机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质与流程

技术特征：
1.一种机台的故障确定方法，其特征在于，包括：获取权重向量、各个第一晶圆对应的第一晶圆向量以及第一图案真实值，其中，每台机台在所述第一晶圆向量中具有对应的第一数值，所述第一数值用于表示所述第一晶圆是否经过所述机台，所述第一图案真实值是根据各个所述机台对经过的第一晶圆叠加图案确定的；在各台所述机台中确定目标机台，所述目标机台的数量是小于或等于所述机台的总数量；获取每台所述目标机台对所述第一晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值；在所述优化值满足设定条件时，根据每台所述目标机台对应的期望值以及所述权重向量确定每台所述目标机台对应的贡献值；在各个所述贡献值中确定各个目标贡献值，并将每个所述目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台，所述目标贡献值是大于或等于第一阈值的贡献值。2.根据权利要求1所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述权重向量包括第一权重向量，所述目标机台的数量是小于所述机台的总数量，所述在各台所述机台中确定目标机台的步骤包括：确定所述第一晶圆向量以及所述第一权重向量之间的哈达玛积得到第一分量；采用预设函数，在所述第一分量中的每行数值中确定最大数值；将每个所述最大数值对应的机台确定为所述目标机台。3.根据权利要求2所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述权重向量还包括第二权重向量以及第三权重向量，所述根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值的步骤包括：根据所述目标机台对应的最大数值、所述第一分量、以及所述第二权重向量确定所述目标机台对应的第二分量；根据每台所述目标机台对应的第二分量以及期望值确定均值估计值；根据所述每台所述目标机台对应的第二分量、方差值以及所述第三权重向量确定方差估计值；根据所述方差估计值、所述均值估计值以及各个所述第一图案真实值确定所述优化值。4.根据权利要求3所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述根据所述目标机台对应的期望值以及所述权重向量确定所述目标机台对应的贡献值的步骤包括：确定所述目标机台对应的期望值与所述第一权重向量、所述第二权重向量之间的哈达玛积，以作为所述目标机台对应的贡献值。5.根据权利要求1所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值的步骤之后，还包括：在所述优化值不满足设定条件时，获取各个第二晶圆对应的第二晶圆向量以及第二图案真实值，每台所述机台在所述第二晶圆向量中具有对应的第二数值，所述第二数值用于
表示所述第二晶圆是否经过所述机台；更新权重向量、每台所述机台对应的期望值以及方差值，并将所述第二晶圆向量更新为第一晶圆向量，且将所述第二图案真实值更新为第一图案真实值；返回执行所述在各台所述机台中确定目标机台的步骤。6.根据权利要求1所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述将每个所述目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台的步骤包括：获取每台待确定机台关联的各个历史贡献值，其中，所述待确定机台是所述目标贡献值对应的目标机台；根据每台所述待确定机台关联的各个历史贡献值，确定每台所述待确定机台是否满足故障条件时；将满足所述故障条件的所述待确定机台确定为故障机台。7.根据权利要求1-6任一项所述的机台的故障确定方法，其特征在于，在所述优化值大于第二阈值、或者所述优化值大于第二阈值且所述优化值的迭代次数小于预设次数时，所述优化值满足设定条件。8.根据权利要求1-6任一项所述的机台的故障确定方法，其特征在于，所述获取各个第一晶圆对应的第一晶圆向量的步骤包括：根据每台所述机台的记录信息，确定每个所述第一晶圆在第一时间段内是否经过所述机台，得到每台所述机台对应的确定结果；根据每台所述机台对应的确定结果确定每台所述机台对应的第一数值；根据各个所述第一数值确定所述第一晶圆向量。9.一种机台的故障确定装置，其特征在于，包括：获取模块，用于获取权重向量、各个第一晶圆对应的第一晶圆向量以及第一图案真实值，其中，每台机台在所述第一晶圆向量中具有对应的第一数值，所述第一数值用于表示所述第一晶圆是否经过所述机台，所述第一图案真实值是根据各个所述机台对经过的第一晶圆叠加图案确定的；确定模块，用于在各台所述机台中确定目标机台，所述目标机台的数量是小于或等于所述机台的总数量；所述获取模块，还用于获取每台所述目标机台对所述第一晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个所述第一图案真实值、所述第一晶圆向量、所述权重向量、每台所述目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值；所述确定模块，还用于在所述优化值满足设定条件时，根据每台所述目标机台对应的期望值以及所述权重向量确定每台所述目标机台对应的贡献值；所述确定模块，还用于在各个所述贡献值中确定各个目标贡献值，并将每个所述目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台，所述目标贡献值是大于或等于第一阈值的贡献值。10.一种机台的故障确定设备，其特征在于，包括：存储器以及处理器；所述存储器存储计算机执行指令；所述处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，使得所述处理器执行如权利要求1至8任一项所述的机台的故障确定方法。
11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，所述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如权利要求1至8任一项所述的机台的故障确定方法。

技术总结
本发明提供一种机台的故障确定方法、装置、设备和计算机可读存储介质，该方法包括：获取权重向量、各个晶圆对应的晶圆向量以及图案真实值；在各台机台中确定目标机台；获取每台目标机台对晶圆叠加异常的图案所对应的期望值以及方差值，并根据各个图案真实值、晶圆向量、权重向量、每台目标机台对应的期望值以及方差值确定优化值；在优化值满足设定条件时，根据每台目标机台对应的期望值以及权重向量确定每台目标机台对应的贡献值；在各个贡献值中确定各个目标贡献值，并将每个目标贡献值对应的目标机台确定为故障机台。本发明中，通过装置对晶圆的图案进行缺陷分析以确定出现故障的机台，无需人工辨识晶圆的缺陷，提高了机台的故障确定精度。台的故障确定精度。台的故障确定精度。


技术研发人员：余学儒 李琛 孙红霞 田畔 张飞翔
受保护的技术使用者：上海集成电路研发中心有限公司
技术研发日：2021.12.24
技术公布日：2022/4/1