一种injector斜面密封槽加工结构的制作方法

本技术属于半导体加工治具，具体地说，本技术涉及一种injector斜面密封槽加工结构。

背景技术：

1、刻蚀机的石英喷嘴是半导体刻蚀工艺中的关键部件，主要用于喷射刻蚀气体，已实现对晶圆表面材料的选择性去除。石英喷嘴在设计时靠近晶圆的一面通常为平面，远离晶圆的一面一般设计为4°的斜面，并在斜面上设计有垂直于斜面的环形密封槽。此种密封槽一般需要四轴机床才能加工，加工成本较高。市场上也有使用三轴机床配合定制的治具加工，虽然降低了设备要求，但是使用夹具固定，容易对产品外径造成划伤，而且每次只能固定一个产品比较麻烦。

2、中国专利（公开号：117089924a）公开了一种半导体气相外延用石英喷嘴及其制备和使用方法，所属半导体气相外延技术领域，喷嘴为同心圆三环通道喷嘴，从内至外依次为内通道、中通道和外通道；中通道和外通道的底端共同熔接一个分布板，内通道的底端熔接有底分布板；内通道底端突出于中通道和外通道底端。通过一个喷嘴能够同时进行不同气体喷入；一个喷嘴安装口提高外延反应炉的气密性；喷气孔设计斜度，改变气体喷入路径；通道隔层之间注入隔热液，提高喷嘴使用寿命，适用于多种不同温度气体喷入，防止喷嘴内硅源气体发生气相分解生成粉末状硅。设计内通道突出并贴近晶圆，进行横向角度喷射冷氢气。但进行半导体蚀刻时，对石英喷嘴固定时，容易造成石英喷嘴外径造成划伤，而且每次只能固定一个产品比较麻烦。

技术实现思路

1、本实用新型是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种能够减少对石英喷嘴加工时的划伤，同时提高生产效率的injector斜面密封槽加工结构，为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种injector斜面密封槽加工结构，包括石英治具和石英喷嘴，所述石英治具上设置有固定机构，所述石英喷嘴设置在固定机构内。

2、所述固定机构包括安装平面和避让孔，所述安装平面设置在石英治具上，所述避让孔设置在安装平面上，所述石英喷嘴一端插入避让孔内，所述安装平面上设置有紧固结构。

3、所述紧固结构包括环形气道和连接孔，所述环形气道设置在安装平面上，所述连接孔设置在石英治具内与环形气道连通，所述石英治具上设置有接头安装孔，所述接头安装孔与连接孔连通，所述接头安装孔连接有真空机。

4、所述石英治具上设置有排液孔，所述排液孔与避让孔连通。

5、所述石英喷嘴上设置有抵接板，所述抵接板与安装平面相抵。

6、所述安装平面上设置有x轴基准限位板和y轴基准限位板，所述抵接板与x轴基准限位板和y轴基准限位板相抵。

7、所述固定机构在石英治具上呈圆周对称设置。

8、所述安装平面设置为与水平面呈四度夹角的斜面。

9、本实用新型的技术效果为：在石英喷嘴的一端固定在避让孔内后，真空机产生的负压通过连接孔传递给环形气道，负压在安装平面上均匀分布于石英喷嘴底部周边，石英喷嘴紧紧地吸附在安装平面上，使石英喷嘴的固定更牢固。

10、通过安装平面设计成四度的斜面，石英喷嘴放置在安装平面上，即可保证石英喷嘴上的斜面在加工时与刀具的底面水平，无需四轴机床加工出密封槽，降低了加工成本。

1.一种injector斜面密封槽加工结构，包括石英治具（1）和石英喷嘴（2），其特征在于，所述石英治具（1）上设置有固定机构（3），所述石英喷嘴（2）设置在固定机构（3）内。

2.根据权利要求1所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述固定机构（3）包括安装平面（301）和避让孔（302），所述安装平面（301）设置在石英治具（1）上，所述避让孔（302）设置在安装平面（301）上，所述石英喷嘴（2）一端插入避让孔（302）内，所述安装平面（301）上设置有紧固结构（31）。

3.根据权利要求2所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述紧固结构（31）包括环形气道（311）和连接孔（312），所述环形气道（311）设置在安装平面（301）上，所述连接孔（312）设置在石英治具（1）内与环形气道（311）连通，所述石英治具（1）上设置有接头安装孔（313），所述接头安装孔（313）与连接孔（312）连通，所述接头安装孔（313）连接有真空机。

4.根据权利要求2所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述石英治具（1）上设置有排液孔（4），所述排液孔（4）与避让孔（302）连通。

5.根据权利要求2所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述石英喷嘴（2）上设置有抵接板（5），所述抵接板（5）与安装平面（301）相抵。

6.根据权利要求5所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述安装平面（301）上设置有x轴基准限位板（6）和y轴基准限位板（7），所述抵接板（5）与x轴基准限位板（6）和y轴基准限位板（7）相抵。

7.根据权利要求1所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述固定机构（3）在石英治具（1）上呈圆周对称设置。

8.根据权利要求2所述的injector斜面密封槽加工结构，其特征在于：所述安装平面（301）设置为与水平面呈四度夹角的斜面。