一种传感器调节定位装置的制作方法

本申请涉及半导体制造，更具体地，涉及一种传感器调节定位装置。

背景技术：

1、在压印光刻工艺中，压印头与晶圆基板之间的相对平行度，即扫平度，是决定压印图案线宽均匀性、残余胶层厚度一致性及图形转移分辨率的核心工艺参数。扫平传感器作为实时检测压印头与晶圆之间的间隙及倾角的关键测量部件，其自身安装位置与姿态的精度直接影响测量基准的准确性，进而制约整个压印系统的套刻精度与工艺良率。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本申请提供了一种具有高调节精度、高刚性的传感器调节定位装置。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种传感器调节定位装置，包括：基座；第一调节机构，包括沿第一方向延伸的导向轴，传感器安装在导向轴的一端，导向轴被配置为驱动传感器绕第一轴转动，第一轴与导向轴的中心轴线重合；夹持机构，垂直设置在基座上，夹持机构包括夹持部，夹持部被配置为供导向轴沿第一方向穿过，并沿导向轴的径向夹持导向轴；第二调节机构，包括支架和调节件，支架位于夹持机构沿第一方向的一侧，调节件沿第一方向穿过支架与夹持机构铰接，第二调节机构被配置为驱动传感器绕第二轴转动，第二轴垂直于第一轴且平行于基座；锁定件，沿第三方向穿过夹持机构的一部分与基座抵接，被配置为固定传感器，第三方向垂直于第一轴、第二轴。

3、根据本申请的实施例，还包括第三调节机构，与夹持机构连接，被配置为驱动夹持机构沿第三方向移动。

4、根据本申请的实施例，夹持机构包括：本体，垂直设置在基座上，本体与调节件铰接，本体被配置为在第二调节机构的驱动下绕第二轴转动，第二轴与本体的中心重合；夹持部，位于本体远离基座的一侧，与本体连接，夹持部具有夹持孔，夹持孔沿第一方向贯穿夹持部；延伸部，与本体连接，延伸部具有锁定孔，锁定孔沿第三方向贯穿延伸部，被配置为供锁定件穿过。

5、根据本申请的实施例，夹持部包括：第一部分，与本体连接，第一部分具有第一弧形开口；第二部分，与第一部分可拆卸连接，第二部分具有第二弧形开口，第二弧形开口与第一弧形开口沿第二方向相对设置形成夹持孔，第二方向为第二轴的延伸方向。

6、根据本申请的实施例，第一弧形开口对应的圆心角大于第二弧形开口对应的圆心角。

7、根据本申请的实施例，第二部分具有顶丝孔，顶丝孔沿第二方向贯穿第二部分，顶丝孔被配置为供紧固件穿过。

8、根据本申请的实施例，第一调节机构还包括导向板，导向板与导向轴远离传感器的一端连接。

9、根据本申请的实施例，支架包括：第一边，沿第一方向延伸，与基座在第三方向上固定连接；第二边，沿第三方向延伸，与第一边靠近夹持机构的一端连接，第二边上设置有螺纹孔，螺纹孔沿第一方向贯穿第二边；其中，调节件贯穿螺纹孔，与螺纹孔螺纹连接。

10、根据本申请的实施例，调节件的数量为两个，两个调节件沿第三方向排布。

11、根据本申请的实施例，装置还包括承载机构，与导向轴的一端固定连接，用于承载传感器。

12、上述一个或多个实施例具有如下有益效果：

13、1. 通过第一调节机构驱动传感器绕第一轴转动，通过第二调节机构驱动传感器绕与第一轴垂直的第二轴转动，能够覆盖传感器姿态调节所需的两个主要角度维度，从而适应不同待测设备对传感器安装姿态的要求，且各调节自由度互不干涉、相互解耦，操作人员可针对单个自由度单独调节而无需反复迭代补偿，显著提高传感器装配校准效率；

14、2. 夹持机构能够为导向轴提供径向支撑与导向基准，从而确保传感器在调节过程中的运动精度与稳定性，同时在径向上对导向轴进行夹持固定，在调节完成后锁紧导向轴，防止导向轴在设备振动工况下发生径向偏移或位置漂移；

15、3.利用锁定件能够将夹持机构压紧固定于基座之上，且锁定路径独立于调节传动路径，锁定操作不会向调节机构传递附加力矩，避免位置回弹，确保传感器在调节完成后姿态稳定、测量基准长期可靠；

16、4. 装置以基座为安装基准，夹持机构垂直设置其上，各调节机构紧凑布置，整体结构刚性好、占用空间小，能够适应压印光刻设备等精密制造装备对结构紧凑性与长期稳定性的要求。

1.一种传感器调节定位装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器调节定位装置，其特征在于，还包括第三调节机构，与所述夹持机构连接，被配置为驱动所述夹持机构沿所述第三方向移动。

3.根据权利要求1所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述夹持机构包括：

4.根据权利要求3所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述夹持部包括：

5.根据权利要求4所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述第一弧形开口对应的圆心角大于所述第二弧形开口对应的圆心角。

6.根据权利要求4所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述第二部分具有顶丝孔，所述顶丝孔沿所述第二方向贯穿所述第二部分，所述顶丝孔被配置为供紧固件穿过。

7.根据权利要求1所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述第一调节机构还包括导向板，所述导向板与所述导向轴远离所述传感器的一端连接。

8.根据权利要求1所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述支架包括：

9.根据权利要求1所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述调节件的数量为两个，两个所述调节件沿所述第三方向排布。

10.根据权利要求1所述的传感器调节定位装置，其特征在于，所述装置还包括承载机构，与所述导向轴的一端固定连接，用于承载所述传感器。