电流传感器的制作方法

技术特征：
1.一种电流传感器，其特征在于，所述电流传感器包括：衬底；绝缘层，悬设在所述衬底上；v形梁，所述v形梁的尖端与所述绝缘层的第一端连接，所述v形梁的两端固定设置在所述衬底上；弯折结构梁，所述弯折结构梁的第一端与所述绝缘层的第二端连接，所述弯折结构梁的第二端固定设置在所述衬底上；lc谐振单元，设置在所述衬底上，所述lc谐振单元与所述弯折结构梁相连；其中，在所述v形梁被施加电流时，该v形梁推动所述绝缘层产生沿第一方向的位移，以推动所述弯折结构梁产生沿第二方向的位移，以改变所述lc谐振单元的谐振频率。2.根据权利要求1所述的电流传感器，其特征在于，所述弯折结构梁包括第一子弯折结构梁和第二子弯折结构梁；所述第一子弯折结构梁与所述第二子弯折结构梁相对间隔设置，并且两者的弯折方向相反。3.根据权利要求2所述的电流传感器，其特征在于，所述lc谐振单元包括固定电感、第一电容和第二电容；所述第一电容的第一端与所述第一子弯折结构梁相连，所述第一电容的第二端与所述固定电感的第一端相连；所述第二电容的第一端与所述第二子弯折结构梁相连，所述第二电容的第二端与所述固定电感的第二端相连。4.根据权利要求3所述的电流传感器，其特征在于，所述第一电容包括第一移动电极板和第一固定电极板，所述第一移动电极板与所述第一子弯折结构梁相连，所述第一固定电极板与所述固定电感的第一端相连；和/或，所述第二电容包括第二移动电极板和第二固定电极板，所述第二移动电极板与所述第二子弯折结构梁相连，所述第二固定电极板与所述固定电感的第二端相连。5.根据权利要求4所述的电流传感器，其特征在于，所述第一子弯折结构梁包括第一平直部，以及沿所述第一平直部的两端向背离所述第一电容的方向弯折延伸形成的第一弯折部；所述第二子弯折结构梁包括第二平直部，以及沿所述第二平直部的两端向背离所述第二电容的方向弯折延伸形成的第二弯折部。6.根据权利要求5所述的电流传感器，其特征在于，所述第一移动电极板与所述第一平直部相连；和/或，所述第二移动电极板与所述第二平直部相连。7.根据权利要求3至6任一项所述的电流传感器，其特征在于，所述第一电容和/或所述第二电容采用叉指梳状电容。8.根据权利要求3至6任一项所述的电流传感器，其特征在于，lc谐振单元还包括第一传输线和第二传输线；所述第一传输线的第一端与所述固定电感相连接，所述第一传输线的第二端与所述第一电容相连接；
所述第二传输线的第一端与所述固定电感的第二端相连接，所述传输线的第二端与所述第二电容相连接。9.根据权利要求3至6任一项所述的电流传感器，其特征在于，所述电流传感器还包括第一锚区和第二锚区；所述v形梁的两端分别通过所述第一锚区和所述第二锚区与所述衬底固定连接。10.根据权利要求3至6任一项所述的电流传感器，其特征在于，所述电流传感器还包括第三锚区，所述弯折结构梁的第二端通过所述第三锚区与所述衬底固定连接。

技术总结
本发明提供一种电流传感器，包括：衬底、绝缘层、V形梁、弯折结构梁和LC谐振单元。绝缘层悬设在衬底上；V形梁的尖端与绝缘层的第一端连接，V形梁的两端固定设置在衬底上；弯折结构梁的第一端与绝缘层的第二端连接，弯折结构梁的第二端固定设置在衬底上；LC谐振单元设置在衬底上，LC谐振单元与弯折结构梁相连；其中，在V形梁被施加电流时，该V形梁推动绝缘层产生沿第一方向的位移，以推动弯折结构梁产生沿第二方向的位移，以改变LC谐振单元的谐振频率。该电流传感器具有结构简单、灵敏度高、设计灵活等优势。等优势。等优势。


技术研发人员：李维平 兰之康 丰永 秦磊
受保护的技术使用者：南京高华科技股份有限公司
技术研发日：2022.04.14
技术公布日：2022/7/29