定位装置及分析机台的制作方法

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种定位装置及分析机台。

背景技术：

1、随着半导体集成电路制造工艺不断向更小节点推进，芯片集成度与结构复杂度持续提高，失效分析在半导体研发与量产质量控制中的作用日益重要。在物理性失效分析中，通常需要借助聚焦离子束（focused ion beam，fib）等设备对晶圆或芯片样品的目标区域进行切片、刻蚀，以暴露器件内部微观结构供扫描电子显微镜等仪器观察，而在切片前对目标区域进行准确的定位标记，是保证分析效率与结果可靠性的重要环节。

2、目前，样品定位标记的实现方式呈现多样化发展趋势。一类方案采用激光打标设备，利用激光在样品表面烧蚀形成标记，其自动化程度和定位精度较高；另一类方案则依赖操作人员使用金刚笔等工具在显微镜下进行手动标记，该方式对设备要求低、使用灵活。

3、然而，当前的定位装置还存在不足。

技术实现思路

1、本发明解决的问题是如何以较低的设备成本，在聚焦离子束切片前对待测样品的目标区域进行高精度、低损伤的定位标记，以提供一种操作简便、适用于不同规模实验室的手动定位标记方案。

2、为解决上述问题，本发明技术方案提供一种定位装置，包括：样品池，所述样品池被配置为盛装待测样品；探针模组，所述探针模组包括探针和探针座，所述探针贯穿所述样品池的侧壁，所述探针的第一端被配置为与待测样品相连，所述探针的第二端被配置为与所述探针座相连；第一调节件，所述第一调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第一调节件被配置为调节所述探针沿第一方向移动，所述第一方向为探针的延伸方向。

3、可选的，所述第一调节件包括：拨杆座与拨杆，所述拨杆座与所述探针座相连，所述拨杆固定于所述拨杆座上，所述拨杆被配置为控制探针沿第一方向的移动。

4、可选的，还包括：第二调节件，所述第二调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第二调节件被配置为调节所述探针沿第二方向移动，其中所述第二方向与所述第一方向相交。

5、可选的，所述第二调节件包括第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮环绕所述样品池设置，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合，所述第一齿轮被配置为沿所述第二齿轮滚动并带动所述探针模组沿所述第二方向移动。

6、可选的，所述第二调节件还包括：第一调节旋钮，所述第一调节旋钮设置于拨杆座的一侧侧壁，所述第一调节旋钮与第一齿轮传动连接，所述第一调节旋钮被配置为带动所述第一齿轮转动，以使所述第一齿轮沿所述第二齿轮的周向滚动并带动所述探针沿所述第二方向移动。

7、可选的，所述探针座包括座体与弹性组件，所述弹性组件设置于所述探针的第二端与所述座体之间，所述弹性组件被配置为使所述探针在预设范围内沿第一方向可弹性伸缩。

8、可选的，所述探针的第一端为棱锥状。

9、可选的，还包括：第三调节件，所述第三调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第三调节件被配置为调节所述探针沿第三方向移动，其中所述第三方向垂直于所述样品池的承载面。

10、可选的，所述第三调节件包括：第二调节旋钮，所述第二调节旋钮设置于拨杆座的另一侧侧壁，所述第二调节旋钮被配置为控制所述探针沿所述第三方向移动。

11、可选的，所述第二调节旋钮、拨杆、以及第一调节旋钮均设有刻度标识和阻尼件。

12、可选的，所述探针模组为多个，多个所述探针模组环绕所述样品池的周向排布。

13、相应的，本发明技术方案还提供一种分析机台，包括：定位装置，所述定位装置如本发明所述。

14、可选的，还包括：承载板，所述承载板具有开口；所述样品池卡接于所述开口内。

15、与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

16、本发明技术方案的定位装置中，通过样品池盛装待测样品，探针贯穿样品池侧壁并以第一端与待测样品相连，再由第一调节件控制探针沿其自身延伸方向移动，使探针第一端沿确定方向移动并接触待测样品，从而在待测样品表面形成定位标记。探针受第一调节件的位置控制，其移动方向和移动距离均受到机械约束，相较于操作人员手持工具直接标记的方式，标记位置更为确定；并且，该装置无需复杂专用设备，成本较低。

