一种微孔测量装置

本申请涉及微孔测量，特别涉及一种微孔测量装置。

背景技术：

1、随着制造技术的发展进步，在航空航天、国防等领域的应用越来越多，对于精密机械的需求也越来越大，因此精密机械的测量技术成了提高精度的关键。目前常采用共聚焦显微镜对精密机械中的微孔进行测量。

2、共聚焦显微镜具有层析扫描特性，可用于物体三维检测，常用于半导体检测行业。由激光部、准直透镜、分光部、物镜、载物台、探测器组成。工作时，激光部发出的光束经准直后通过分光部导向物镜，聚焦于被测样品表面，反射光经原路返回经针孔板进行针孔成像并由探测器接收，以获取样品尺寸信息，从而实现测量。然而，目前的共聚焦显微镜对针孔的调节较为局限，导致图像质量、分辨率无法达到最佳状态。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种微孔测量装置，能够通过第一调节件和第二调节件实现对针孔板的调节，从而适配不同规格的物镜，保证针孔成像的质量，提高测量的精确性。

2、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，包括：光学测量组件，包括激光部、分光部、物镜部和测量部，所述激光部集成设置有准直镜，所述分光部设置于所述激光部的出射方向且与所述激光部连接，所述物镜部设置于所述分光部的透射方向且与所述分光部连接，所述测量部包括沿所述分光部反射方向依次设置的透镜、针孔板和探测器，所述透镜与所述分光部连接，所述针孔板连接有调节机构，所述调节机构包括第一调节板和第二调节板，所述第二调节板设置有安装腔，所述针孔板设置于所述安装腔内，所述第二调节板设置有第一调节件和第二调节件，所述第一调节件用于调节所述针孔板相对所述第一调节板的距离和角度，所述第二调节件用于调节所述针孔板在所述安装腔内的位置；固定组件，包括样品台，所述样品台设置于所述物镜部的出射方向，所述样品台用于放置样品；上位机，与所述激光部、所述测量部分别电性连接。

3、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，至少具有如下有益效果：测量时，激光部发出光束，通过分光部反射，经物镜部聚焦到样品台的样品上，反射回来的光线再次通过物镜部和分光镜部，经透镜进行聚焦并通过针孔板进行针孔成像，并在探测器上形成清晰的图像。探测器将图像信息传送至上位机，从而实现对微孔的测量；其中，在测量过程中，可以通过第一调节件调节针孔板相对第一调节板的距离和角度，同时也能够通过第二调节件调节针孔板在安装腔内的位置，从而适配不同规格的物镜，保证针孔成像的质量，提高测量的精确性。

4、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述第一调节件设置有四个且位于所述第二调节板的第一方向上，四个所述第一调节件分别设置于所述第二调节板的四周，所述第二调节件设置有两个且分别设置于所述第二调节板的第二方向和第三方向上。

5、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述第一调节板设置有第一遮光罩，所述透镜的端部伸入所述第一遮光罩内。

6、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述激光部包括激光固定座和激光器，所述激光器设置于所述激光固定座，所述分光部与所述激光固定座连接，所述准直镜集成设置于所述激光器。

7、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述分光部包括分光夹持器和分光镜，所述分光夹持器包括第一夹持单元、第二夹持单元和第三夹持单元，所述第一夹持单元、所述第二夹持单元和所述第三夹持单元配合夹持固定所述分光镜，所述激光部、所述物镜部、所述测量部分别与所述第一夹持单元、所述第二夹持单元、所述第三夹持单元连接。

8、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述物镜部包括固定座和物镜，所述固定座与所述分光部连接，所述物镜设置于所述固定座。

9、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述固定座设置有第二遮光罩，所述第二遮光罩与所述分光部连接，所述物镜穿入所述第二遮光罩内。

10、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述固定组件还包括驱动部，所述驱动部与所述样品台连接，所述驱动部可驱动样品台运动。

11、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述驱动部包括底座、第一移动台、第二移动台和第三移动台，所述第一移动台滑动设置于所述底座，所述第一移动台沿第一方向运动，所述第二移动台滑动设置于所述第一移动台，所述第二移动台可沿第二方向运动，所述第三移动台升降设置于所述第二移动台，所述第三移动台可沿第三方向运动，所述样品台设置于所述第三移动台。

12、根据本申请实施例所述的微孔测量装置，所述第二移动台设置有安装座，所述安装座转动设置有转动块，所述转动块设置有凸出块，所述第三移动台设置有抵接块，所述转动块转动，使所述凸出块通过所述抵接块抬升所述第三移动台。

13、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中单元分给出，单元分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

1.一种微孔测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微孔测量装置，其特征在于，所述第一调节件设置有四个且位于所述第二调节板的第一方向上，四个所述第一调节件分别设置于所述第二调节板的四周，所述第二调节件设置有两个且分别设置于所述第二调节板的第二方向和第三方向上。

3.根据权利要求2所述的微孔测量装置，其特征在于，所述第一调节板设置有第一遮光罩，所述透镜的端部伸入所述第一遮光罩内。

4.根据权利要求1所述的微孔测量装置，其特征在于，所述激光部包括激光固定座和激光器，所述激光器设置于所述激光固定座，所述分光部与所述激光固定座连接，所述准直镜集成设置于所述激光器。

5.根据权利要求1所述的微孔测量装置，其特征在于，所述分光部包括分光夹持器和分光镜，所述分光夹持器包括第一夹持单元、第二夹持单元和第三夹持单元，所述第一夹持单元、所述第二夹持单元和所述第三夹持单元配合夹持固定所述分光镜，所述激光部、所述物镜部、所述测量部分别与所述第一夹持单元、所述第二夹持单元、所述第三夹持单元连接。

6.根据权利要求1所述的微孔测量装置，其特征在于，所述物镜部包括固定座和物镜，所述固定座与所述分光部连接，所述物镜设置于所述固定座。

7.根据权利要求6所述的微孔测量装置，其特征在于，所述固定座设置有第二遮光罩，所述第二遮光罩与所述分光部连接，所述物镜穿入所述第二遮光罩内。

8.根据权利要求1所述的微孔测量装置，其特征在于，所述固定组件还包括驱动部，所述驱动部与所述样品台连接，所述驱动部可驱动样品台运动。

9.根据权利要求8所述的微孔测量装置，其特征在于，所述驱动部包括底座、第一移动台、第二移动台和第三移动台，所述第一移动台滑动设置于所述底座，所述第一移动台沿第一方向运动，所述第二移动台滑动设置于所述第一移动台，所述第二移动台可沿第二方向运动，所述第三移动台升降设置于所述第二移动台，所述第三移动台可沿第三方向运动，所述样品台设置于所述第三移动台。

10.根据权利要求9所述的微孔测量装置，其特征在于，所述第二移动台设置有安装座，所述安装座转动设置有转动块，所述转动块设置有凸出块，所述第三移动台设置有抵接块，所述转动块转动，使所述凸出块通过所述抵接块抬升所述第三移动台。