器件板、自动测试装置、锁销及插槽板的制作方法

本发明涉及器件板（device board）。

背景技术：

1、在存储器、cpu（central processing unit）等各种半导体器件的检査中使用自动测试装置（ate：automatic test equipment）。ate向测试对象的半导体器件（以下，称为被测试器件（dut））供给测试信号，测定dut对于测试信号的响应，判定dut的良好与否，或者确定不良部位。

2、近年来，dram（dynamic random access memory）的高速化不断进展。在搭载于图形板的gddr（graphics double data rate）存储器中，在gddr6x标准下，通过nrz（nonreturn to zero）方式实现21gbps的传送速度。

3、在下一代的gddr7中，采用pam4（pulse amplitude modulation 4），传送速度提高至40gbps。nrz方式的高速化也逐年进展，下一代的话，高速化至28gbps左右。

4、专利文献1公开了能够以高精度对高速器件进行测试的接口装置、及自动测试装置。

5、在先技术文献

6、专利文献

7、专利文献1 日本特开2024-014522号公报

技术实现思路

1、发明的概要

2、发明要解决的课题

3、在自动测试装置的接口装置的与dut连接的连接部位设有称为器件板、dsa（device specific adapter）的部件。器件板具备插槽板（插槽pcb）、多个插槽、插槽引导件。插槽引导件以将多个插槽夹入其与插槽板之间的方式安装在插槽板上。通过插槽引导件，将多个插槽定位于适当的位置。

4、器件板为了测定具有不同的引脚配置的dut或者为了在磨损时能够更换为新品而能够更换插槽。在以往的结构中，在更换插槽时，需要在将整个器件板从自动测试装置的框架拆下之后，将器件板分解，来更换插槽。这样的话，作业者的劳力和时间增多，可以说保养性差。

5、本发明是在这样的状况下作出的发明，其一形态的例示性的目的之一在于提供一种能够容易地更换插槽的器件板。

6、用于解决课题的方案

7、本发明的一形态涉及相对于自动测试装置的框架能够拆装的器件板。器件板具备插槽板、插槽引导件、至少能够切换第一状态与第二状态的卡止机构，该第一状态是插槽板与插槽引导件相互连结的状态，该第二状态是解除插槽板与插槽引导件的连结并将插槽板与自动测试装置的框架相互连结的状态。

8、本发明的另一形态是锁销。该锁销与插槽板、插槽引导件一起使用来构成器件板。锁销能够转动地安装于插槽板，锁销包括：框架锁定键，其在锁销处于相当于第一状态的规定的第一角度位置时，相对于设置于框架的框架键孔能够插拔，在锁销处于相当于第二状态的规定的第二角度位置时，能够卡止于框架键孔；插槽引导件锁定键，其在锁销处于第二角度位置时，相对于设置于插槽引导件的插槽引导件键孔能够插拔，在锁销处于第一角度位置时，能够卡止于插槽引导件键孔。

9、需要说明的是，将以上的构成要素任意组合的形态、将构成要素、表现在方法、装置、系统等之间相互置换的形态作为本发明或本公开的形态也有效。此外，该栏（用于解决课题的方案）的记载并非说明本发明的不可或缺的全部的特征，因此，记载的这些特征的子集也可作为本发明。

1.一种器件板，其相对于自动测试装置的框架能够拆装，其特征在于，所述器件板具备：

2.根据权利要求1所述的器件板，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的器件板，其特征在于，

4.根据权利要求2或3所述的器件板，其特征在于，

5.根据权利要求1~3中任一项所述的器件板，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的器件板，其特征在于，

7.一种自动测试装置，其特征在于，具备权利要求1~3中任一项所述的器件板。

8.一种锁销，其与插槽板、插槽引导件一起使用来构成器件板，其特征在于，

9.一种插槽板，其构成为能够安装权利要求8所述的锁销。