曲面支撑结构体的制造方法与流程

本发明涉及曲面支撑结构体的制造方法。

背景技术：

1、陀螺仪被广泛用于检测物体的姿态变化。其中，振动型陀螺仪（vsg，也称为coriolis vibratory gyroscope（cvg））因其具备坚固、小型且能实现高精度的特点而备受关注。例如，下述的专利文献1公开了一种具有向上方隆起形状的谐振子以及支撑该谐振子的支撑部的半球谐振陀螺仪（hrg）。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2022/224704号

技术实现思路

1、专利文献1的半球谐振陀螺仪具有如下结构：谐振子侧的多个电极与支撑部侧的多个电极隔着预定的间隙相对放置。半球谐振陀螺仪通过彼此相对的电极间的静电电容变化，以谐振子的振动节点位置变化的形式来检测施加的角速度变化。基于这种检测原理，在陀螺仪工作时，谐振子侧的电极电位通常不处于悬浮电位，而是固定在预定的电位（典型地为接地电位）。谐振子需要具有从谐振子侧的电极到支撑部侧的电源等的电连接。

2、根据本发明，提供以下发明。

3、［1］一种曲面支撑结构体的制造方法，包括：准备具有包含第1电极的第1电极图案的第1晶圆的步骤（a）；通过将所述第1晶圆与具有包含多个第2电极的第2电极图案的第2晶圆接合，从而获得在内部具有环带状空腔的层叠体的步骤（b）；通过加热，利用所述空腔与所述层叠体外部之间的气压差，使所述第1晶圆和所述第2晶圆中至少一方的表面变形为曲面状，从而增大或减小所述空腔容积的步骤（c）；以及沿着与所述环带状同心的圆周去除所述第1晶圆的一部分，由所述第1晶圆形成中心部被所述第2晶圆支撑的谐振子的步骤（d），所述步骤（a）包括通过在裸晶圆的一个主面侧上形成所述第1电极图案以获得所述第1晶圆的步骤（a1），在所述步骤（b）中，所述层叠体中的所述第1电极和所述第2电极隔开间距彼此相对，所述步骤（b）包括将所述第1电极与所述第2晶圆的所述第2电极图案电连接的步骤。

4、［2］如［1］所述的制造方法，其中，所述步骤（a1）包括通过溅射形成作为所述第1电极图案的底层、或者作为所述第1电极图案的导电层的步骤。

5、［3］如［1］或［2］所述的制造方法，其中，所述步骤（a）还包括在所述步骤（a1）之前在所述裸晶圆的所述主面上形成环带状凹部的步骤（a2），在所述步骤（a1）中，所述第1电极图案越过所述凹部的外缘，从所述凹部的内部延伸至所述凹部的外部。

6、［4］如［1］至［3］中任一项所述的制造方法，其中，在所述步骤（c）中，所述空腔内部的压力为0.1标准大气压以上且0.5标准大气压以下。

7、［5］如［4］所述的制造方法，其中，所述步骤（b）包括在减压下将所述第1晶圆和所述第2晶圆接合的步骤。

8、［6］如［1］至［5］中任一项所述的制造方法，其中，在所述步骤（b）与所述步骤（c）之间，还包括将具有带圆角的开口的孔的治具配置在所述第1晶圆的另一主面上的步骤（e），所述步骤（c）包括使所述第1晶圆的所述另一主面的一部分变形为仿形于所述治具的所述开口形状的形状的步骤。

9、［7］如［6］所述的制造方法，其中，所述治具具有位于所述孔的中心的突起，该突起包含带有圆角的前端。

10、［8］如［1］至［7］中任一项所述的制造方法，其中，所述谐振子包括：从所述第2晶圆向上方延伸的柱状部；以及围绕所述柱状部呈环状配置的边缘部。

11、根据本发明的至少任一实施方式，能够在谐振子上高效地形成将谐振子侧的电极连接至支撑部侧的电极图案的结构。

1.一种曲面支撑结构体的制造方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的制造方法，其中，

3.如权利要求1或权利要求2所述的制造方法，其中，

4.如权利要求1或权利要求2所述的制造方法，其中，

5.如权利要求4所述的制造方法，其中，

6.如权利要求1或权利要求2所述的制造方法，其中，

7.如权利要求6所述的制造方法，其中，

8.如权利要求1或权利要求2所述的制造方法，其中，