电子枪部件、电子枪以及电子束装置的制作方法

本公开涉及一种电子枪部件、电子枪、电子束装置等。

背景技术：

1、电子枪用于电子显微镜、半导体检查装置等电子束装置。电子枪具备电子枪部件和引出电极，电子枪部件具备：具有通过加热发射电子的尖端的电子发射部件，以及具有开口的抑制电极。关于电子枪的结构，已研究了各种结构（例如，参考下述专利文献1）。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2007-250491号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在电子枪部件中，伴随用于电子发射的加热，存在电子发射部件的位置将发生变动的情况。在此情况下，由于可能向与目标照射位置不同的位置发射电子，因此存在难以获得充分的照射精度的情况。

3、本公开的一个侧面的目的在于提供一种在用于电子发射的加热下能够获得充分照射精度的电子枪部件。本公开的另一个侧面的目的在于提供一种具备这种电子枪部件的电子枪。本公开的另一个侧面的目的在于提供一种具备这种电子枪的电子束装置。

4、解决问题的技术手段

5、[1] 一种电子枪部件，其具备：具有通过加热发射电子的尖端的电子发射部件，以及具有开口的抑制电极，所述电子发射部件插通于所述开口，将所述电子发射部件从298k加热至1800k后，在将所述电子发射部件的温度维持于1800k，观察在所述开口中的所述尖端侧的开口面上所述电子发射部件所占的区域时，所述电子发射部件的温度达到1800k开始1分钟后的所述区域的中心与24小时后的所述区域的中心之间的距离为20μm以下。

6、[2] 根据[1]所述的电子枪部件，将下述工序（1）～（3）的步骤重复5次而获得的5个中心中相距最远的2个中心的距离为20μm以下。

7、工序（1）：将所述电子发射部件加热至1800k；

8、工序（2）：继续加热所述电子发射部件，将所述电子发射部件的温度维持于1800k，观察在所述开口中的所述尖端侧的开口面上所述电子发射部件所占的区域，获取所述电子发射部件的温度达到1800k后20分钟时的所述区域的中心；

9、工序（3）：停止加热所述电子发射部件20分钟，将所述电子发射部件的温度降至低于1800k。

10、[3] 根据[1]或[2]所述的电子枪部件，将所述电子发射部件从298k加热至1800k时对所述电子发射部件的通电电力为3.5w以下。

11、[4] 一种电子枪，其具备：[1]～[3]中任一项所述的电子枪部件，以及与所述抑制电极对向的引出电极。

12、[5] 一种电子束装置，其具备[4]所述的电子枪。

13、发明的效果

14、根据本公开的一个侧面，可以提供一种在用于电子发射的加热下能够获得充分照射精度的电子枪部件。根据本公开的另一个侧面，可以提供一种具备这种电子枪部件的电子枪。根据本公开的另一个侧面，可以提供一种具备这种电子枪的电子束装置。

1.一种电子枪部件，其具备：具有通过加热发射电子的尖端的电子发射部件，以及具有开口的抑制电极，

2.根据权利要求1所述的电子枪部件，其中，将下述工序（1）～（3）的步骤重复5次而获得的5个中心中相距最远的2个中心的距离为20μm以下，

3.根据权利要求1所述的电子枪部件，将所述电子发射部件从298k加热至1800k时对所述电子发射部件的通电电力为3.5w以下。

4.一种电子枪，其具备：权利要求1～3中任一项所述的电子枪部件，以及与所述抑制电极对向的引出电极。

5.一种电子束装置，其具备权利要求4所述的电子枪。