一种异质结PVD接地改善装置的制作方法

本申请涉及接地改善装置，尤其涉及一种异质结pvd接地改善装置。

背景技术：

1、异质结电池主要包含制绒清洗、pecvd、pvd、丝网印刷4个工序，其中pvd工序用以在tco层收集载流子、降低表面反射率。

2、现有技术诸如公告号为cn115101446a的发明，该专利公开了pvd镀膜设备和异质结电池的镀膜方法，该设备包括：第一工艺腔，第一工艺腔设有第一溅射阴极，第一溅射阴极用于装载tco靶材；第二工艺腔，第二工艺腔设有第二溅射阴极，第二溅射阴极用于装载金属种子靶材；第三工艺腔，第三工艺腔设有第三溅射阴极，第二溅射阴极用于装载掩膜靶材；第一真空泵，第一工艺腔与第二工艺腔之间，第二工艺腔与第三工艺腔之间，均设置有第一真空泵，第一真空泵用于保持各工艺腔的气氛；传输机构，传输结构用于装载待加工材料并驱动待加工材料在第一工艺腔、第二工艺腔和第三工艺腔内移动。可实现单台设备的一体化镀膜，降低生产成本。

3、针对上述中的相关内容，发现存在以下技术缺陷：

4、1、现有技术pvds设备中的弹性导电轮主要是借助弹簧的驱动力与载板保持接触，确保电荷可以引入大地，但是弹簧持续受力，容易出现弹性失效，导致电荷无法导入大地，积累的电荷会导致打火，同时也会影响离子对靶材的轰击效果，进而影响溅射率和镀膜质量；

5、2、现有技术中的弹性导电轮在使用损耗后不易进行更换，会增大设备的使用成本。

技术实现思路

1、本申请所要解决的技术问题是：弹性导电轮借助弹簧的驱动力与载板保持接触，弹簧持续受力容易弹性失效，会影响离子对靶材的轰击效果；弹性导电轮在使用损耗后不易进行更换，会增大设备的使用成本的问题。

2、为解决上述技术问题，本申请实施例提供一种异质结pvd接地改善装置，包括：

3、安装板，安装板的截面呈矩形；

4、若干个螺丝，螺丝螺纹穿设在安装板的侧面，螺丝用以对安装板进行安装固定；和

5、调节结构；调节结构位于安装板的一侧，调节结构包括调节机构和更换机构；

6、其中，调节机构包括支撑块，支撑块的一侧与安装板的一侧固定连接，支撑块的上表面转动连接有螺纹杆，螺纹杆的圆弧面螺纹连接有连接块，连接块的下表面固定连接有固定座，固定座的内壁转动穿设有转轴，转轴的圆弧面固定连接有转动块，转动块的截面呈“h”形，更换机构包括金属导电环，金属导电环的两侧与转动块相贴合，金属导电环的内壁开设有若干个固定槽，固定槽的内壁滑动插设有固定块，金属导电环的内壁贴合有转动轮，转动轮的圆弧面与固定块固定连接，转动块的一侧滑动穿设有螺栓，转动轮的侧面开设有圆孔，圆孔与螺栓的尺寸相适配，转动块的另一侧开设有环形孔，环形孔的内壁固定连接有螺母，螺母的内壁与螺栓螺纹连接。

7、在一些实施例中，安装板的侧面开设有滑槽，滑槽的内壁滑动连接有滑块，滑块的一侧与连接块的一侧固定连接。

8、在一些实施例中，支撑块的一侧固定连接有橡胶块。

9、在一些实施例中，支撑块的下表面转动连接有齿块，齿块与螺纹杆的下端固定连接，支撑块的下表面固定连接有隔板，隔板的侧面螺纹穿设有调节杆，调节杆的一端转动连接有圆弧板，圆弧板靠近齿块的一侧固定连接有若干个卡块，齿块与卡块相卡接，隔板的侧面滑动穿设有导向杆，导向杆的一端与圆弧板固定连接。

10、在一些实施例中，固定座的一侧开设有弧形孔，弧形孔的内壁滑动连接有滑杆，滑杆的一端与转动块的一侧固定连接。

11、在一些实施例中，螺纹杆的上端固定连接有若干个转板，转板均匀分布在螺纹杆的上端。

12、在一些实施例中，螺栓的一端固定连接有导向块，导向块设置为锥形结构。

13、通过上述技术方案，通过设置调节结构达到了两种效果：其一，只需转动螺纹杆即可完成对金属导电环高度的调节，使得金属导电环高度能够稳定的与载板接触，整个操作过程不需要复杂的步骤，从而在实际的使用和维护过程中，可提高工作效率；其二，当金属导电环使用磨损后可方便的对其进行更换，降低了整个结构的维护成本。

1.一种异质结pvd接地改善装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述连接块（3103）的下表面固定连接有固定座（3104），所述固定座（3104）的内壁转动穿设有转轴（3105），所述转轴（3105）的圆弧面固定连接有转动块（3106），所述转动块（3106）的截面呈“h”形。

3.根据权利要求2所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述更换机构（32）包括金属导电环（3201），所述金属导电环（3201）的两侧与所述转动块（3106）相贴合，所述金属导电环（3201）的内壁开设有若干个固定槽（3202），所述固定槽（3202）的内壁滑动插设有固定块（3204），所述金属导电环（3201）的内壁贴合有转动轮（3203），所述转动轮（3203）的圆弧面与所述固定块（3204）固定连接，所述转动块（3106）的一侧滑动穿设有螺栓（3206），所述转动轮（3203）的侧面开设有圆孔（3205），所述圆孔（3205）与所述螺栓（3206）的尺寸相适配，所述转动块（3106）的另一侧开设有环形孔（3207）。

4.根据权利要求3所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述环形孔（3207）的内壁固定连接有螺母（3208），所述螺母（3208）的内壁与所述螺栓（3206）螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述安装板（1）的侧面开设有滑槽（3109），所述滑槽（3109）的内壁滑动连接有滑块（3108），所述滑块（3108）的一侧与所述连接块（3103）的一侧固定连接。

6.根据权利要求1所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述支撑块（3101）的一侧固定连接有橡胶块（3116）。

7.根据权利要求1所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述支撑块（3101）的下表面转动连接有齿块（3110），所述齿块（3110）与所述螺纹杆（3102）的下端固定连接，所述支撑块（3101）的下表面固定连接有隔板（3111），所述隔板（3111）的侧面螺纹穿设有调节杆（3112），所述调节杆（3112）的一端转动连接有圆弧板（3113），所述圆弧板（3113）靠近所述齿块（3110）的一侧固定连接有若干个卡块（3114），所述齿块（3110）与所述卡块（3114）相卡接，所述隔板（3111）的侧面滑动穿设有导向杆（3115），所述导向杆（3115）的一端与所述圆弧板（3113）固定连接。

8.根据权利要求2所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述固定座（3104）的一侧开设有弧形孔（3117），所述弧形孔（3117）的内壁滑动连接有滑杆（3118），所述滑杆（3118）的一端与所述转动块（3106）的一侧固定连接。

9.根据权利要求1所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述螺纹杆（3102）的上端固定连接有若干个转板（3107），所述转板（3107）均匀分布在所述螺纹杆（3102）的上端。

10.根据权利要求3所述的异质结pvd接地改善装置，其特征在于，所述螺栓（3206）的一端固定连接有导向块（3209），所述导向块（3209）设置为锥形结构。