悬挂式芯片原子钟物理系统的制作方法

技术特征：
1.一种悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，包括lcc底座、支撑架、激光器底座、vcsel激光器、热敏电阻、垫高片、u型框、衰减片、1/4波片、第一加热片、气室支架、原子气室、第二加热片、探测器、吸气剂和陶瓷管帽，所述支撑架安装在所述lcc底座中，所述u型框、所述气室支架、所述第二加热片和所述探测器自下而上依次设置在所述支撑架上，所述u型框中靠近所述第二加热片的方向上依次设置有所述激光器底座、所述垫高片、所述衰减片、所述1/4波片和所述第一加热片，所述vcsel激光器和所述热敏电阻安装在所述激光器底座上，所述探测器正对所述vcsel激光器的发射端，所述原子气室安装在所述气室支架中，所述吸气剂设置在所述u型框和所述气室支架外围，所述陶瓷管帽安装在所述吸气剂外围与所述lcc底座密封焊接。2.根据权利要求1所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述支撑架包括硅框和聚酰亚胺膜，所述聚酰亚胺膜镂空设置在所述硅框中间，所述u型框、所述气室支架、所述第二加热片和所述探测器自下而上依次设置在所述聚酰亚胺膜上。3.根据权利要求2所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述聚酰亚胺膜为光敏型聚酰亚胺。4.根据权利要求2所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述聚酰亚胺膜厚度为10μm。5.根据权利要求2所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述硅框为六边形晶硅材质。6.根据权利要求1所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述激光器底座、所述第一加热片和所述第二加热片为玻璃或石英材质。7.根据权利要求1所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述激光器底座、所述第一加热片和所述第二加热片上蒸镀有金属电极。8.根据权利要求1所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述u型框和所述气室支架为硅材质。9.根据权利要求1所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述吸气剂为多金属材质。10.根据权利要求1所述的悬挂式芯片原子钟物理系统，其特征在于，所述原子气室为方形或球形气室。

技术总结
本申请公开了一种悬挂式芯片原子钟物理系统，支撑架安装在LCC底座中，U型框、气室支架、第二加热片和探测器自下而上依次设置在支撑架上，U型框中靠近第二加热片的方向上依次设置有激光器底座、垫高片、衰减片、1/4波片和第一加热片，VCSEL激光器和热敏电阻安装在激光器底座上，原子气室安装在气室支架中，吸气剂设置在U型框和气室支架外围，陶瓷管帽安装在吸气剂外围与LCC底座密封焊接。本发明提供的悬挂式芯片原子钟物理系统强度高、功耗较低、结构简单、生产成本低，为芯片原子钟的公众应用提供了坚实基础。应用提供了坚实基础。应用提供了坚实基础。


技术研发人员：孟红玲 苏其明
受保护的技术使用者：中科启迪光电子科技（广州）有限公司
技术研发日：2022.02.22
技术公布日：2022/6/4