一种在线式超纯流体加热器的制作方法

技术特征：
1.一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体(1)，其特征在于，所述加热器本体(1)的中部设置有外壳(2)，所述外壳(2)的内部设置有石英薄膜发热体(10)，所述石英薄膜发热体(10)的外表面设置有导电薄膜(18)，所述导电薄膜(18)的上下两侧位于所述石英薄膜发热体(10)的外表面套接有汇流条(19)，所述汇流条(19)的外侧套接有加热元件接线端(15)，所述外壳(2)的上表面安装有进出水管道(6)，所述进出水管道(6)的上端安装有进出水接头(3)，所述进出水管道(6)的外侧设置有传感器底座(4)，所述传感器底座(4)的侧表面设置有液位传感器(5)。2.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述石英薄膜发热体(10)与所述加热器本体(1)之间设置有温度传感器(12)，所述温度传感器(12)的下方位于设置有超温传感器(13)，所述温度传感器(12)以所述石英薄膜发热体(10)的中心为轴线对称设置有超温熔断器(11)，所述外壳(2)的下表面安装有漏液传感器(14)，所述超温熔断器(11)、所述温度传感器(12)及所述超温传感器(13)的端部位于所述外壳(2)的侧表面均设置有数据线接头(7)。3.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述外壳(2)的内侧壁设置有硬质保温层(16)，所述硬质保温层(16)的内侧设置有柔质保温层(17)，所述石英薄膜发热体(10)的端部安装有密封圈(9)，所述密封圈(9)与所述加热器本体(1)之间安装有密封件(8)。4.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述汇流条(19)与所述导电薄膜(18)电性连接，所述进出水管道(6)与所述外壳(2)贯通连接。5.根据权利要求2所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述超温熔断器(11)、所述温度传感器(12)及所述超温传感器(13)均与所述数据线接头(7)电性连接。6.根据权利要求3所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述硬质保温层(16)及所述柔质保温层(17)均位于硅酸铝材质构件，所述密封件(8)与所述密封圈(9)均与所述石英薄膜发热体(10)固定连接。7.根据权利要求1所述的一种在线式超纯流体加热器，其特征在于，所述加热元件接线端(15)与所述导电薄膜(18)电性连接，所述进出水接头(3)与所述进出水管道(6)贯通连接。

技术总结
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种在线式超纯流体加热器，包括加热器本体，所述加热器本体的中部设置有外壳，所述外壳的内部设置有石英薄膜发热体，所述石英薄膜发热体的外表面设置有导电薄膜，所述导电薄膜的上下两侧位于所述石英薄膜发热体的外表面套接有汇流条，所述汇流条的外侧套接有加热元件接线端，所述外壳的上表面安装有进出水管道。将导电材料沉积在石英薄膜发热体的外表面，形成导电薄膜，石英薄膜发热体通过加热元件接线端进行电源的引入，能够在整个石英薄膜发热体的外侧的导电薄膜上均匀稳定的发热，当电气部分产生故障时，导电薄膜无法损坏熔融石英制成的石英薄膜发热体，从而能保证制程流体的超高纯度。的超高纯度。的超高纯度。


技术研发人员：季斌 郭鑫斌 赵东
受保护的技术使用者：江苏昌耐能源科技有限公司
技术研发日：2021.07.26
技术公布日：2022/1/26