17、本发明可选方案中，还包括：第二调节件，所述第二调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第二调节件被配置为调节所述探针沿第二方向移动，其中所述第二方向与所述第一方向相交。通过设置第二调节件调节探针沿与第一方向相交的第二方向移动，使探针除沿第一方向移动外，还能够沿第二方向改变相对样品池的位置，扩展了探针相对待测样品的位置调节方向。

18、本发明可选方案中，所述第二调节件包括第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮环绕所述样品池设置，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合，所述第一齿轮被配置为沿所述第二齿轮滚动并带动所述探针模组沿所述第二方向移动。环绕样品池设置的第二齿轮为第一齿轮的滚动提供了确定的轨道，使第一齿轮的运动被约束在第二齿轮所限定的轨迹上，从而使探针模组沿第二方向的移动路径确定。

19、本发明可选方案中，所述探针座包括座体与弹性组件，所述弹性组件设置于所述探针的第二端与所述座体之间，所述弹性组件被配置为使所述探针在预设范围内沿第一方向可弹性伸缩。通过在探针的第二端与座体之间设置弹性组件，使探针在预设范围内沿第一方向可弹性伸缩，探针相对座体沿第一方向伸出的长度可在预设范围内调节，从而能够根据定位需要调整探针第一端伸入样品池的距离，并在探针第一端接触待测样品时提供弹性缓冲。

20、本发明可选方案中，还包括：第三调节件，所述第三调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第三调节件被配置为调节所述探针沿第三方向移动，其中所述第三方向垂直于所述样品池的承载面。通过设置沿垂直于样品池承载面的第三方向调节探针的第三调节件，使探针在第一方向、第二方向之外还具有沿第三方向的位置调节能力，便于调节探针第一端相对待测样品在第三方向上的位置。

21、本发明可选方案中，所述探针模组为多个，多个所述探针模组环绕所述样品池的周向排布。通过将多个探针模组环绕样品池的周向排布，可由多个探针模组分别从不同方位提供探针，便于在待测样品周边的多个位置形成定位标记。

1.一种定位装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述第一调节件包括：拨杆座与拨杆，所述拨杆座与所述探针座相连，所述拨杆固定于所述拨杆座上，所述拨杆被配置为控制探针沿第一方向的移动。

3.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，还包括：第二调节件，所述第二调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第二调节件被配置为调节所述探针沿第二方向移动，其中所述第二方向与所述第一方向相交。

4.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述第二调节件包括第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮环绕所述样品池设置，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合，所述第一齿轮被配置为沿所述第二齿轮滚动并带动所述探针模组沿所述第二方向移动。

5.如权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述第二调节件还包括：第一调节旋钮，所述第一调节旋钮设置于拨杆座的一侧侧壁，所述第一调节旋钮与第一齿轮传动连接，所述第一调节旋钮被配置为带动所述第一齿轮转动，以使所述第一齿轮沿所述第二齿轮的周向滚动并带动所述探针沿所述第二方向移动。

6.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述探针座包括座体与弹性组件，所述弹性组件设置于所述探针的第二端与所述座体之间，所述弹性组件被配置为使所述探针在预设范围内沿第一方向可弹性伸缩。

7.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述探针的第一端为棱锥状。

8.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，还包括：第三调节件，所述第三调节件设置于所述探针模组远离所述样品池的一侧，且与所述探针模组相连，所述第三调节件被配置为调节所述探针沿第三方向移动，其中所述第三方向垂直于所述样品池的承载面。

9.如权利要求8所述的定位装置，其特征在于，所述第三调节件包括：第二调节旋钮，所述第二调节旋钮设置于拨杆座的另一侧侧壁，所述第二调节旋钮被配置为控制所述探针沿所述第三方向移动。

10.如权利要求9所述的定位装置，其特征在于，所述第二调节旋钮、拨杆、以及第一调节旋钮均设有刻度标识和阻尼件。

11.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述探针模组为多个，多个所述探针模组环绕所述样品池的周向排布。

12.一种分析机台，其特征在于，包括：

13.如权利要求12所述的分析机台，其特征在于，还包括：承载板，所述承载板具有开口；所述样品池卡接于所述开口内。