一种单晶硅硅棒边皮托举装置的制作方法

本技术涉及单晶硅加工，具体地涉及一种单晶硅硅棒边皮托举装置。

背景技术：

1、在单晶硅片生产领域，晶棒开方后的边皮处理是关键环节。现有技术中，普遍采用气缸驱动推杆的托举机构来实现边皮的夹持与转运。然而，该机构中气缸与推杆通常采用刚性硬连接方式。这种设计存在显著缺陷：它对推杆自身的直线度、气缸安装孔的位置精度以及现场装配手法都提出了极为苛刻的要求。

2、在实际装配与长期运行过程中，微小的加工误差或累积的安装偏差极易导致推杆与气缸轴心线不同轴，从而产生严重的运动干涉和侧向应力，最终引发推杆卡滞故障。这一问题直接影响设备的连续运行稳定性和生产效率，是制约现有托举机构可靠性的首要技术瓶颈。

技术实现思路

1、针对现有推杆与气缸轴心先容易产生不同轴，导致推杆卡滞故障的技术问题，本实用新型提供了一种单晶硅硅棒边皮托举装置，通过在驱动器与推杆之间安装万向接头，将原有的硬性连接改进为柔性连接，从而补偿推杆与驱动器之间的同轴度偏差。

2、本实用新型的技术方案是：

3、一种单晶硅硅棒边皮托举装置，包括：

4、底座；

5、推杆，活动设于所述底座上；

6、驱动器，其输出端与所述推杆的一端连接；

7、托块，设于所述推杆的另一端上，其承托面结构为l型；

8、万向接头，设于所述驱动器的输出端与所述推杆的端部之间。

9、可选地，所述驱动器为气缸。

10、可选地，所述推杆与所述托块的连接处设有密封组件。

11、可选地，所述密封组件包括防护罩，所述防护罩设于所述托块上，并罩设于所述推杆与所述托块的连接处。

12、可选地，所述密封组件还包括伸缩管，所述伸缩管套设于所述推杆上，且所述伸缩管的一端连接于所述托块上，另一端连接于所述底座上。

13、可选地，所述伸缩管为波纹管。

14、可选地，所述托块的一端向其一侧面凸起，形成l形的承托面，所述防护罩设于所述托块的另一侧面上。

15、可选地，所述伸缩管的两端分别与所述防护罩和所述底座之间设有密封垫。

16、可选地，所述底座上设有滑道，所述推杆滑动设于所述滑道内。

17、可选地，所述托块上设有若干的减重区。

18、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

19、通过在驱动器与推杆之间增设万向接头，有效补偿了推杆直线度与驱动器安装的同轴度偏差。使得机构对零部件加工精度和装配手法的要求大为降低，从而使系统具有良好的自适应调整能力，消除了因刚性干涉导致的动作卡滞现象，确保了顶升托举动作的长期连续可靠性。同时，该柔性连接结构降低了装配难度，提升了对制造与安装误差的容忍度，增强了机构的整体稳定性与使用寿命。

1.一种单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述驱动器为气缸。

3.根据权利要求1所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述推杆与所述托块的连接处设有密封组件。

4.根据权利要求3所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述密封组件包括防护罩，所述防护罩设于所述托块上，并罩设于所述推杆与所述托块的连接处。

5.根据权利要求4所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述密封组件还包括伸缩管，所述伸缩管套设于所述推杆上，且所述伸缩管的一端连接于所述托块上，另一端连接于所述底座上。

6.根据权利要求5所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述伸缩管为波纹管。

7.根据权利要求4所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述托块的一端向其一侧面凸起，形成l形的承托面，所述防护罩设于所述托块的另一侧面上。

8.根据权利要求5所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述伸缩管的两端分别与所述防护罩和所述底座之间设有密封垫。

9.根据权利要求1所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述底座上设有滑道，所述推杆滑动设于所述滑道内。

10.根据权利要求1所述的单晶硅硅棒边皮托举装置，其特征在于，所述托块上设有若干的减重区。