一种由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构的制作方法

本技术涉及温度测量设备，尤其涉及一种由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构。

背景技术：

1、在真空环境向大气环境切换的工业场景中，温度传感器需同时应对“真空密封”与“大气压力冲击”双重需求。

2、真空状态下传感器内部为负压，切换至大气环境时，内外瞬时压差可达101kpa，传统全密封外壳易因压差产生不可逆形变，导致结构损坏。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，解决了传统全密封外壳易因压差产生不可逆形变，导致结构损坏的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，包括反应腔体、外壳、冷媒水道、加热盘、加热电丝、连接套和密封机构，所述连接套与所述反应腔体固定连接，并位于所述反应腔体的内部，所述加热盘设置在所述连接套的上方，所述密封机构设置在所述连接套的下方，所述加热电丝设置在所述加热盘的内部，所述外壳与所述加热盘螺栓连接，并包覆在所述冷媒水道和所述加热盘的外侧，所述k型热电偶穿过所述连接套，并位于所述加热盘的内部。

3、其中，所述密封机构包括转接盘、第一密封环、第二密封环和两个固定组件，所述转接盘包覆在所述连接套的外侧，所述转接盘与所述连接套和所述反应腔体螺栓连接，所述转接盘的表面设置有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽设置在所述反应腔体的一侧，所述第二凹槽设置在所述连接套的一侧，所述第一密封环设置在所述第一凹槽的内部，所述第二密封环设置在所述第二凹槽的外侧，两个所述固定组件设置在所述转接盘的一侧。

4、其中，每个所述固定组件包括连接杆和固定套，所述连接杆的一端穿过所述连接套，所述连接杆的另一端与所述加热盘固定连接，所述固定套与所述连接杆螺纹连接，并位于所述转接盘的一侧。

5、其中，所述由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构还包括接头，所述接头穿过所述连接套与所述加热电丝固定连接。

6、本实用新型的一种由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，所述连接套与所述反应腔体固定连接，并位于所述反应腔体的内部，所述加热盘设置在所述连接套的上方，所述密封机构设置在所述连接套的下方，所述加热电丝设置在所述加热盘的内部，所述外壳与所述加热盘螺栓连接，并包覆在所述冷媒水道和所述加热盘的外侧，所述k型热电偶穿过所述连接套，并位于所述加热盘的内部，所述加热盘用于承载晶圆，所述加热电丝对所述加热盘进行加热，将冷却水注入到所述冷煤水道中可以对温度进行进一步调节，通过所述k型热电偶精确检测所述加热盘的温度，通过所述密封机构将将k型热电偶置于大气环境，从而解决了k型热电偶在真空环境下受压力影响的问题，并提升了k型热电偶的使用寿命。

1.一种由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，其特征在于，

2.如权利要求1所述的由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，其特征在于，

4.如权利要求3所述的由真空环境优化至大气环境的温度传感器结构，其特征在于，