一种电镀设备的制作方法

技术特征：
1.一种电镀设备，其特征在于，包括：电镀槽体、喷管、泵浦、阳极板、阴极、位置感应器以及整流器，其中，邻近所述阴极设置有所述位置感应器，以用于获得所述阴极在电镀槽体中的位置，每个电镀槽体设置为共阳极不共阴极，所述整流器的输出波形为梯形波或脉冲矩形波，所述整流器通过控制所述阴极的电位变化来控制电镀波形输出，并且基于位置感应器感应的阴极位置来触发调整所述整流器的电流大小；并且其中，根据受镀图形及电镀线速来确定梯形波上升或下降斜率、或者脉冲矩形波的高低电位的宽度比。2.根据权利要求1所述的电镀设备，其特征在于，所述阳极板表面设置有绝缘网格板，以对所述阳极板进行局部遮蔽。3.根据权利要求2所述的电镀设备，其特征在于，根据电镀要求设置不同的阳极板的排列及连接方式，所述阳极板为钛板，阳极板间距与阳极板宽度比例为50％-20％。4.根据权利要求3所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀设备包括多个电镀槽体，在不同电镀槽体里的阴极是相互独立的，同一电镀槽体里的阳极板采用单槽六片阳极排列方式，阴极导电轨数量为四轨。5.根据权利要求3所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀设备包括多个电镀槽体，在不同电镀槽体里的阴极是相互独立的，同一电镀槽体里的阴极导电轨数量为三轨或者两轨。6.根据权利要求3所述的电镀设备，其特征在于，所述电镀设备包括多个电镀槽体，在不同电镀槽体里的阴极是相互独立的，同一电镀槽体里的阴极导电轨数量为单轨。7.根据权利要求4-6中任一项所述的电镀设备，其特征在于，所述阴极上的位置感应器包括以下几种排列方式：1，7，13，19，25，
……
；1，5，9，13，17，21，25，
……
；1，4，7，10，13，16，19，22，25，
……
。8.根据权利要求7所述的电镀设备，其特征在于，同一个电镀槽体里的阳极板全部互连或部分互联，并共用一台或两台整流器。9.根据权利要求1所述的电镀设备，其特征在于，所述阳极板的四个直角进行圆角或切角处理。

技术总结
本发明提供一种电镀设备，其包括：电镀槽体、喷管、泵浦、阳极板、阴极、位置感应器以及整流器，其中，邻近阴极设置有位置感应器，以用于获得阴极在电镀槽体中的位置，每个电镀槽体设置为共阳极不共阴极，整流器的输出波形为梯形波或脉冲矩形波，整流器通过控制阴极的电位变化来控制电镀波形输出，并且基于位置感应器感应的阴极位置来触发调整整流器的电流大小；并且其中，根据受镀图形及电镀线速确定梯形波上升或下降斜率、或者脉冲矩形波的高低电位的宽度比。本发明可以通过位置感应器触发调整整流器的电流大小，阴极移动速度，喷流频率等因子使得受镀图形上的电镀金属均匀分布，极大降低了边缘效应以及图形分布对电镀均匀性的影响。了边缘效应以及图形分布对电镀均匀性的影响。了边缘效应以及图形分布对电镀均匀性的影响。


技术研发人员：吴勇军
受保护的技术使用者：吴勇军
技术研发日：2022.08.30
技术公布日：2022/12/12