一种振动传感器的制作方法

技术特征：
1.一种振动传感器，包括：振动接收器和声学换能器，所述振动接收器包括壳体、限位件和振动单元，所述壳体与所述声学换能器形成声学腔体，所述振动单元位于所述声学腔体中，将所述声学腔体分隔为第一声学腔体和第二声学腔体，其中：所述声学换能器与所述第一声学腔体声学连通，所述壳体被配置为基于外部振动信号产生振动，所述振动单元响应于所述壳体的振动而改变所述第一声学腔体内的声压，使得所述声学换能器产生电信号，所述振动单元包括质量元件和弹性元件，所述弹性元件的第一侧环绕连接于所述质量元件的侧壁，所述弹性元件的第二侧连接于所述限位件。2.根据权利要求1所述的振动传感器，其中，所述限位件位于所述壳体与所述声学换能器之间，所述壳体、所述限位件和所述声学换能器形成所述声学腔体。3.根据权利要求2所述的振动传感器，其中，所述声学换能器包括基板，所述限位件与所述基板连接，所述限位件、所述振动单元和所述基板形成所述第一声学腔体。4.根据权利要求3所述的振动传感器，其中，所述弹性元件连接于所述限位件与所述质量元件之间，所述弹性元件与所述基板在所述振动单元的振动方向上间隔一定间距。5.根据权利要求2所述的振动传感器，其中，所述限位件沿所述振动单元的振动方向的厚度大于所述质量元件沿所述振动单元的振动方向的厚度，所述限位件上背离所述声学换能器的一侧与所述质量元件上背离所述声学换能器的一侧齐平。6.根据权利要求2所述的振动传感器，其中，所述限位件沿垂直于所述振动单元的振动方向的宽度为100um～500um。7.根据权利要求2所述的振动传感器，其中，所述限位件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件与所述第二限位件沿所述振动单元的振动方向依次设置，所述第一限位件与所述壳体连接，所述第二限位件与所述声学换能器连接。8.根据权利要求7所述的振动传感器，其中，所述第一限位件沿所述振动单元的振动方向的厚度等于所述质量元件沿所述振动单元的振动方向的厚度；所述第一限位件沿垂直于所述振动单元的振动方向的宽度小于所述第二限位件沿垂直于所述振动单元的振动方向的宽度。9.根据权利要求8所述的振动传感器，其中，所述第一限位件沿垂直于所述振动单元的振动方向的宽度与所述第二限位件沿垂直于所述振动单元的振动方向的宽度的比值大于0.5。10.根据权利要求7所述的振动传感器，其中，所述振动单元包括第二弹性元件，所述第二弹性元件位于所述第一声学腔内，所述第二弹性元件分别与所述第二限位件和所述声学换能器连接；所述第二弹性元件靠近所述声学换能器一侧的面积大于所述第二弹性元件远离所述声学换能器一侧的面积。11.根据权利要求3所述的振动传感器，其中，所述弹性元件向所述基板延伸并与所述基板连接，所述弹性元件、所述质量元件和所述基板形成所述第一声学腔体。12.根据权利要求11所述的振动传感器，其中，所述限位件沿所述振动单元的振动方向的厚度等于所述质量元件沿所述振动单元的振动方向的厚度，所述弹性元件的所述第一侧的面积大于所述弹性元件的所述第二侧的面积。
13.根据权利要求11所述的振动传感器，其中，所述限位件沿所述振动单元的振动方向的厚度等于所述质量元件沿所述振动单元的振动方向的厚度，所述质量元件上背离所述基板一侧相比于所述限位件上背离所述基板的一侧距离所述基板的距离更远。14.根据权利要求1所述的振动传感器，其中，所述限位件位于所述弹性元件与所述壳体之间；所述弹性元件向所述声学换能器延伸并与所述声学换能器连接，所述弹性元件、所述质量元件和所述声学换能器形成所述第一声学腔体。15.根据权利要求14所述的振动传感器，其中，所述限位件沿所述振动单元的振动方向的厚度为100um～1000um。16.一种振动传感器，包括：振动接收器和声学换能器，所述振动接收器包括壳体和振动单元，所述壳体与所述声学换能器形成声学腔体，所述振动单元位于所述声学腔体中，并将所述声学腔体分隔为第一声学腔体和第二声学腔体，其中：所述声学换能器与所述第一声学腔体声学连通，所述壳体被配置为基于外部振动信号产生振动，所述振动单元响应于所述壳体的振动而改变所述第一声学腔体内的声压，使得所述声学换能器产生电信号，所述振动单元包括质量元件和弹性元件，所述弹性元件环绕连接于所述质量元件的侧壁，并延伸到所述壳体。

技术总结
本申请提供一种振动传感器，振动传感器包括振动接收器和声学换能器，振动接收器包括壳体、限位件和振动单元，壳体与声学换能器形成声学腔体，振动单元位于声学腔体中，将声学腔体分隔为第一声学腔体和第二声学腔体，其中：声学换能器与第一声学腔体声学连通，壳体被配置为基于外部振动信号产生振动，振动单元响应于壳体的振动而改变第一声学腔体内的声压，使得声学换能器产生电信号，振动单元包括质量元件和弹性元件，弹性元件的第一侧环绕连接于质量元件的侧壁，弹性元件的第二侧连接于限位件。本申请通过在振动接收器中设置限位件，可以控制弹性元件的尺寸，为质量元件的尺寸的增加提供了余量，从而提高振动传感器的灵敏度。从而提高振动传感器的灵敏度。从而提高振动传感器的灵敏度。


技术研发人员：邓文俊 袁永帅 黄雨佳 周文兵 廖风云 齐心
受保护的技术使用者：深圳市韶音科技有限公司
技术研发日：2021.12.21
技术公布日：2022/7/1