遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法与流程

技术特征：
1.一种遮光板，其是金属制的，其中，所述遮光板具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是所述表面的相反侧的面；以及孔，其将所述表面与所述背面之间贯通，所述孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与所述第1孔部分连接，所述第1孔部分从所述背面的背面开口向所述中央开口延伸，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩小的形状，所述第2孔部分从所述表面的表面开口向所述中央开口延伸，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩小的形状，所述表面开口的大小大于所述背面开口的大小，所述中央开口的真圆度小于或等于3μm。2.根据权利要求1所述的遮光板，其中，在景深深度为0.4μm的拍摄条件下，在使得焦点与所述中央开口的边缘对准的状态下沿所述中央开口的径向对所述中央开口的边缘进行拍摄时，焦点对准的所述遮光板的厚度方向上的所述遮光板的最大宽度小于或等于2.5μm。3.根据权利要求2所述的遮光板，其中，所述遮光板的所述最大宽度大于1.0μm。4.根据权利要求1至3中任一项所述的遮光板，其中，所述遮光板具有大于或等于10μm而小于或等于100μm的厚度。5.根据权利要求1至4中任一项所述的遮光板，其中，所述遮光板是铁-镍系合金制的、或者是铁-镍-钴系合金制的。6.根据权利要求5所述的遮光板，其中，所述遮光板是殷钢制的、或者是超级殷钢制的。7.一种照相机单元，其中，所述照相机单元具有：权利要求1至6中任一项所述的遮光板；以及透镜，所述遮光板在所述背面与所述透镜相对的状态下，相对于所述透镜位于光的入射侧。8.根据权利要求7所述的遮光板，其中，所述遮光板的所述中央开口的直径小于或等于所述透镜的有效直径。9.一种电子仪器，其中，所述电子仪器具有：权利要求7或8所述的照相机单元；以及壳体，其对所述照相机单元进行支撑。10.一种遮光板的制造方法，其中，所述遮光板的制造方法包含如下步骤：在金属箔的表面和背面配置抗蚀剂层；通过所述抗蚀剂层的曝光和显影而由所述抗蚀剂层形成抗蚀剂掩模；以及
通过利用所述抗蚀剂掩模的所述金属箔的蚀刻而形成将所述表面与所述背面之间贯通的孔，形成所述孔的步骤包含如下步骤：形成第1孔部分，该第1孔部分从位于所述背面的背面开口朝向所述表面延伸，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩小的形状；形成第2孔部分，该第2孔部分位于所述表面，从大于所述背面开口的大小的表面开口朝向所述背面延伸，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩小的形状；通过将第2孔部分与所述第1孔部分连接而在所述第1孔部分与所述第2孔部分的连接部形成具有小于或等于3μm的真圆度的圆形的中央开口；以及在所述第1孔部分以及所述第2孔部分中的、先形成的孔部分内填充有保护该孔部分的保护部的状态下，形成与所述先形成的孔部分不同的孔部分。

技术总结
具有：表面，其位于光的入射侧；背面，其是表面的相反侧的面；以及孔，其将表面与背面之间贯通。孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与第1孔部分连接。第1孔部分从背面的背面开口向中央开口延伸，具有从背面朝向表面而前端缩小的形状。第2孔部分从表面的表面开口向中央开口延伸，具有从表面朝向背面而前端缩小的形状。表面开口的大小大于背面开口的大小。中央开口的真圆度小于或等于3μm。中央开口的真圆度小于或等于3μm。中央开口的真圆度小于或等于3μm。


技术研发人员：西辻清明 岛村槙一 相泽弘康
受保护的技术使用者：凸版印刷株式会社
技术研发日：2021.01.20
技术公布日：2022/8/19