光电转换装置、光电转换系统及移动体的制作方法

技术特征：
1.一种光电转换装置，其特征在于，包括：第一基板，包括第一半导体层和第一布线结构，所述第一半导体层包括多个光电转换单元；第二基板，包括第二半导体层和第二布线结构，所述第二半导体层包括以与所述多个光电转换单元对应的方式设置的多个像素电路；第三基板，包括第三半导体层和第三布线结构，所述第三半导体层包括被配置为处理从所述多个像素电路输出的信号的信号处理电路；和第一贯通布线，穿过所述第三半导体层，其中所述多个光电转换单元中的每一个包括雪崩二极管；所述第一基板和所述第二基板被堆叠为使得所述第一布线结构和所述第二布线结构设置在所述第一半导体层与所述第二半导体层之间，以及所述第二基板和所述第三基板被堆叠为使得所述第三布线结构设置在所述第二半导体层与所述第三半导体层之间。2.根据权利要求1所述的光电转换装置，还包括：第二贯通布线，穿过所述第二半导体层，其中所述第二贯通布线是用于所述第二布线结构的布线与所述第三布线结构的布线之间的电连接的布线。3.根据权利要求2所述的光电转换装置，其中所述第二贯通布线是穿过所述第三半导体层的布线。4.根据权利要求2或3所述的光电转换装置，其中所述第二贯通布线从所述第三半导体层的与设置所述第三布线结构的表面相对的表面朝向所述第三布线结构形成。5.根据权利要求2至4中的任一项所述的光电转换装置，其中所述第二贯通布线是用于将从所述第二基板的所述多个像素电路输出的信号输入到所述第三基板的所述信号处理电路中的布线。6.根据权利要求2至5中的任一项所述的光电转换装置，其中所述第二贯通布线是用于供应用于所述第二基板的所述多个像素电路的驱动电压以及用于所述第三基板的所述信号处理电路的驱动电压的布线。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的光电转换装置，还包括：第三贯通布线，穿过所述第三半导体层和所述第二半导体层，其中所述第三贯通布线是用于向所述第二布线结构的布线供应电压的布线。8.根据权利要求7所述的光电转换装置，还包括：第四贯通布线，穿过所述第二半导体层，其中所述第四贯通布线是用于向所述第三布线结构的布线供应电压的布线，以及所述第三贯通布线和所述第四贯通布线彼此不电连接。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的光电转换装置，具有：像素区域，设置有包括所述多个光电转换单元的多个像素，其中所述第一布线结构包括多个第一接合部，所述第二布线结构包括多个第二接合部，
所述多个第一接合部分别接合到所述多个第二接合部，从而形成多个金属接合部，以及在平面图中，布置在所述像素区域中的所述多个金属接合部中的每一个是为所述多个光电转换单元中的对应光电转换单元而设置的。10.根据权利要求1至8中的任一项所述的光电转换装置，具有：像素区域，设置有包括所述多个光电转换单元的多个像素；和周边区域，设置在所述光电转换装置的所述像素区域与芯片端部之间，其中所述第一布线结构包括多个第一接合部，所述第二布线结构包括多个第二接合部，所述多个第一接合部分别接合到所述多个第二接合部，从而形成多个金属接合部，以及所述多个金属接合部设置在所述周边区域中。11.根据权利要求1至8中的任一项所述的光电转换装置，具有：像素区域，设置有包括所述多个光电转换单元的多个像素，其中所述第二布线结构包括多个第三接合部，所述第三布线结构包括多个第四接合部，以及所述多个第三接合部分别接合到所述多个第四接合部，从而形成多个金属接合部。12.根据权利要求11所述的光电转换装置，其中所述多个第三接合部中的至少一个经由穿过所述第二半导体层的第三贯通布线电连接到所述第一布线结构的布线，以及在所述第三贯通布线与所述第二半导体层之间设置有绝缘体。13.根据权利要求1至8中的任一项所述的光电转换装置，其中作为用于通过所述第一基板和所述第二基板的接合面连接所述第一布线结构的布线和所述第二布线结构的布线的布线数量的第一连接数量大于作为用于通过所述第二基板和所述第三基板的接合面连接所述第二布线结构的布线和所述第三布线结构的布线的布线数量的第二连接数量。14.根据权利要求13所述的光电转换装置，具有：像素区域，设置有所述多个光电转换单元，其中在所述像素区域中，所述第一连接数量大于所述第二连接数量。15.根据权利要求1至14中的任一项所述的光电转换装置，还包括：时间测量电路，其中所述时间测量电路设置在所述第二基板中，以及所述时间测量电路由所述多个光电转换单元共享。16.根据权利要求15所述的光电转换装置，其中在平面图中，由所述多个光电转换单元共享的所述时间测量电路与共享所述时间测量电路的所述多个光电转换单元中的至少一部分重叠。17.一种光电转换系统，包括：根据权利要求1至16中的任一项所述的光电转换装置；和信号处理单元，被配置为处理从所述光电转换装置输出的信号。
18.一种移动体，包括：根据权利要求1至16中的任一项所述的光电转换装置；距离信息获取器，被配置为从基于从所述光电转换装置输出的信号的测距信息获得关于到目标物体的距离的信息；和控制器，被配置为基于所述距离信息来控制所述移动体。

技术总结
该光电转换装置包括：设置有多个雪崩二极管的第一基板；设置有多个像素电路的第二基板；以及设置有信号处理电路的第三基板。第二基板和第三基板层叠以使得在第二基板和第三基板的两个半导体层之间设置有第三布线结构。设置有穿过第三基板的半导体层的第一贯通布线。线。线。


技术研发人员：岩田旬史 森本和浩 前桥雄 林良之
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2022.01.14
技术公布日：2023/9/23