一种转盘管道控制方法以及半导体工厂监测系统与流程

本发明涉及半导体工厂监测系统领域，尤其涉及一种转盘管道控制方法以及半导体工厂监测系统。

背景技术：

1、在半导体领域，核心工艺对空气中悬浮颗粒物的浓度极为敏感，监测系统及时对全部取样点进行全方位采样，才能及时发现异常。基于此，半导体工厂在生产过程中，需要对洁净室、工艺区、设备区及辅助区域等多个位置进行连续监测，以掌握不同区域的环境指标变化。现有监测系统存在不足，导致检测数据无法真实反映当前取样点的实际状态。例如半导体工厂面积较大且取样点数量较多时，设置取样点16个或32个，系统受限于现有技术而容易出现异常，在精度和效率两方面指标无法兼顾。

2、针对现有技术中存在的不足，行业内需要设计出一种转盘管道控制方法以及半导体工厂监测系统，来解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本发明所述方案，设计出一种转盘管道控制方法以及半导体工厂监测系统，可以通过集群高频率监控，兼顾精度和效率两方面指标，进而实现半导体工厂数据采集的多样性及高效性。

2、第一方面，本申请提出一种转盘管道控制方法，所述方法用于半导体工厂的智能监测场景，所述方法包括：s1，控制真空泵持续运转，将气体泵入本体转盘；s2，控制系统下发第一指令，使本体转盘开始转动；s3，智能控制器响应于第一指令，控制本体转盘完成转动；s4，控制系统下发第二指令，在本体转盘已经完成转动的状态下，驱动粒子计数器执行量测任务；s5，粒子计数器响应于第二指令，执行量测任务并生成量测原始数据，并循环直至多个取样点均完成轮动。

3、其进一步的技术方案为，所述s1包括：s11，控制真空泵持续运转，将设于半导体工厂的各个取样点的气体通过定位孔泵入本体转盘。

4、其进一步的技术方案为，所述s3包括：s31，智能控制器响应于第一指令，控制本体转盘转动，到达下一个取样点匹配的预设位置，使得相邻的取样点处于可量测状态，进而完成转动。

5、其进一步的技术方案为，用于定位孔数量4n的智能转盘设备，定位孔数量4n逐个对应取样点数量4n，所述智能转盘设备连接半导体工厂监测系统，所述s5包括：s51，粒子计数器响应于第二指令，执行量测任务并生成量测原始数据，之后控制系统获取量测原始数据；s52，控制系统对量测原始数据进行整合，输出量测时间、量测位置、量测最终数据；s53，判断量测时间、量测位置、量测最终数据是否属于有效数值；s54，当属于有效数值时，返回执行s2的步骤，直至数量为4n的多个取样点均完成轮动时终止循环，其中n为正整数。

6、其进一步的技术方案为，所述s52包括：s501，控制系统对量测原始数据进行整合，根据预设的通道兼点位映射表获得量测位置；s502，控制系统根据量测原始数据，提取量测原始数据中包含的连续m个采样周期的瞬时计数值，组成原始计数值序列，其中m为大于等于3的正整数；s503，控制系统调用工业ai模块的预处理层，对原始计数值序列进行滑动窗口离群检测，当原始计数值序列中的任一瞬时计数值偏离窗口内中位数的偏差超过预设偏差阈值时，将该瞬时计数值标记为离群值并予以剔除，获得待修正计数值序列；s504，控制系统调用工业ai模块的校正层，根据待修正计数值序列以及量测位置对应的历史基线值，对待修正计数值序列中保留的每个瞬时计数值执行动态偏移补偿，获得补偿计数值序列；s505，控制系统调用工业ai模块的回归层，对补偿计数值序列中的多个瞬时计数值执行加权拟合，将拟合结果作为当前取样点的颗粒物浓度原始估计值，然后根据量测位置对应的预设标定系数，对颗粒物浓度原始估计值执行量纲转换和量程归一化，获得量测最终数据；s506，控制系统在生成量测最终数据后，读取当前系统时钟的时间戳作为量测时间，将量测时间、量测位置、量测最终数据组合为一条完整记录，分别输出量测时间、量测位置、量测最终数据。

7、其进一步的技术方案为，所述s501包括：控制系统对量测原始数据进行整合，解析量测原始数据中携带的通道标识字段，根据预设的通道兼点位映射表，将通道标识字段转换为对应的取样点编号，获得量测位置。

8、其进一步的技术方案为，所述s503包括：s601，控制系统调用工业ai模块的预处理层，获取预设窗口长度和预设滑动步长，以预设窗口长度和预设滑动步长作为预处理层的配置参数；s602，预处理层根据预设窗口长度，在原始计数值序列上确定起始窗口边界，以起始窗口边界截取第一个窗口片段；s603，预处理层计算第一个窗口片段内所有瞬时计数值的中位数，获得窗口内中位数；s604，预处理层计算第一个窗口片段内每个瞬时计数值相对于窗口内中位数的偏差绝对值，并将偏差绝对值与预设偏差阈值进行比较，当偏差绝对值超过预设偏差阈值时，将对应的瞬时计数值标记为离群值；s605，预处理层根据预设滑动步长，将窗口向后滑动至下一个窗口片段，获取下一个窗口片段，直至获得所有被标记为离群值的瞬时计数值的集合；s606，预处理层将所有被标记为离群值的瞬时计数值从原始计数值序列中移除，将原始计数值序列中剩余的瞬时计数值按原有顺序重新排列，获得待修正计数值序列。

9、其进一步的技术方案为，所述s605包括：预处理层根据预设滑动步长，将窗口向后滑动至下一个窗口片段，获取下一个窗口片段，计算下一个窗口片段内的窗口内中位数，并计算下一个窗口片段内每个瞬时计数值相对于下一个窗口片段内的窗口内中位数的偏差绝对值，将偏差绝对值与预设偏差阈值进行比较，当偏差绝对值超过预设偏差阈值时，将对应的瞬时计数值标记为离群值，直至原始计数值序列中的最后一个窗口片段被处理完毕，获得所有被标记为离群值的瞬时计数值的集合。

10、综上所述，现有监测系统存在不足，导致检测数据无法真实反映当前取样点的实际状态；例如半导体工厂面积较大且取样点数量较多时，设置取样点16个或32个，系统受限于现有技术而容易出现异常，在精度和效率两方面指标无法兼顾；基于此，本申请提出一种转盘管道控制方法以及半导体工厂监测系统，可以通过集群高频率监控，兼顾精度和效率两方面指标，进而实现半导体工厂数据采集的多样性及高效性。

1.一种转盘管道控制方法，其特征在于，所述方法用于半导体工厂的智能监测场景，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的转盘管道控制方法，其特征在于，所述s1包括：

3.根据权利要求2所述的转盘管道控制方法，其特征在于，所述s3包括：

4.根据权利要求3所述的转盘管道控制方法，其特征在于，用于定位孔数量4n的智能转盘设备，定位孔数量4n逐个对应取样点数量4n，所述智能转盘设备连接半导体工厂监测系统，所述s5包括：

5.根据权利要求4所述的转盘管道控制方法，其特征在于，所述s52包括：

6.根据权利要求5所述的转盘管道控制方法，其特征在于，所述s501包括：

7.根据权利要求6所述的转盘管道控制方法，其特征在于，所述s503包括：

8.根据权利要求7所述的转盘管道控制方法，其特征在于，所述s605包括：

9.一种半导体工厂监测系统，其特征在于，所述半导体工厂监测系统连接智能转盘设备，用于实现如权利要求1至8任意一项所述的转盘管道控制方法。