利用空气动力学原理，使设置在所述气静压电主轴内部的旋转轴芯，在气旋浮状态下实现预设方向振动和旋转，所述旋转轴芯与所述加工刀具连接，用于在加工过程中以设定的振幅与频率驱动高速旋转的所述加工刀具在第一方向振动，使所述加工刀具与基板之间形成周期性接触与分离，以实现对所述基板的加工。

3.根据权利要求2所述的电主轴，其特征在于，所述气静压电主轴包括主轴本体、气路结构和气浮振动板；

4.根据权利要求2所述的电主轴，其特征在于，所述气静压电主轴包括气静压超声波电主轴；

5.根据权利要求4所述的电主轴，其特征在于，所述气静压超声波电主轴包括主轴本体、气路结构和气浮振动板；

6.一种基板加工设备，其特征在于，包括龙门系统、第一运动组件、第二运动组件、主轴固定组件和权利要求1-5任一项所述的电主轴；

7.根据权利要求6所述的基板加工设备，其特征在于，所述主轴固定组件包括主轴安装板、主轴安装座和法兰盘；

8.根据权利要求7所述的基板加工设备，其特征在于，所述主轴固定组件还包括主轴定位套；

9.根据权利要求6所述的基板加工设备，其特征在于，所述主轴固定组件包括主轴夹后座、主轴夹前盖、主轴夹后座胶圈、主轴夹前盖胶圈和主轴垫圈；

10.根据权利要求6-9任一项所述的基板加工设备，其特征在于，所述电主轴为气静压电主轴。

11.根据权利要求6-9任一项所述的基板加工设备，其特征在于，所述基板加工设备还包括床身、工作台和第三运动组件；

12.一种基板加工系统，其特征在于，所述基板包括pcb板、封装基板以及玻璃基板；所述基板加工系统至少包括至少一个如权利要求6-11任一项所述的基板加工设备。