透射型衍射光栅及相关设备的制作方法

技术特征：
1.一种偏振无关的透射型衍射光栅，其特征在于，包括层叠设置的透明衬底及光栅结构，所述光栅结构包括至少两层光栅层，其中，所述光栅结构中设于所述透明衬底上的最底层的光栅层由高折射率材料制成，除所述最底层的光栅层以外的每层所述光栅层由高折射率材料或低折射率材料制成，且相邻的两层所述光栅层的制成材料不同，所述低折射率材料的折射率范围为[1.30,1.80]，所述高折射率材料的折射率范围为[1.90,2.50]，由所述低折射率材料制成的光栅层的厚度范围为[100,400]nm，所述光栅结构的总厚度范围为[1000,1450]nm，所述光栅结构的占空比范围为[50％,60％]，所述光栅结构的线密度不小于965线/mm。2.根据权利要求1所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述光栅结构包括第一光栅层及第二光栅层，所述第二光栅层夹设于所述第一光栅层与所述透明衬底之间，所述第一光栅层的厚度范围为[240,330]nm，所述第二光栅层的厚度范围为[1000,1120]nm。3.根据权利要求1至2任意一项所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述高折射率材料包括tio2、nb2o5、ta2o5中的一种，所述低折射率材料包括sio2、al2o3、caf2、lif、mgf2、naf、srf2、冰晶石中的一种。4.根据权利要求1所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述光栅结构包括依次设置的第一光栅层、第二光栅层及第三光栅层，所述第三光栅层夹设于所述透明衬底与所述第二光栅层之间，所述第二光栅层由所述低折射率材料制成，所述第一光栅层由所述高折射率材料制成。5.根据权利要求4所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述第一光栅层的厚度范围为[20,45]nm，所述第二光栅层的厚度范围为[150,230]nm，所述第三光栅层的厚度范围为[1030,1090]nm。6.根据权利要求1所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述光栅结构包括依次设置的第一光栅层、第二光栅层及第三光栅层，所述第三光栅层夹设于所述透明衬底与所述第二光栅层之间，所述第二光栅层由所述高折射率材料制成，所述第一光栅层由所述低折射率材料制成，所述第三光栅层与所述第二光栅层的制成材料不同。7.根据权利要求6所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述第一光栅层的厚度范围为[200,350]nm，所述第二光栅层的厚度范围为[420,620]nm，所述第三光栅层的厚度范围为[485,720]nm。8.根据权利要求4至7任意一项所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述高折射率材料包括tio2、nb2o5、ta2o5、si3n4中的一种，所述低折射率材料包括sio2、al2o3、caf2、lif、mgf2、naf、srf2、冰晶石中的一种。9.根据权利要求1至8任意一项所述的透射型衍射光栅，其特征在于，所述透明衬底包括熔融石英。10.一种波长选择开关，其特征在于，包括光输入端口、光输出端口、光偏转部件及根据权利要求1-9任意一项所述的透射型衍射光栅，所述光输入端口用于输入入射光束，所述透射型衍射光栅用于将所述入射光束进行分波或合波，所述光偏转部件用于将经所述透射型衍射光栅分波或合波后得到的光束进行选择性地偏转以切换到相应的光输出端口进行输出。11.一种光通信设备，其特征在于，包括权利要求10所述的波长选择开关。

技术总结
本申请提供一种偏振无关的透射型衍射光栅及相关设备。透射型衍射光栅包括层叠设置的透明衬底及光栅结构，光栅结构包括至少两层光栅层，光栅结构中设于透明衬底上的最底层的光栅层由高折射率材料制成，除最底层的光栅层以外的每层光栅层由高折射率材料或低折射率材料制成，且相邻的两层光栅层的制成材料不同，低折射率材料的折射率范围为[1.30,1.80]，高折射率材料的折射率范围为[1.90,2.50]，由低折射率材料制成的光栅层的厚度范围为[100,400]nm，光栅结构的总厚度范围为[1000,1450]nm。透射型光栅在利特罗角附近、宽入射角度范围内均具备高衍射效率和偏振无关性质。围内均具备高衍射效率和偏振无关性质。围内均具备高衍射效率和偏振无关性质。


技术研发人员：朱海 胡邦红 翟玉山 王华 李刚
受保护的技术使用者：华为技术有限公司
技术研发日：2020.08.20
技术公布日：2022/2/23