力传感装置及拼接装置的制作方法

技术特征：
1.一种力传感装置，其特征在于，包括：一第一基板，具有一传感区域及一边缘区域；一传感阵列，形成于该第一基板的该传感区域之上；及多个第一电极，形成于该第一基板的该传感区域及该边缘区域之上，耦接于该传感阵列；其中该第一基板的该边缘区域及该边缘区域上的所述多个第一电极被折叠至该传感阵列的一背面。2.根据权利要求1所述的力传感装置，其特征在于：该第一基板具有多个开口；及所述多个第一电极穿过该第一基板的所述多个开口之间的多个间隙耦接于该传感阵列；该力传感装置另包括：一第二基板，具有一传感区域及一边缘区域，具有一狭缝，形成于该第一基板的所述多个开口及该第一基板的所述多个开口之间的所述多个间隙之上，该第二基板的该传感区域在该传感阵列之上；多个第一绝缘层，跨越该第二基板的该狭缝以形成于所述多个第一电极及该第二基板之间，及形成于该第一基板的所述多个开口之间；及一控制器，耦接于所述多个第一电极。3.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于，该力传感装置沿该第一基板的所述多个开口及该第二基板的该狭缝折叠。4.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于：该第二基板另具有多个开口；该第一基板另具有一狭缝，形成于该第二基板的所述多个开口之上及该第二基板的所述多个开口之间的多个间隙之下；及该力传感装置另包括：多个第二电极，形成于该第二基板的该传感区域及该边缘区域之上，及通过该第二基板的所述多个开口之间的所述多个间隙耦接于该传感阵列及该控制器；及多个第二绝缘层，跨越该第一基板的该狭缝以形成于所述多个第二电极及该第一基板之间，及形成于该第二基板的所述多个开口之间。5.根据权利要求4所述的力传感装置，其特征在于，该力传感装置沿该第二基板的所述多个开口及该第一基板的该狭缝折叠。6.根据权利要求4所述的力传感装置，其特征在于，该第一基板的该传感区域上的所述多个第一电极及该第二基板的该传感区域上的所述多个第二电极互相垂直。7.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于，该传感阵列由一压电(piezoelectric)材料制成。8.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于，该传感阵列由一压阻(piezoresistive)材料制成。9.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于，该传感阵列由一压感电容(piezo-capacitive)材料制成。
10.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于，该传感阵列包括多个像素，每个像素包括一力敏(force sensitive)材料，形成于一对应第一电极及一对应第二电极之间。11.根据权利要求10所述的力传感装置，其特征在于，所述多个像素以固定垂直间隔及固定水平间隔设置为阵列。12.根据权利要求2所述的力传感装置，其特征在于，每个像素包括粘合剂，用以粘附于该第一基板及该第二基板之间。13.一种拼接装置，其特征在于，包括：多个力传感装置，所述多个力传感装置互相拼接，每个力传感装置包括一传感阵列，该传感阵列包括多个像素，以固定垂直间隔及固定水平间隔设置为阵列；及一控制器，设置于所述多个力传感装置的多个传感阵列的背面，及耦接于所述多个力传感装置；其中所述多个力传感装置的垂直相邻的力传感装置之间的多个相邻像素以该固定垂直间隔设置；及其中所述多个力传感装置的水平相邻的力传感装置之间的多个相邻像素以该固定水平间隔设置。14.根据权利要求13所述的拼接装置，其特征在于：该每个力传感装置另包括多个第一电极，设置于该每个力传感装置的该传感阵列的一背面，及耦接于该控制器及该每个力传感装置的该传感阵列。15.根据权利要求13所述的拼接装置，其特征在于，该每个力传感装置的所述多个第一电极折叠至该每个力传感装置的该传感阵列的该背面。16.根据权利要求13所述的拼接装置，其特征在于：该每个力传感装置另包括：一第一基板，具有多个开口；一第二基板，具有一狭缝，形成于该第一基板的所述多个开口及该第一基板的所述多个开口之间的多个间隙之上；及多个第一绝缘层，跨越该第二基板的该狭缝以形成于所述多个第一电极及该第二基板之间，及形成于该第一基板的所述多个开口之间；及所述多个第一电极形成于该第一基板之上，及通过该第一基板的所述多个开口之间的多个间隙耦接于该传感阵列。17.根据权利要求16所述的力传感装置，其特征在于，该每个力传感装置沿该第一基板的所述多个开口及该第二基板的该狭缝折叠。18.根据权利要求16所述的拼接装置，其特征在于：该第二基板另具有多个开口；该第一基板另具有一狭缝，形成于该第二基板的所述多个开口及该第二基板的所述多个开口之间的多个间隙之下；及该每个力传感装置另包括：多个第二电极，形成于该第二基板的该传感区域及该边缘区域之上，及通过该第二基板的所述多个开口之间的所述多个间隙耦接于该传感阵列及该控制器；及多个第二绝缘层，跨越该第一基板的该狭缝以形成于所述多个第二电极及该第一基板
之间，及形成于该第二基板的所述多个开口之间。19.根据权利要求16所述的力传感装置，其特征在于，该每个力传感装置沿该第二基板的所述多个开口及该第一基板的该狭缝折叠。20.根据权利要求13所述的力传感装置，其特征在于，该传感阵列由一压电材料、一压电阻材料或一压感电容材料制成。

技术总结
本发明提供一种力传感装置包括基板、传感阵列及多个电极。基板具有传感区域及边缘区域。传感阵列形成于基板的传感区域之上。所述多个电极形成于基板的传感区域及边缘区域之上，且耦接于传感阵列。基板的边缘区域及边缘区域上的所述多个电极被折叠至传感阵列的背面。本发明还提供一种拼接装置，包括多个力传感装置及控制器。所述多个力传感装置互相拼接，每个力传感装置包括传感阵列，传感阵列包括多个像素，以固定垂直间隔及固定水平间隔设置为阵列。控制器设置于所述多个力传感装置的多个传感阵列的背面，及耦接于所述多个力传感装置。装置。装置。


技术研发人员：方绍全 侯智升
受保护的技术使用者：环球水泥股份有限公司
技术研发日：2020.11.23
技术公布日：2022/2/23