用于产生气体放电的设备的制作方法

技术特征：
1.一种用于产生气体放电的设备，所述设备具有：低压组件(1)，所述低压组件具有输出接触部(8a，8b)，其中所述低压组件(1)设计用于在所述输出接触部(8a，8b)处提供低电压，高压组件(2)，所述高压组件具有输入接触部(10a，10b)和变压器(7)，其中所述低压组件(1)和所述高压组件(2)通过插接连接装置(9)彼此连接，其中所述插接连接装置(9)在所述低压组件(1)的输出接触部(8a，8b)与所述高压组件(2)的输入接触部(10a，10b)之间形成电接触，其中经由所述输入接触部(10a，10b)，将在所述输出接触部(8a，8b)处提供的所述低电压施加到所述变压器(7)上，其中所述变压器(7)设计用于将所述低电压转换成高电压。2.根据上一项权利要求所述的设备，其中所述低压组件(1)具有壳体(3)，并且所述高压组件(2)具有筒(11)，在所述筒中设置有所述变压器(7)，并且所述变压器具有所述输入接触部(10a，10b)，其中所述壳体(3)和所述筒(11)通过所述插接连接装置(9)彼此锁定，或者其中所述壳体(3)和所述筒(11)通过所述插接连接装置(9)彼此夹住。3.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中所述高压组件(2)具有放电结构(12)，所述放电结构设计用于，影响由在所述变压器(7)处产生的高电压产生的电场。4.根据权利要求2和3所述的设备，其中所述放电结构(12)具有所述筒(11)的外侧的金属化部(14)。5.根据上一项权利要求所述的设备，其中所述放电结构(12)具有突出的元件(15)，所述突出的元件设置在所述筒(11)的外侧处，并且所述突出的元件由导电材料构成。6.根据上一项权利要求所述的设备，其中所述突出的元件(15)是针形的、刀形的或在所述突出的元件的尖端处倒圆，或者其中所述突出的元件(15)在背离所述变压器(7)指向的端部处具有金属线(16)，所述金属线垂直于所述筒(11)的纵向方向延伸，或者其中所述突出的元件(15)具有刷毛(17)，其中所述刷毛(17)中的至少一些刷毛由能导电的材料构成和/或所述刷毛(17)中的至少一些刷毛由绝缘材料构成。7.根据权利要求3至6中任一项所述的设备，其中所述放电结构(12)涂覆有绝缘材料(19)，所述绝缘材料形成介电阻挡部。8.根据权利要求2至7中任一项所述的设备，其中所述变压器(7)封装在所述筒(11)中。9.根据权利要求2至7中任一项所述的设备，其中所述筒(11)具有开口。10.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中所述高压组件(2)能够与所述低压组件(1)分离。
11.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中所述低压组件(1)具有用于操控所述变压器(7)的驱动模块(6)。12.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中所述变压器(7)是压电变压器(7)。13.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中所述高压组件(2)具有气体输送装置(18)，经由所述气体输送装置，能够输送工艺气体。14.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中所述设备涉及等离子体发生器、电离器、臭氧发生器和/或气体放电结构。15.一种具有根据上述权利要求中任一项所述的设备和另外的高压组件(2)的系统，其中所述设备的低压组件(1)设计用于，与所述设备的高压组件(2)中的一个高压组件和所述另外的高压组件(2)以可更换的方式连接。

技术总结
本发明涉及一种用于产生气体放电的设备，所述设备具有：低压组件(1)，所述低压组件具有输出接触部(8a，8b)，其中低压组件(1)设计用于在输出接触部(8a，8b)处提供低电压；高压组件(2)，所述高压组件具有输入接触部(10a，10b)和变压器(7)，其中低压组件(1)和高压组件(2)通过插接连接装置(9)彼此连接，其中插接连接装置(9)在低压组件(1)的输出接触部(8a，8b)与高压组件(2)的输入接触部(10a，10b)之间形成电接触，其中经由输入接触部(10a，10b)，将在输出接触部(8a，8b)处提供的低电压施加到变压器(7)上，其中变压器(7)设计用于将低电压转换成高电压。高电压。高电压。


技术研发人员：斯特凡
受保护的技术使用者：TDK电子股份有限公司
技术研发日：2020.08.13
技术公布日：2022/4/22