弹性波装置的制作方法

技术特征：
1.一种弹性波装置，具备：压电膜，其包括铌酸锂或钽酸锂；第一汇流条电极及第二汇流条电极，其设置在所述压电膜上，并且相对置；以及第一电极指及第二电极指，其设置在所述压电膜上，所述第一电极指的一端与所述第一汇流条电极连接，所述第二电极指的一端与所述第二汇流条电极连接，所述弹性波装置利用厚度剪切一次模式的体波，在将所述第一电极指及所述第二电极指延伸的方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第二方向上相对置，在所述第一汇流条电极与所述第二电极指之间配置有第一间隙，在所述第二汇流条电极与所述第一电极指之间配置有第二间隙，在将相邻的所述第一电极指与所述第二电极指的中心间距离设为p的情况下，所述第一间隙及所述第二间隙的沿着所述第一方向的长度为0.92p以上。2.一种弹性波装置，具备：压电膜，其包括铌酸锂或钽酸锂；第一汇流条电极及第二汇流条电极，其设置在所述压电膜上，并且相对置；以及第一电极指及第二电极指，其设置在所述压电膜上，所述第一电极指的一端与所述第一汇流条电极连接，所述第二电极指的一端与所述第二汇流条电极连接，在将所述压电膜的厚度设为d、将相邻的所述第一电极指与所述第二电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在将所述第一电极指及所述第二电极指延伸的方向设为第一方向、将与所述第一方向正交的方向设为第二方向时，所述第一电极指与所述第二电极指在所述第二方向上相对置，在所述第一汇流条电极与所述第二电极指之间配置有第一间隙，在所述第二汇流条电极与所述第一电极指之间配置有第二间隙，所述第一间隙及所述第二间隙的沿着所述第一方向的长度为0.92p以上。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述第一间隙及所述第二间隙的沿着所述第一方向的长度为9.2p以下。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，所述第一间隙及所述第二间隙的沿着所述第一方向的长度为3p以下。5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，在将所述压电膜的厚度设为d、将相邻的所述第一电极指与所述第二电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.24以下。6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，在从所述第二方向观察时，相邻的所述第一电极指及所述第二电极指重叠的区域为激励区域，在将相对于所述激励区域的所述多个第一电极指及所述第二电极指的金属化率设为mr时，满足mr≤1.75(d/p) 0.075。

技术总结
提供一种弹性波装置，即便在推进了小型化的情况下也能够提高Q值且谐振特性难以劣化。本发明的弹性波装置(1)具备包括铌酸锂或钽酸锂的压电膜(2)、设置在压电膜(2)上且相对置的第一、第二汇流条电极(6、7)以及一端与第一、第二汇流条电极(6、7)连接的第一、第二电极指(8、9)。利用了厚度剪切一次模式的体波。在第一汇流条电极(6)与第二电极指(9)之间配置有第一间隙(G1)。在第二汇流条电极(7)与第一电极指(8)之间配置有第二间隙(G2)。在将相邻的第一、第二电极指(8、9)的中心间距离设为p的情况下，第一、第二间隙(G1、G2)的沿着第一、第二电极指(8、9)延伸的方向的长度为0.92p以上。9)延伸的方向的长度为0.92p以上。9)延伸的方向的长度为0.92p以上。


技术研发人员：大内峰文
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.03.29
技术公布日：2022/11/15