管芯及半导体结构的制作方法

本技术是有关于一种管芯及半导体结构。

背景技术：

1、硅光子技术正在成为高速光学数据通信的重要角色。例如，包括高速相位调节器、光栅耦合器和波导的光学收发器模块被用于高速光学通信系统中。光学收发器模块符合通信速度范围高达100 gbps以上的各种国际标准规格。光学收发器模块的性能由光学收发器模块中光栅耦合器的耦合效率决定。虽然用于光学收发器模块的现有光栅耦合器结构大体上已经足够，但在所有方面都还不是完全令人满意。

技术实现思路

1、本实用新型实施例提供一种半导体结构。所述半导体结构包括半导体层。所述半导体结构包括配置在半导体层上的光栅耦合器。所述半导体结构还包括配置在半导体层上且沿横向邻近光栅耦合器的波导。光栅耦合器包括多个光栅线。每条光栅线沿符合椭圆的区段曲线延伸，其中该椭圆由半径r1和小于半径r1的半径r2定义。

2、本实用新型实施例提供一种光子管芯。所述光子管芯包括衬底。所述光子管芯还包括配置在衬底上的装置层。装置层包括光栅耦合器和邻近光栅耦合器的波导。光栅耦合器包括多个光栅线，这些光栅线沿横向在装置层上以同心图案排列。每条光栅线沿椭圆的区段延伸，其中该椭圆由长半径和短半径定义。长半径与短半径的比率大于一。

1.一种半导体结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的半导体结构，其特征在于，所述光栅线排列成同心图案。

3.根据权利要求1所述的半导体结构，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的半导体结构，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的半导体结构，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的半导体结构，其特征在于，所述光栅线中每一者的侧壁相对于所述半导体层的顶部表面倾斜。

7.一种管芯，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的管芯，其特征在于，还包括配置在所述衬底与所述装置层之间的介电层。

9.根据权利要求7所述的管芯，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的管芯，其特征在于，所述光栅线中每一者的侧壁包括具有圆形轮廓的底部部分。