研磨用浆料的制作方法

技术特征：
1.一种研磨用浆料，其中，用于对铜或铜合金进行研磨，含有：磨粒、有机酸、氧化剂、及碱，还含有聚羧酸及烷基苯磺酸，所述聚羧酸的浓度以聚羧酸钠的浓度换算计为0.1～0.5质量％，所述烷基苯磺酸的浓度以烷基苯磺酸三乙醇胺的浓度换算计为0.3质量％以上。2.根据权利要求1所述的研磨用浆料，其中，所述研磨用浆料含有甘氨酸作为所述有机酸。3.根据权利要求1或2所述的研磨用浆料，其中，所述研磨用浆料含有过氧化氢作为所述氧化剂。4.根据权利要求1至3中任一项所述的研磨用浆料，其中，所述研磨用浆料含有氨作为所述碱。5.根据权利要求1至4中任一项所述的研磨用浆料，其中，所述磨粒的浓度为1.0质量％以下。6.根据权利要求1至5中任一项所述的研磨用浆料，其中，所述研磨用浆料的ph值为9.0以上。

技术总结
本发明的研磨用浆料用于对铜或铜合金进行研磨，其含有磨粒、有机酸、氧化剂及碱，且还含有聚羧酸及烷基苯磺酸，所述聚羧酸的浓度以聚羧酸钠的浓度换算计为0.1～0.5质量％，所述烷基苯磺酸的浓度以烷基苯磺酸三乙醇胺的浓度换算计为0.3质量％以上。度换算计为0.3质量％以上。


技术研发人员：森山和樹
受保护的技术使用者：霓达杜邦股份有限公司
技术研发日：2019.12.26
技术公布日：2022/7/28