图像传感器的制作方法

技术特征：
1.一种图像传感器，包括：像素阵列，包括基板、在平行于所述基板的上表面的方向上排列的多个像素、以及在所述多个像素中的相邻像素之间的像素隔离层，所述多个像素中的每个包括至少一个光电二极管和在所述至少一个光电二极管下方的像素电路；以及逻辑电路，配置为从所述多个像素获取像素信号，其中所述像素阵列包括至少一个自动聚焦像素，其中所述至少一个自动聚焦像素包括第一光电二极管、第二光电二极管、在所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之间的像素内部隔离层、以及在所述第一光电二极管和所述第二光电二极管上的微透镜，其中所述像素内部隔离层包括第一像素内部隔离层和第二像素内部隔离层，所述第一像素内部隔离层和所述第二像素内部隔离层在第一方向上彼此分隔，所述第一方向垂直于所述基板的所述上表面，以及所述第一像素内部隔离层的材料不同于所述第二像素内部隔离层的材料。2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中所述第一像素内部隔离层从所述像素电路延伸并包括多晶硅，以及所述第二像素内部隔离层包括绝缘材料。3.根据权利要求2所述的图像传感器，其中所述像素电路配置为在所述逻辑电路从所述多个像素获取所述像素信号的同时向所述第一像素内部隔离层施加负电压。4.根据权利要求2所述的图像传感器，其中，在平行于所述基板的所述上表面的一个方向上，所述第一像素内部隔离层的长度不同于所述第二像素内部隔离层的长度。5.根据权利要求4所述的图像传感器，其中，在所述一个方向上，所述第一像素内部隔离层与所述像素隔离层分隔。6.根据权利要求1所述的图像传感器，其中所述至少一个自动聚焦像素包括在所述第一像素内部隔离层和所述第二像素内部隔离层之间的杂质区，以及所述杂质区掺有p型杂质。7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中所述像素隔离层包括第一像素隔离层和第二像素隔离层，所述第一像素隔离层从所述像素电路延伸并包括第一材料，所述第二像素隔离层从所述第一像素隔离层延伸并包括第二材料，以及所述第二材料不同于所述第一材料。8.根据权利要求7所述的图像传感器，其中所述第一像素内部隔离层包括所述第一材料，以及所述第二像素内部隔离层包括所述第二材料。9.根据权利要求7所述的图像传感器，其中所述第二材料的反射率高于所述第一材料的反射率。10.一种图像传感器，包括：
基板，具有第一表面和与所述第一表面相反的第二表面；像素阵列，包括多个像素和在所述多个像素中的相邻像素之间的像素隔离层，所述像素隔离层在垂直于所述第一表面的第一方向上从所述基板的所述第一表面延伸到所述基板的所述第二表面，所述多个像素中的每个包括在所述基板内部的至少一个光电二极管和在所述第一表面上具有多个元件的像素电路；以及逻辑电路，配置为从所述多个像素获取像素信号，其中所述像素阵列包括至少一个自动聚焦像素，其中所述至少一个自动聚焦像素包括第一光电二极管、第二光电二极管、在所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之间在所述第一方向上从所述第一表面延伸的像素内部隔离层、以及在所述第二表面上的微透镜，其中所述像素内部隔离层包括从所述第一表面延伸的第一像素内部隔离层和从所述第二表面延伸的第二像素内部隔离层，以及其中所述第一像素内部隔离层和所述第二像素内部隔离层在平行于所述第一表面的平面中具有不同的形状。11.根据权利要求10所述的图像传感器，其中，在平行于所述第一表面的所述平面中，所述第一像素内部隔离层在第二方向上延伸，所述第二像素内部隔离层在不同于所述第二方向的第三方向上延伸。12.根据权利要求10所述的图像传感器，其中，在平行于所述第一表面的所述平面中，所述第一像素内部隔离层和所述第二像素内部隔离层在第二方向上延伸，以及其中，在所述第二方向上，所述第一像素内部隔离层的长度不同于所述第二像素内部隔离层的长度。13.根据权利要求12所述的图像传感器，其中，在所述第二方向上，所述第一像素内部隔离层的所述长度短于所述第二像素内部隔离层的所述长度。14.根据权利要求10所述的图像传感器，其中，在平行于所述第一表面的所述平面中，所述像素内部隔离层的宽度窄于所述像素隔离层的宽度。15.根据权利要求10所述的图像传感器，其中所述至少一个自动聚焦像素包括在所述第一方向上在所述第一像素内部隔离层和所述第二像素内部隔离层之间的杂质区，以及所述杂质区掺有p型杂质。16.根据权利要求10所述的图像传感器，其中所述像素隔离层包括第一像素隔离层和第二像素隔离层，所述第一像素隔离层从所述第一表面延伸，所述第二像素隔离层从所述第二表面在所述第一方向上延伸并连接到所述第一像素隔离层，以及在所述第一方向上，所述第二像素隔离层的长度短于所述第一像素隔离层的长度。17.根据权利要求16所述的图像传感器，其中所述第二像素内部隔离层的反射率高于所述第一像素内部隔离层的反射率。
18.一种图像传感器，包括：基板，具有第一表面和与所述第一表面相反的第二表面；像素阵列，包括多个像素和在所述多个像素中的相邻像素之间的像素隔离层，所述像素隔离层在垂直于所述第一表面的第一方向上从所述第一表面延伸，所述多个像素中的每个包括至少一个光电二极管和像素电路，所述像素电路在所述第一表面上具有多个元件；以及逻辑电路，配置为从所述多个像素获取像素信号，其中所述像素阵列包括至少一个自动聚焦像素，其中所述自动聚焦像素包括在平行于所述第一表面的第二方向上彼此分隔的第一光电二极管和第二光电二极管、在所述第一光电二极管和所述第二光电二极管之间在所述第一方向上从所述第一表面延伸的像素内部隔离层、以及在所述第二表面上的微透镜，其中所述像素内部隔离层具有在所述第一方向上延伸并在与所述第二方向交叉的第三方向上彼此相反的第一垂直表面和第二垂直表面，以及其中所述第一垂直表面和所述第二垂直表面中的至少一个与所述像素隔离层分隔。19.根据权利要求18所述的图像传感器，其中所述基板的部分区域在所述第一垂直表面与所述像素隔离层之间的空间和所述第二垂直表面与所述像素隔离层之间的空间中的至少一个中。20.根据权利要求18所述的图像传感器，其中所述像素内部隔离层包括第一分隔区和第二分隔区，以及所述第一分隔区和所述第二分隔区在所述第二方向上彼此分隔，以及浮动扩散节点在所述第一分隔区和所述第二分隔区之间。

技术总结
本发明公开了一种图像传感器，该图像传感器包括像素阵列和逻辑电路。像素阵列包括在多个像素中的相邻像素之间的像素隔离层。所述多个像素中的每个包括在至少一个光电二极管下方的像素电路。逻辑电路从所述多个像素获取像素信号。像素阵列包括至少一个自动聚焦像素，其包括第一光电二极管、第二光电二极管、在第一光电二极管和第二光电二极管之间的像素内部隔离层、以及在第一光电二极管和第二光电二极管上的微透镜。像素内部隔离层包括在垂直于基板的上表面的第一方向上彼此分隔的第一像素内部隔离层和第二像素内部隔离层，第一像素内部隔离层和第二像素内部隔离层包括不同的材料。材料。材料。


技术研发人员：藤田雅人 薛斗植 李卿德 李景镐 郑泰燮
受保护的技术使用者：三星电子株式会社
技术研发日：2021.08.10
技术公布日：2022/2/23