一种表面浮雕光栅波导制造设备的制作方法

本技术涉及ar衍射光波导制造，具体涉及一种表面浮雕光栅波导制造设备。

背景技术：

1、现有利用拼接模具生产表面浮雕光栅波导的方案如下：

2、1.将多个表面浮雕光栅波导分别作为模具单元拼接在一个大尺寸的模具基底上，得到拼接模具。

3、2.利用拼接模具作为压印模板，通过纳米压印方式得到具有多组光栅结构的波导晶圆：

4、在拼接模具上旋涂软膜胶，将拼接模具的光栅结构利用软膜胶通过纳米压印工艺转印至软膜衬底而得到拼接软膜，拼接软膜的转印区域具有多组光栅结构的转印结构(即光栅结构的反结构)。

5、在波导晶圆上旋涂压印胶，将拼接软膜的转印区域内多组光栅结构的转印结构利用压印胶通过纳米压印工艺转印至波导晶圆上，得到具有多组光栅结构的波导晶圆。

6、3.将具有多组光栅结构的波导晶圆根据波导成品形态进行切割，得到多个波导晶圆单元，每个波导晶圆单元具有一组光栅结构。

7、4.根据波导成品的层级构造(至少一个盖板和至少一个波导晶圆单元构成)，在盖板与波导晶圆单元之间的边缘区域采用贴合胶进行贴合操作或者波导晶圆单元之间的边缘区域采用贴合胶进行贴合操作，得到波导贴合结构。

8、5.对波导贴合结构的端面采用遮光胶进行封边操作，得到表面浮雕光栅波导成品。

9、上述采用将具有多组光栅结构的波导晶圆进行切割，然后对切割得到的波导晶圆单元进行贴合的操作方式具有如下问题：

10、1)具有多组光栅结构的波导晶圆进行切割后的多个波导晶圆单元分别进行贴合操作，贴合操作效率低。

11、2)具有多组光栅结构的波导晶圆进行切割后的多个波导晶圆单元分别进行贴合操作，每个波导晶圆单元的独立贴合操作增加了波导晶圆单元被周围环境中的灰尘、杂质等物质的污染风险。

12、3)具有多组光栅结构的波导晶圆进行切割后的多个波导晶圆单元分别进行贴合操作，由于波导晶圆单元的尺寸小，容易导致盖板与波导晶圆单元之间或者波导晶圆单元之间对位贴合精度降低。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种表面浮雕光栅波导制造设备。

