温度控制装置、温度控制方法和检查装置与流程

技术特征：
1.一种温度控制装置，其特征在于：所述温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制，并包括：加热机构，其具有对所述温度控制对象物进行加热的加热源；温度测量器，其测量所述温度控制对象物的附近温度；温度推算部，其利用对所述加热源供给的功率、对所述温度控制对象物供给的功率和所述附近温度，动态地推算所述温度控制对象物的温度；以及温度控制器，其基于所述温度控制对象物的推算温度，控制对所述加热源供给的功率来控制所述温度控制对象物的温度。2.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度推算部利用动态控制系统来推算所述温度控制对象物的温度，其中，所述动态控制系统将对所述加热源供给的功率和对所述温度控制对象物供给的功率作为操作量，并将所述附近温度作为输出值。3.如权利要求2所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度推算部利用由所述动态控制系统和观测器构成的观测控制系统来推算所述温度控制对象物的温度。4.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度推算部的所述温度测量器测量保持所述温度控制对象物的保持部的温度、或对所述温度控制对象物供给功率的供给部件的温度，作为所述附近温度。5.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度控制装置还包括冷却机构，所述冷却机构具有对所述温度控制对象物进行冷却的冷却源，所述温度控制器包括：滑模控制器，其将对所述加热源供给的功率作为操作量；冷却模式控制器，其将对所述冷却源供给的功率作为操作量；以及切换控制器，其根据作为所述滑模控制器的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制器的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是不使用所述滑模控制器的输出而将所述冷却模式控制器的输出用作第二操作量。6.如权利要求5所述的温度控制装置，其特征在于：所述冷却机构利用致冷剂对所述温度控制对象物进行冷却，所述冷却源是对致冷剂的流路进行开闭的高速阀，所述冷却模式控制器的输出是对所述高速阀的开闭信号。7.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度控制装置还包括冷却机构，所述冷却机构具有对所述温度控制对象物进行冷却的冷却源，所述温度控制器包括：滑模控制器，其将对所述加热源供给的功率作为操作量；冷却模式控制器，其将对所述冷却源供给的功率作为操作量；以及切换控制器，其根据作为所述滑模控制器的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制器的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是将所述滑模控制器的输出和所述冷却模式控制器的输出相加而得的值用作第二操作量。
8.如权利要求7所述的温度控制装置，其特征在于：所述冷却机构利用致冷剂对所述温度控制对象物进行冷却，所述冷却源是对致冷剂的流路进行开闭的高速阀，所述冷却模式控制器的输出是对所述高速阀的开闭信号。9.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述加热源是led，所述第一操作量是对led供给的电流值。10.如权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：所述温度控制对象物是形成于基片的电子器件。11.一种温度控制方法，其特征在于：所述温度控制方法进行温度控制对象物的温度控制，并包括：利用对加热所述温度控制对象物的加热源供给的功率、对所述温度控制对象物供给的功率和所述温度控制对象物的附近温度，来动态地推算所述温度控制对象物的温度的步骤；以及基于所述温度控制对象物的推算温度，控制对所述加热源供给的功率来控制所述温度控制对象物的温度。12.如权利要求11所述的温度控制方法，其特征在于：在所述动态地推算温度控制对象物的温度的步骤中，利用动态控制系统来推算所述温度控制对象物的温度，其中，所述动态控制系统将对所述加热源供给的功率和对所述温度控制对象物供给的功率作为操作量，并将所述附近温度作为输出值。13.如权利要求12所述的温度控制方法，其特征在于：在所述动态地推算温度控制对象物的温度的步骤中，利用由所述动态控制系统和观测器构成的观测控制系统来推算所述温度控制对象物的温度。14.如权利要求11所述的温度控制方法，其特征在于：所述对温度控制对象物的温度进行控制的步骤包括：将对所述加热源供给的功率作为操作量来进行滑模控制的步骤；将对冷却所述温度控制对象物的冷却源供给的功率作为操作量来进行冷却模式控制的步骤；以及根据作为所述滑模控制中的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是不使用所述滑模控制的输出而将所述冷却模式控制的输出用作第二操作量的步骤。15.如权利要求11所述的温度控制方法，其特征在于：所述对温度控制对象物的温度进行控制的步骤包括：将对加热所述温度控制对象物的加热源供给的功率作为操作量来进行滑模控制的步骤；并用所述滑模控制和冷却模式控制的步骤，其中，所述冷却模式控制将对冷却所述温度控制对象物的冷却源供给的功率作为操作量；以及根据作为所述滑模控制中的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是将所述滑模控制的输出和所述冷却模式控制的输出相加而得的值用作第二操作量的步骤。16.如权利要求11所述的温度控制方法，其特征在于：
所述温度控制对象物是形成于基片的电子器件。17.一种检查装置，其特征在于，包括：工作台，其载置形成有多个电子器件的基片；检查机构，其使探针与在所述工作台上的基片形成的所述电子器件电接触来检查该电子器件；和进行所述电子器件的温度控制的温度控制装置，所述温度控制装置包括：加热机构，其具有对所述电子器件进行加热的加热源；温度测量器，其测量所述电子器件的附近温度；温度推算部，其利用对所述加热源供给的功率、对所述电子器件供给的功率和所述附近温度，动态地推算所述电子器件的温度；以及温度控制器，其基于所述电子器件的推算温度，控制对所述加热源供给的功率来控制所述电子器件的温度。18.如权利要求17所述的检查装置，其特征在于：所述温度推算部利用动态控制系统来推算所述温度控制对象物的温度，其中，所述动态控制系统将对所述加热源供给的功率和对所述温度控制对象物供给的功率作为操作量，并将所述附近温度作为输出值。19.如权利要求18所述的检查装置，其特征在于：所述温度推算部利用由所述动态控制系统和观测器构成的观测控制系统来推算所述温度控制对象物的温度。20.如权利要求17所述的检查装置，其特征在于：所述温度控制装置还包括冷却机构，所述冷却机构具有对所述温度控制对象物进行冷却的冷却源，所述温度控制器包括：滑模控制器，其将对所述加热源供给的功率作为操作量；冷却模式控制器，其将对所述冷却源供给的功率作为操作量；以及切换控制器，其根据作为所述滑模控制器的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制器的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是不使用所述滑模控制器的输出而将所述冷却模式控制器的输出用作第二操作量。21.如权利要求17所述的检查装置，其特征在于：所述温度控制装置还包括冷却机构，所述冷却机构具有对所述温度控制对象物进行冷却的冷却源，所述温度控制器包括：滑模控制器，其将对所述加热源供给的功率作为操作量；冷却模式控制器，其将对所述冷却源供给的功率作为操作量；以及切换控制器，其根据作为所述滑模控制器的输出的线性项和非线性项中的所述非线性项的值，决定是将所述滑模控制器的输出直接作为第一操作量输出到所述加热源，还是将所述滑模控制器的输出和所述冷却模式控制器的输出相加而得的值用作第二操作量。

技术总结
本发明的温度控制装置进行温度控制对象物的温度控制，并包括：加热机构，其具有对温度控制对象物进行加热的加热源；温度测量器，其测量温度控制对象物的附近温度；温度推算部，其利用对加热源供给的功率、对温度控制对象物供给的功率和附近温度，动态地推算温度控制对象物的温度；以及温度控制器，其基于温度控制对象物的推算温度，控制对加热源供给的功率来控制温度控制对象物的温度。控制温度控制对象物的温度。控制温度控制对象物的温度。


技术研发人员：河西繁 小林将人
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2020.05.19
技术公布日：2022/2/24