线性化调制器的制作方法

技术特征：
1.一种电光调制器，其包括：输入波导，所述输入波导被配置为将光引导到所述电光调制器的调制区域中；在所述调制区域内的多个子调制器，每个子调制器在所施加的电压与光学相移之间具有传递函数；以及输出波导，所述输出波导被配置为将光引导出所述调制区域；其中每个子调制器的所述传递函数的组合使得在所施加的电压与所述调制区域的光学相移之间的总传递函数在工作电压范围内基本上是线性的。2.如权利要求1所述的电光调制器，其中所述子调制器是基于载流子耗尽的调制器。3.如权利要求2所述的电光调制器，其中每个子调制器的所述传递函数通过改变以下各项中的一者或多者来确定：光学长度；耗尽宽度；以及掺杂水平。4.如权利要求1所述的电光调制器，其中所述子调制器是基于金属氧化物半导体电容器的调制器。5.如权利要求4所述的电光调制器，其中每个子调制器的所述传递函数通过改变以下各项中的一者或多者来确定：光学长度；氧化物厚度；以及掺杂水平。6.如任一前述权利要求所述的电光调制器，其中所述子调制器共享公共电极。7.如任一前述权利要求所述的电光调制器，其中所述子调制器由公共驱动器驱动。8.如任一前述权利要求所述的电光调制器，其中所述调制区域设置在马赫-曾德尔调制器的第一臂内。9.如权利要求8所述的电光调制器，其中第二调制区域设置在所述马赫-曾德尔调制器的第二臂内，所述第二调制区域包括第二多个子调制器，所述第二多个子调制器中的每个子调制器在所施加的电压与光学相移之间具有传递函数，所述传递函数不同于所述第二多个子调制器中的其他子调制器。10.如权利要求9所述的电光调制器，其中所述第二调制区域的所述子调制器与所述第一调制区域的所述子调制器基本相同。11.如权利要求8至10中任一项所述的电光调制器，其中所述输入波导耦合到分路器，所述分路器在所述马赫-曾德尔调制器的每个臂之间划分输入光。12.如权利要求8至11中任一项所述的电光调制器，其中所述输出波导耦合到组合器，所述组合器组合从所述马赫-曾德尔调制器的每个臂接收的光。13.如权利要求1至7中任一项所述的电光调制器，其中所述调制区域位于环形调制器内。14.如权利要求13所述的电光调制器，其中所述输入波导和所述输出波导是总线波导的区域，并且所述总线波导包括耦合到所述环形调制器的区域。15.如任一前述权利要求所述的电光调制器，其中所述子调制器基于硅。16.如权利要求1至14中任一项所述的电光调制器，其中所述子调制器基于iii-v半导体。17.如任一前述权利要求所述的电光调制器，其还包括多个调制区域，每个调制区域包括相应的多个子调制器，每个相应的多个子调制器的所述传递函数的所述组合使得每个调制区域在所施加的电压与相应的所述调制区域的光学相移之间的所述总传递函数在所述工作电压范围内基本上是线性的。
18.如权利要求17所述的电光调制器，其中每个调制区域的所述子调制器由公共驱动器驱动。19.如权利要求17或权利要求18所述的电光调制器，其中所述调制区域共享公共接地电极。20.如权利要求17至19中任一项所述的电光调制器，其中所述多个调制区域位于马赫-曾德尔调制器的一个臂内。21.如权利要求17至20中任一项所述的电光调制器，其还包括在所述马赫-曾德尔调制器的第二臂中的第二多个调制区域，所述第二臂中的每个调制区域包括相应的多个子调制器，每个相应的多个子调制器的传递函数的所述组合使得所述第二臂的每个调制区域在所施加的电压与相应的所述调制区域的光学相移之间的所述总传递函数在所述工作电压范围内基本上是线性的。22.一种使用任一前述权利要求所述的电光调制器来调制光信号的方法，所述方法包括：向输入波导提供输入信号；使用调制区域调制输入信号，以形成经调制的输出信号；以及从输出波导输出所述经调制的输出信号。

技术总结
一种电光调制器。所述电光调制器包括：输入波导，所述输入波导被配置为将光引导到所述电光调制器的调制区域中；在所述调制区域内的多个子调制器，每个子调制器在所施加的电压与光学相移之间具有传递函数；以及输出波导，所述输出波导被配置为将光引导出所述调制区域。每个子调制器的传递函数的组合使得在所施加的电压与调制区域的光学相移之间的总传递函数在工作电压范围内基本上是线性的。数在工作电压范围内基本上是线性的。数在工作电压范围内基本上是线性的。


技术研发人员：A
受保护的技术使用者：洛克利光子有限公司
技术研发日：2020.08.25
技术公布日：2022/6/21