一种刻蚀设备的制作方法

技术特征：
1.一种刻蚀设备，其特征在于，包括腔体壁、介质窗和第一隔离板；所述腔体壁和所述介质窗形成腔室；所述腔体壁具有开口；所述开口用于所述第一隔离板从所述开口沿第一方向滑入所述腔室，使所述第一隔离板和所述腔体壁形成子腔室。2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括滑轨；所述滑轨安装在所述介质窗或所述第一隔离板上，所述滑轨沿第一方向，所述介质窗和所述第一隔离板之间通过所述滑轨滑动连接，所述第一隔离板通过所述滑轨从所述开口沿第一方向滑入所述腔室。3.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述第一隔离板具有密封槽，所述密封槽中具有密封圈，用于在所述第一隔离板从所述开口沿第一方向滑入所述腔室时，密封所述开口。4.根据权利要求3所述的刻蚀设备，其特征在于，所述密封圈的延伸方向与所述第一方向垂直。5.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，所述介质窗具有第一通孔，在第一通孔中设置有喷嘴，用于通入气体；所述第一隔离板具有多个第二通孔。6.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，在所述第一隔离板从所述开口沿第一方向滑入所述腔室时，所述介质窗的下表面和所述第一隔离板的上表面贴合，沿所述第一隔离板和所述介质窗的堆叠方向，所述第一通孔的投影覆盖所述多个第二通孔的投影。7.根据权利要求1-6任意一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述第一隔离板的材料可以为陶瓷或石英。8.根据权利要求1-6任意一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述第一隔离板的厚度小于所述介质窗的厚度。9.根据权利要求1-6任意一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括第二隔离板；所述第二隔离板位于所述子腔室内，用于将所述子腔室分隔为上腔室和下腔室，所述上腔室和下腔室之间连通，所述下腔室具有用于放置载片的支撑装置。10.根据权利要求1-6任意一项所述的刻蚀设备，其特征在于，所述刻蚀设备还包括加热装置和温度传感器；所述加热装置位于所述介质窗背离所述第一隔离板的一侧，用于加热所述介质窗；所述温度传感器位于所述第一隔离板的四周，用于检测所述第一隔离板的温度。

技术总结
本申请提供一种刻蚀设备，包括腔体壁、介质窗和第一隔离板，腔体壁和介质窗形成腔室，以在腔室内对待刻蚀结构进行刻蚀，腔体壁具有开口，开口用于第一隔离板从开口沿第一方向滑入腔室，使第一隔离板和腔体壁形成子腔室，这样，在子腔室中长时间刻蚀时，仅第一隔离板的下表面被污染，介质窗由于其下方第一隔离板的保护未被污染，仅需对第一隔离板进行更换或清洗即可，而且，在更换第一隔离板时，可以通过腔体壁上的开口将第一隔离板滑出，操作简单方便，减少了更换时间，能够提高产量。能够提高产量。能够提高产量。


技术研发人员：王海东 朱小庆 胡冬冬 许开东
受保护的技术使用者：江苏鲁汶仪器股份有限公司
技术研发日：2022.11.18
技术公布日：2023/3/3