电子束产生源、电子束照射装置和X射线照射装置的制作方法

技术特征：
1.一种电子束产生源，其包括：电子发射部，其在所期望的轴线上延伸，并发射电子；支承部，其与向所述电子发射部供电的供电装置电连接；张力保持部，其连接在所述电子发射部的一个端部与所述支承部之间，通过按压力或拉伸力来保持所述电子发射部的张力；和供电路径部，其一个端部与所述支承部电连接，并且另一个端部与所述电子发射部的所述一个端部电连接，所述张力保持部的电阻值比所述供电路径部的电阻值大。2.如权利要求1所述的电子束产生源，其中，还包括可动部，该可动部连结所述电子发射部的所述一个端部与所述张力保持部的另一个端部，并能够沿着所述轴线移动，所述张力保持部的一个端部与所述支承部连接，并且所述供电路径部的所述另一个端部和所述张力保持部的所述另一个端部与所述可动部连接。3.如权利要求2所述的电子束产生源，其中，所述供电路径部的所述一个端部与所述支承部连接，所述供电路径部的长度比从所述供电路径部与所述支承部的连接位置至所述供电路径部与所述可动部的连接位置的长度长。4.如权利要求3所述的电子束产生源，其中，所述供电路径部具有金属薄膜部，所述金属薄膜部的厚度比所述金属薄膜部的宽度小。5.如权利要求2～4中任一项所述的电子束产生源，其中，所述可动部由导电材料形成。6.如权利要求2～5中任一项所述的电子束产生源，其中，所述支承部包括在内部具有收纳空间的壳体部，所述供电路径部与所述可动部的连接部分和所述张力保持部与所述可动部的连接部分分别位于所述收纳空间内。7.如权利要求6所述的电子束产生源，其中，所述壳体部以所述可动部能够沿着所述轴线移动的方式支承所述可动部。8.如权利要求1所述的电子束产生源，其中，还包括可动部，该可动部与所述电子发射部的一个端部连结，并由导电材料形成，所述支承部包括在内部具有收纳空间的壳体部，所述壳体部包括以所述可动部能够移动的方式保持所述可动部的可动部保持部，所述供电路径部的所述另一个端部通过所述可动部与所述可动部保持部电连接而构成。9.如权利要求2～8中任一项所述的电子束产生源，其中，所述张力保持部在所述轴线上与所述可动部连结，通过对所述可动部赋予所述拉伸力而经由所述可动部保持所述电子发射部的张力。10.如权利要求2～9中任一项所述的电子束产生源，其中，所述支承部包括壳体部，该壳体部包括在内部收纳所述张力保持部的内部空间，
所述张力保持部配置于所述可动部的供所述张力保持部抵接的可动部张力承受部与所述壳体部中的位于比所述可动部张力承受部靠所述电子发射部侧的位置的壳体张力承受部之间，通过将所述按压力施加于所述可动部而经由所述可动部保持所述电子发射部的张力。11.如权利要求2～10中任一项所述的电子束产生源，其中，在所述张力保持部与所述可动部之间、和所述张力保持部与所述支承部之间的至少任一处，设置有由导电性比所述张力保持部低的材料构成的绝缘部件。12.一种电子束照射装置，其包括：权利要求1～11中任一项所述的电子束产生源；主体部，其收纳所述电子束产生源；和电子取出部，其用于将来自所述电子束产生源的电子取出到所述主体部的外部。13.一种x射线照射装置，其包括：权利要求1～11中任一项所述的电子束产生源；主体部，其收纳所述电子束产生源；和x射线产生部，其通过入射来自所述电子束产生源的电子而产生x射线；和x射线取出部，其用于将所述x射线取出到所述主体部的外部。

技术总结
电子束产生源具有：电子发射部，其在所期望的轴线上延伸，并发射电子；支承部，其与向电子发射部供电的供电装置电连接；张力保持部，其连接在电子发射部的一个端部与支承部之间，通过按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力；和供电路径部，其一个端部与支承部电连接，并且另一个端部与电子发射部的一个端部电连接。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。


技术研发人员：原口大 长谷川义人
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2021.01.28
技术公布日：2022/11/25