图像感测装置的制作方法

技术特征：
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：基板，所述基板包括多个光电转换元件，所述多个光电转换元件各自生成与入射光相对应的光电荷；多个滤光器，所述多个滤光器被设置在所述基板上并且选择性地将所述入射光透射到所述多个光电转换元件；以及光学栅格结构，所述光学栅格结构被设置在彼此相邻的滤光器之间并且减少相邻光电转换元件之间的光学串扰，其中，所述光学栅格结构包括：覆盖层，所述覆盖层沿着所述光学栅格结构的边界设置并且被构造为限定具有开口区域的空间，以将所述空间暴露于所述光学栅格结构的外部，使得所述空间填充有空气作为空气层，其中，所述空气层的顶侧的第一宽度小于所述空气层的底侧的第二宽度。2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层包括：第一层，所述第一层沿着所述空气层的侧面设置并且相对于与所述空气层的顶表面或底表面垂直的垂直线以预定倾斜角倾斜；以及第二层，所述第二层被设置为邻接所述第一层并且沿着所述垂直线延伸。3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述光学栅格结构还包括设置在所述空气层下方的金属层。4.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述空气层具有与梯形相对应的形状。5.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层被设置为邻接所述空气层，并且所述第二层被设置为邻接所述金属层。6.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层和所述第二层被设置为在所述空气层和所述金属层彼此邻接的高度处邻接。7.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述空气层包括具有梯形形状的上部和具有矩形形状的下部。8.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层被设置为邻接所述空气层，并且所述第二层被设置为邻接所述空气层和所述金属层。9.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述第一层和所述第二层被设置为在比所述空气层和所述金属层彼此邻接的位置更高的高度处邻接。10.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述金属层的宽度大于所述第二宽度。11.根据权利要求3所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层具有邻接所述空气层的内表面和邻接所述滤光器的外表面。12.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层的折射率大于所述空气层的折射率并且小于所述滤光器的折射率。13.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述光学栅格结构的所述覆盖层延伸到所述滤光器的底部。14.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括被设置在所述滤光器上的透镜，所述透镜不与所述开口区域交叠。15.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
滤光器，所述滤光器彼此相邻设置；以及光学栅格结构，所述光学栅格结构被设置在所述滤光器之间以减少相邻滤光器之间的光学串扰，其中，所述光学栅格结构包括：覆盖层，所述覆盖层具有包括以下各项的结构：1)壳体，所述壳体填充有空气以形成设置在所述滤光器之间的空气层；以及2)开口区域，所述开口区域在所述壳体中，以将所述壳体暴露于所述光学栅格结构的外部，其中，所述空气层的顶表面的第一宽度小于所述空气层的底表面的第二宽度。16.根据权利要求15所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层的折射率大于所述空气层的折射率并且小于所述滤光器的折射率。17.根据权利要求15所述的图像感测装置，其中，所述覆盖层延伸到所述滤光器的底部。18.根据权利要求15所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括：金属层，所述金属层被设置在所述空气层下方并且具有被所述覆盖层围绕的侧表面。19.根据权利要求18所述的图像感测装置，其中，所述金属层具有大于所述第一宽度的宽度。20.根据权利要求18所述的图像感测装置，其中，所述金属层的所述侧表面从与所述空气层的所述底表面垂直的垂直线倾斜。

技术总结
一种图像感测装置可以包括：基板，所述基板包括多个光电转换元件，所述多个光电转换元件各自被配置为生成与入射光相对应的光电荷；多个滤光器，所述多个滤光器被设置在所述基板上并且被配置为选择性地将所述入射光透射到所述多个光电转换元件；以及光学栅格结构，所述光学栅格结构被设置在彼此相邻的所述滤光器之间并且被配置为减少相邻光电转换元件之间的光学串扰。所述光学栅格结构包括：覆盖层，所述覆盖层沿着所述光学栅格结构的边界设置并且被构造为限定具有开口区域的空间，以将所述空间暴露于所述光学栅格结构的外部，使得所述空间填充有空气作为空气层。所述空气层的顶侧的第一宽度小于所述空气层的底侧的第二宽度。度。度。


技术研发人员：杨允熙
受保护的技术使用者：爱思开海力士有限公司
技术研发日：2022.04.19
技术公布日：2022/12/8