2、本实用新型通过如下技术方案实现：

3、本实用新型提供一种表面浮雕光栅波导制造设备，包括第一贴合机构、第二贴合机构和激光切割机构；

4、所述第一贴合机构用于在波导晶圆的非结构面的整面贴合光学透明胶；

5、所述第二贴合机构用于在波导晶圆贴合光学透明胶的一面贴合盖板；

6、所述激光切割机构用于对波导晶圆、光学透明胶和盖板组成的波导贴合结构进行切割得到波导晶圆单元；

7、其中，波导晶圆具有多组光栅结构，每个波导晶圆单元具有一组光栅结构。

8、进一步的，所述第一贴合机构包括第一贴合腔体，所述第一贴合腔体内设置第一贴合平台、第二贴合平台、转动部件、第一升降部件和第一移动部件；

9、所述第一贴合平台的一端与所述转动部件连接，所述转动部件与所述第一升降部件连接，所述第一升降部件与所述第一贴合腔体的顶部内壁连接；

10、所述第二贴合平台的一端与所述第一移动部件连接，所述第一移动部件与第一贴合腔体的底部内壁连接；

11、所述第一贴合平台用于真空吸附波导晶圆的结构面一侧；

12、所述第二贴合平台用于真空吸附光学透明胶。

13、进一步的，所述第一贴合机构还包括对位组件，所述对位组件包括第一对位相机、第二对位相机和控制单元；

14、所述第一对位相机、第二对位相机分别与控制单元连接，所述控制单元与所述第一移动部件连接；

15、所述第一对位相机与第一贴合腔体的内壁连接，第一对位相机获取第一贴合平台吸附的波导晶圆的第一位置信息并发送给控制单元；

16、所述第二对位相机与第一贴合腔体的内壁连接，第二对位相机获取第二贴合平台吸附的光学透明胶的第二位置信息并发送给控制单元；

17、所述控制单元基于所述第一位置信息和第二位置信息控制所述第一移动部件移动。

18、进一步的，所述第二贴合平台包括容纳槽；

19、所述容纳槽内设置第二升降部件、第二移动部件、辊轮部件；

20、所述容纳槽的槽底与所述第二移动部件的底端连接，所述第二移动部件的顶部与所述第二升降部件的底端连接，所述第二升降部件的顶端设置辊轮部件；

21、所述容纳槽的顶端设置可拉伸钢板。

22、进一步的，所述容纳槽的侧壁设置第一真空吸附通孔；

23、所述第一真空吸附通孔与真空通气管道连接。

24、进一步的，所述第二贴合平台还包括第三升降部件和支撑板；

25、所述容纳槽的槽底与所述第三升降部件的底端连接，所述第三升降部件的顶端设置所述支撑板；

26、所述支撑板位于所述可拉伸钢板的下方。

27、进一步的，所述第二贴合机构包括第二贴合腔体；

28、所述第二贴合腔体内设置第三贴合平台、第四贴合平台、第四升降部件和第三移动部件；

29、所述第三贴合平台的一端与所述第四升降部件连接，所述第四升降部件与第二贴合腔体的顶端内壁连接；

30、所述第四贴合平台的一端与所述第三移动部件连接，所述第三移动部件与第二贴合腔体的底端内壁连接；

31、第三贴合平台用于真空吸附波导晶圆贴合光学透明胶的一面的对面；

32、第四贴合平台用于真空吸附盖板。

33、进一步的，所述第二贴合腔体的侧壁开设第二真空吸附通孔；

34、所述第二真空吸附通孔与真空通气管道连接。

35、进一步的，所述激光切割机构采用贝塞尔激光束。

36、和现有技术比，本实用新型的技术方案具有如下有益效果：

37、本实用新型提供一种表面浮雕光栅波导制造设备，包括第一贴合机构、第二贴合机构和激光切割机构。第一贴合机构用于在具有多组光栅结构的波导晶圆的非结构面的整面贴合光学透明胶，第二贴合机构用于在波导晶圆贴合光学透明胶的一面贴合盖板，激光切割机构用于对波导晶圆、光学透明胶和盖板组成的波导贴合结构进行切割得到多个波导晶圆单元，每个波导晶圆单元具有一组光栅结构。利用本实用新型的表面浮雕光栅波导制造设备先对具有多组光栅结构的波导晶圆整面贴合光学透明胶与盖板连接得到波导贴合结构，然后对波导贴合结构进行激光切割得到多个具有一组光栅结构的波导晶圆单元，大大提高贴合操作效率，降低波导晶圆单元的污染风险且提高贴合操作精度。

1.一种表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，包括第一贴合机构、第二贴合机构和激光切割机构；

2.根据权利要求1所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述第一贴合机构包括第一贴合腔体，所述第一贴合腔体内设置第一贴合平台、第二贴合平台、转动部件、第一升降部件和第一移动部件；

3.根据权利要求2所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述第一贴合机构还包括对位组件，所述对位组件包括第一对位相机、第二对位相机和控制单元；

4.根据权利要求2所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述第二贴合平台包括容纳槽；

5.根据权利要求4所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述容纳槽的侧壁设置第一真空吸附通孔；

6.根据权利要求4所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述第二贴合平台还包括第三升降部件和支撑板；

7.根据权利要求1所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述第二贴合机构包括第二贴合腔体；

8.根据权利要求7所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述第二贴合腔体的侧壁开设第二真空吸附通孔；

9.根据权利要求1所述的表面浮雕光栅波导制造设备，其特征在于，所述激光切割机构采用贝塞尔激光束。