高精度射频阻抗校准方法、射频阻抗测试设备及测试系统与流程

本发明属于测量，具体涉及测量阻抗的方法，尤其涉及一种高精度射频阻抗校准方法、射频阻抗测试设备及测试系统。

背景技术：

1、4g/5g/6g通讯、毫米波通讯、卫星通讯、车载雷达需要用到高频器件，例如：高频电感、射频电容、谐振器、天线、射频芯片和光模块，高频器件的质量直接决定设备的质量。产线在对高频器件批量质检过程中，由于产线中存在多条产线、多台射频阻抗设备测试结果不一致，同款产品各工位判定结果不一致，会导致质检品质无法统一的问题，需要对射频阻抗设备统一校准。

2、然而，产线中被测件到测试设备必然会有较长的测试电缆，测试电缆对射频信号产生的损耗、相位误差极大，就会导致射频阻抗测试设备的校准困难。同时，测试头工装的等效模型要比测试电缆的等效模型复杂的多，而且不同的测试头工装等效模型也不相同，甚至不同工位的测试头工装都会不一样，对于各种测试工装头目前无法进行建模补偿。

3、因此，亟需开发一种新的高精度射频阻抗校准方法、射频阻抗测试设备及测试系统，以解决测试电缆、测试头工装所产生误差影响检测结果的技术问题。

4、需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的背景技术，因此，并不认为上述描述构成现有技术的信息。

技术实现思路

1、本公开实施例至少提供一种高精度射频阻抗校准方法、射频阻抗测试设备及测试系统。

2、第一方面，本公开实施例提供了一种高精度射频阻抗校准方法，其包括：将射频阻抗测试设备与测试组件连接，以使射频阻抗测试设备对测试组件在频率设定范围进行扫频测试，进而计算相邻阻抗波峰之间的平均频率差；射频阻抗测试设备根据平均频率差、各测试频率、各测试频率所对应的原始测试值计算补偿后的校准测试值；射频阻抗测试设备根据校准测试值对测试组件进行0sl单端口校准。

3、在一种可选的实施方式中，计算相邻阻抗波峰之间的平均频率差的方法包括：射频阻抗测试设备获取相邻阻抗波峰之间的频率差；射频阻抗测试设备计算所有频率差的平均值，即获取相邻阻抗波峰之间的平均频率差f1。

4、在一种可选的实施方式中，射频阻抗测试设备根据平均频率差、各测试频率、各测试频率所对应的原始测试值计算补偿后的校准测试值的方法包括：射频阻抗测试设备构建补偿模型；射频阻抗测试设备将平均频率差、各测试频率、各测试频率所对应的原始测试值输入补偿模型，以计算补偿后的校准测试值。

5、在一种可选的实施方式中，补偿模型包括：；；；；；

6、其中，为测试频率所对应的原始测试值，为校准测试值。

7、在一种可选的实施方式中，测试组件包括：测试电缆和测试工装头；测试工装头、测试电缆、射频阻抗测试设备依次电性相连；测试电缆适于接入被测件，即射频阻抗测试通过测试电缆、测试工装头对被测件进行阻抗测量。

8、在一种可选的实施方式中，频率设定范围为1mhz至5ghz。

9、第二方面，本公开实施例还提供一种射频阻抗测试设备，其包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序以实现上述高精度射频阻抗校准方法的步骤。

10、第三方面，本公开实施例还提供一种测试系统，其包括：如上述的射频阻抗测试设备和测试组件；所述射频阻抗测试设备被配置为对测试组件在频率设定范围进行扫频测试，进而计算相邻阻抗波峰之间的平均频率差；所述射频阻抗测试设备被配置为根据平均频率差、各测试频率、各测试频率所对应的原始测试值计算补偿后的校准测试值；所述射频阻抗测试设备被配置为根据校准测试值对测试组件进行0sl单端口校准。

11、第四方面，本公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述高精度射频阻抗校准方法的步骤。

12、第五方面，本公开实施例还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现上述高精度射频阻抗校准方法的步骤。

13、本发明的有益效果是，本发明通过平均频率差、各测试频率、原始测试值构建补偿模型能够对原始测试值进行校准，补偿测试组件所产生的误差，使阻抗测试不会出现波峰和波谷，再通过单端口osl进行校准，能够适配所有测试组件，实现射频阻抗测试设备上自动化产线时最高测试频率达到5ghz，且最高测试精度达到0.3%。

14、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

15、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

1.一种高精度射频阻抗校准方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的高精度射频阻抗校准方法，其特征在于，

3.如权利要求2所述的高精度射频阻抗校准方法，其特征在于，

4.如权利要求3所述的高精度射频阻抗校准方法，其特征在于，

5.如权利要求1所述的高精度射频阻抗校准方法，其特征在于，

6.如权利要求1所述的高精度射频阻抗校准方法，其特征在于，

7.一种射频阻抗测试设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序以实现权利要求1-6任一项所述高精度射频阻抗校准方法的步骤。

8.一种测试系统，其特征在于，包括：

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-6任一项所述高精度射频阻抗校准方法的步骤。

10.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现权利要求1-6任一项所述高精度射频阻抗校准方法的步骤。