一种加速度计的制作方法

技术特征：
1.一种加速度计，包括基底、设置于所述基底的锚点以及与所述锚点弹性连接的跷跷板结构，其特征在于，所述加速度计还包括用于检测所述跷跷板结构加速度的差分检测组件，所述跷跷板结构包括相互平行且反向放置的第一跷跷板结构以及第二跷跷板结构，所述锚点包括与所述第一跷跷板结构弹性连接的第一锚点以及与所述第二跷跷板结构弹性连接的第二锚点；所述第一跷跷板结构包括与所述第一锚点连接的第一弹性件以及与所述第一弹性件连接的第一质量块，所述第一质量块由正相载波驱动信号从所述第一锚点处驱动；所述第二跷跷板结构包括与对应的所述第二锚点连接的第二弹性件以及与所述第二弹性件连接的第二质量块，所述第二质量块由反相载波驱动信号从所述第二锚点处驱动。2.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于：所述第一质量块与所述第二质量块为非对称结构；其中，所述第一质量块包括与所述第一弹性件连接的第一质量部以及与所述第一质量部连接的第二质量部；所述第二质量块包括与所述第二弹性件连接的第三质量部以及与所述第三质量部连接的第四质量部；所述第一质量部绕所述第一弹性件的转动惯量与所述第四质量部绕所述第二弹性件的转动惯量匹配，所述第二质量部绕所述第一弹性件的转动惯量与所述第三质量部绕所述第二弹性件的转动惯量匹配。3.根据权利要求1所述的加速度计，其特征在于：所述差分检测组件包括设置于所述基底的第一z轴电容检测电极，所述第一z轴电容检测电极正对所述第一质量块靠近所述第一弹性件的一侧、以及所述第二质量块背离所述第二弹性件的一侧，以形成第一z轴差分检测电容以及第二z轴差分检测电容；其中，所述第一z轴差分检测电容的极板面积乘以极板到所述第一弹性件距离的乘积等于所述第二z轴差分检测电容的极板面积乘以极板到所述第二弹性件距离的乘积，且所述第一z轴差分检测电容以及所述第二z轴差分检测电容的极板间距相同。4.根据权利要求3所述的加速度计，其特征在于：所述差分检测组件还包括设置于所述基底的第二z轴电容检测电极，所述第二z轴电容检测电极正对所述第一质量块背离所述第一弹性件的一侧、以及所述第二质量块靠近所述第二弹性件的一侧，以形成第三z轴差分检测电容以及第四z轴差分检测电容；其中，所述第三z轴差分检测电容的极板面积乘以极板到所述第一弹性件距离的乘积等于所述第四z轴差分检测电容的极板面积乘以极板到所述第二弹性件距离的乘积，且所述第三z轴差分检测电容以及所述第四z轴差分检测电容的极板间距相同；所述第三z轴差分检测电容的极板面积乘以极板到所述第一弹性件距离的乘积等于所述第一z轴差分检测电容的极板面积乘以极板到所述第一弹性件距离的乘积，且所述第三z轴差分检测电容与所述第一z轴差分检测电容的极板间距相同，以形成双差分z轴检测电容。5.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于：所述第一质量块还包括垂直于y轴的第一侧壁；所述第二质量块还包括垂直于y轴的第二侧壁；所述差分检测组件包括设置于所述基底的第一y轴电容检测电极，所述第一y轴电容检测电极正对所述第一侧壁与所述第二
侧壁，以形成第一y轴差分检测电容以及第二y轴差分检测电容；其中，所述第一y轴差分检测电容以及所述第二y轴差分检测电容的极板间距相同。6.根据权利要求5所述的加速度计，其特征在于：所述第一质量块还包括与所述第一侧壁相对设置的第三侧壁；所述第二质量块还包括与所述第二侧壁相对设置的第四侧壁；所述差分检测组件还包括设置于所述基底的第二y轴电容检测电极，所述第二y轴电容检测电极正对所述第三侧壁与所述第四侧壁，以形成第三y轴差分检测电容以及第四y轴差分检测电容；其中，所述第三y轴差分检测电容以及所述第四y轴差分检测电容的极板间距相同；所述第三y轴差分检测电容与所述第一y轴差分检测电容的正对面积相等、极板间距相同，所述第四y轴差分检测电容与所述第二y轴差分检测电容的正对面积相等、极板间距相同，以形成双差分y轴检测电容。7.根据权利要求2所述的加速度计，其特征在于：所述第一质量块还包括垂直于x轴的第五侧壁；所述第二质量块还包括垂直于x轴的第六侧壁；所述差分检测组件包括设置于所述基底的第一x轴电容检测电极，所述第一x轴电容检测电极正对所述第五侧壁与所述第六侧壁，以形成第一x轴差分检测电容以及第二x轴差分检测电容；其中，所述第一x轴差分检测电容以及所述第二x轴差分检测电容的极板间距相同。8.根据权利要求7所述的加速度计，其特征在于：所述第一质量块还包括与所述第五侧壁相对设置的第七侧壁；所述第二质量块还包括与所述第六侧壁相对设置的第八侧壁；所述差分检测组件还包括设置于所述基底的第二x轴电容检测电极，所述第二x轴电容检测电极正对所述第七侧壁与所述第八侧壁，以形成第三x轴差分检测电容以及第四x轴差分检测电容；其中，所述第三x轴差分检测电容以及所述第四x轴差分检测电容的极板间距相同，所述第三x轴差分检测电容与所述第一x轴差分检测电容的正对面积相等、极板间距相同，所述第四x轴差分检测电容与所述第二x轴差分检测电容的正对面积相等、极板间距相同，以形成双差分x轴检测电容。9.根据权利要求1-8任意一项中所述的加速度计，其特征在于：所述第一锚点至少有两个，且相对设置于所述基底上；所述第一弹性件至少有两个，各所述第一弹性件一端与所述第一质量块连接，且另一端与对应的所述第一锚点连接；所述第二锚点至少有两个，且相对设置于所述基底上；所述第二弹性件至少有两个，各所述第二弹性件一端与所述第二质量块连接，且另一端与对应的所述第二锚点连接。10.根据权利要求1中所述的加速度计，其特征在于：还包括设置于所述跷跷板结构的背离所述基底一侧的上盖。11.根据权利要求1中所述的加速度计，其特征在于：所述第一跷跷板结构以及所述第二跷跷板结构之间呈嵌套分布。

技术总结
本发明提供了一种加速度计，包括基底、设置于基底的锚点以及与锚点弹性连接的跷跷板结构，加速度计还包括用于检测跷跷板结构加速度的差分检测组件，跷跷板结构包括相互平行且反向放置的第一跷跷板结构以及第二跷跷板结构，锚点包括与第一跷跷板结构弹性连接的第一锚点以及与第二跷跷板结构弹性连接的第二锚点；第一跷跷板结构包括与第一锚点连接的第一弹性件以及与第一弹性件连接的第一质量块，第一质量块由正相载波驱动信号从第一锚点处驱动；第二跷跷板结构包括与对应的第二锚点连接的第二弹性件以及与第二弹性件连接的第二质量块，第二质量块由反相载波驱动信号从第二锚点处驱动。能有效抑制转动角加速度噪声的影响。响。响。


技术研发人员：严世涛 杨珊 占瞻 马昭 阚枭 彭宏韬 李杨 黎家健 陈秋玉
受保护的技术使用者：瑞声开泰科技(武汉)有限公司
技术研发日：2022.08.31
技术公布日：2022/12/5