一种用于SEM扫描电镜上的滑轨导向机构的制作方法

本发明涉及电镜，具体为一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构。

背景技术：

1、扫描电子显微镜（sem）通过聚焦高能电子束扫描样品以实现微观形貌表征，其样品台的运动导向机构对设备的成像精度、运行稳定性及维护成本具有关键影响。滑轨作为导向机构的核心部件，直接决定了样品台的运动精度与可靠性，是保障sem长期稳定运行的关键结构。

2、目前，sem导向机构的滑轨多采用螺栓夹持固定方式安装于载具上，虽结构简单、装配便捷，但在实际使用时，由于设备运行过程中，腔室内部的机械震动、样品移动过程中的碰触载荷，易导致滑轨两端的固定螺栓发生松动，使滑轨与载具的夹持间隙扩大，约束效果减弱，螺栓松动后，滑轨易发生轴向窜动、掉落或弯曲变形，不仅会直接导致样品台卡滞、运动精度丧失，还可能因滑轨部件脱落引发更严重的设备故障。

3、因此，亟需一种可同时实现螺栓防松与滑轨限位的一体化导向机构，以解决现有技术中滑轨易松动、掉落及弯曲的问题，保障sem导向机构的长期稳定运行。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，包括底座，所述底座的外壁两侧均安装有基座，所述基座的前后两侧均设置有侧板，所述基座的外壁上开设有安装孔，所述安装孔的内腔插接有连接板的一端，所述连接板的另一端延伸出安装孔且设置有滑轨，所述侧板的外壁上装配有螺栓的一端，所述螺栓的另一端依次贯穿侧板和基座，且延伸进安装孔的内腔抵在连接板的外壁上，所述侧板的外壁上转动连接有限位板，所述限位板的外壁上设置有顶块的一端，且顶块的另一端安装有橡胶垫。

3、优选的，所述基座的外壁上开设有插孔，所述限位板的外壁上设置有插块，所述插块与插孔之间相互插接，所述插块的外壁上开设有多个卡孔，所述基座的内腔转动连接有连接杆，所述连接杆的端部设置有卡块，所述连接杆的外壁上安装有扭簧的一端，且扭簧的另一端安装在基座的内壁上。

4、优选的，所述卡孔与卡块之间相匹配且位置相对应。

5、优选的，所述连接杆与基座的内壁之间相距2cm，且连接杆的一端移出基座的内腔。

6、优选的，所述扭簧位于连接杆外壁的中心设置。

7、优选的，所述顶块的形状呈梯形设置，且其端部的橡胶垫与螺栓之间紧密贴合。

8、优选的，所述限位板的形状呈“l”字形设置，且其压紧在滑轨的外壁上。

9、本发明提出的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，有益效果在于：通过螺栓可以对连接板的位置抵住固定，从而便于对滑轨进行拆装操作，通过限位板、顶块和橡胶垫之间的配合，不仅可以对滑轨限位固定，而且还可以对螺栓进行夹持，使得螺栓和滑轨在设备运行过程中更加稳定，通过插孔、插块、卡孔、连接杆、卡块和扭簧之间的配合，从而可以对限位板的位置卡紧固定，该装置通过可翻转限位板结构，实现螺栓防松与滑轨限位的双重作用，限位板翻转后，顶块抵紧螺栓，避免其因震动或碰触发生松动，且卡紧结构能够保障限位板自身稳固，同时限位板夹持滑轨外壁，对滑轨形成可靠约束，防止其出现掉落或弯曲情况，整体稳定性不仅显著提升，而且还降低设备故障概率与维护成本，操作简单便捷，使用灵活，实用性强，满足现有市场上的使用需求。

1.一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的外壁两侧均安装有基座（2），所述基座（2）的前后两侧均设置有侧板（3），所述基座（2）的外壁上开设有安装孔（4），所述安装孔（4）的内腔插接有连接板（5）的一端，所述连接板（5）的另一端延伸出安装孔（4）且设置有滑轨（6），所述侧板（3）的外壁上装配有螺栓（7）的一端，所述螺栓（7）的另一端依次贯穿侧板（3）和基座（2），且延伸进安装孔（4）的内腔抵在连接板（5）的外壁上，所述侧板（3）的外壁上转动连接有限位板（8），所述限位板（8）的外壁上设置有顶块（9）的一端，且顶块（9）的另一端安装有橡胶垫（10）。

2.根据权利要求1所述的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，其特征在于：所述基座（2）的外壁上开设有插孔（11），所述限位板（8）的外壁上设置有插块（12），所述插块（12）与插孔（11）之间相互插接，所述插块（12）的外壁上开设有多个卡孔（13），所述基座（2）的内腔转动连接有连接杆（14），所述连接杆（14）的端部设置有卡块（15），所述连接杆（14）的外壁上安装有扭簧（16）的一端，且扭簧（16）的另一端安装在基座（2）的内壁上。

3.根据权利要求2所述的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，其特征在于：所述卡孔（13）与卡块（15）之间相匹配且位置相对应。

4.根据权利要求2所述的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，其特征在于：所述连接杆（14）与基座（2）的内壁之间相距2cm，且连接杆（14）的一端移出基座（2）的内腔。

5.根据权利要求2所述的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，其特征在于：所述扭簧（16）位于连接杆（14）外壁的中心设置。

6.根据权利要求2所述的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，其特征在于：所述顶块（9）的形状呈梯形设置，且其端部的橡胶垫（10）与螺栓（7）之间紧密贴合。

7.根据权利要求2所述的一种用于sem扫描电镜上的滑轨导向机构，其特征在于：所述限位板（8）的形状呈“l”字形设置，且其压紧在滑轨（6）的外壁上。