一种多线切割机用切削液导流装置及多线切割机的制作方法

技术特征：
1.一种多线切割机用切削液导流装置，安装在多线切割机中工作台夹持装置两端，其特征在于，包括：导流板组件，所述导流板组件包括固定部和活动部，所述固定部用于与工作台夹持装置连接，所述活动部形成有用于收集多余切削液的v型引流槽，所述活动部可绕所述固定部转动，所述引流槽角度可变；防水层，所述防水层安装在所述导流板组件的上方；传动机构，所述传动机构安装在所述固定部的底部，用于带动所述活动部动作，以改变所述引流槽的位置和角度；位置传感器，所述位置传感器用于检测多线切割机中钢线的位置；控制器，所述控制器与所述位置传感器、所述传动机构连接，所述控制器用于根据所述位置传感器的检测值控制所述传动机构工作。2.根据权利要求1所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述导流板组件包括依次布置的第一导流板、第二导流板和第三导流板，所述第一导流板为所述固定部，所述第二导流板和第三导流板为所述活动部，所述第二导流板的两端分别与所述第一导流板、所述第三导流板铰接；所述第一导流板水平安装在工作台夹持装置上；所述第二导流板与所述第三导流板围成的空间形成所述引流槽。3.根据权利要求2所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述传动机构包括：第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆布置在所述第一导流板与所述第二导流板之间，所述第一电动伸缩杆的一端与所述第一导流板的下表面铰接，所述第一电动伸缩杆的另一端与所述第二导流板的下表面靠近所述第一导流板的一侧铰接；第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆布置在所述第二导流板与所述第三导流板之间，所述第二电动伸缩杆的一端与所述第二导流板的下表面远离所述第一导流板的一侧铰接，所述第二电动伸缩杆的另一端与所述第二导流板的上表面伸至所述第二导流板底部的位置铰接；所述第一电动伸缩杆、所述第二电动伸缩杆与所述控制器连接。4.根据权利要求2所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述传动机构包括两个对称布置在所述第一导流板底部的传动组件和驱动传动组件工作的动力机构，所述传动组件包括：安装座，所述安装座安装在所述第一导流板上；直连杆，所述直连杆靠近所述安装座的端部与所述安装座铰接；第一导向杆，所述第一导向杆靠近所述安装座的端部与所述安装座铰接，所述第一导向杆远离所述安装座的端部设有主动齿轮；第二导向杆，所述第二导向杆的一端设有与所述主动齿轮相啮合的从动齿轮；曲型连杆，所述曲型连杆的一端与所述直连杆远离所述安装座的端部铰接，所述曲型连杆的中部与所述主动齿轮铰接，所述曲型连杆的另一端与所述从动齿轮铰接；所述第二导流板安装在两个所述第一导向杆上；所述第三导流板安装在两个所述第二导向杆上；所述动力机构与所述第一导向杆连接，以带动所述第一导向杆绕所述第一导向杆与所
述安装座之间的铰接点转动。5.根据权利要求4所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述动力机构包括：伺服电机，所述伺服电机为双向伺服电机，安装在所述第一导流板的底部；主动伞齿轮，所述主动伞齿轮安装在所述伺服电机的输出端；驱动轴，所述驱动轴的两端分别与两个所述第一导向杆连接；从动伞齿轮，所述从动伞齿轮安装在所述驱动轴上，并与所述主动伞齿轮相啮合。6.根据权利要求2所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，所述第三导流板为弧形板。7.根据权利要求1所述的一种多线切割机用切削液导流装置，其特征在于，还包括流量传感器，所述流量传感器安装在所述导流板组件靠近晶棒的端部，用于检测切削液的流量；所述流量传感器与控制器连接。8.一种多线切割机，其特征在于，包括：切片装置，所述切片装置上设置有用于夹持晶棒的工作台夹持装置；导流装置，所述导流装置有两个，对称安装在工作台夹持装置的两侧，所述导流装置为权利要求1至7中任一项所述的多线切割机用切削液导流装置。

技术总结
本实用新型公开了一种多线切割机用切削液导流装置及多线切割机，切削液导流装置包括：导流板组件，安装在引流板组件上方的防水层，传动机构，用于检测多线切割机中钢线的位置的位置传感器，以及用于根据位置传感器的检测值控制传动机构工作的控制器；导流板组件包括固定部和活动部，固定部用于与工作台夹持装置连接，活动部形成有用于收集多余切削液的V型引流槽，活动部可绕固定部转动，引流槽角度可变；传动机构安装在固定部的底部，用于带动活动部动作，以改变引流槽的位置和角度。本实用新型能够根据切割深度的变化调整接收砂浆的角度，以将多余的砂浆及时、更大程度的收集、引流出去，减少对晶片的冲击，减少裂片的出现。减少裂片的出现。减少裂片的出现。


技术研发人员：魏聪
受保护的技术使用者：徐州鑫晶半导体科技有限公司
技术研发日：2022.09.26
技术公布日：2023/2/13