加速度传感器的制作方法

本公开涉及加速度传感器。

背景技术：

1、以往，作为具备形成于基板上的扭转弹簧、锚定件、惯性体以及检测电极的加速度传感器，例如提出了专利文献1所记载的加速度传感器。专利文献1所记载的加速度传感器具备：惯性体，相对于基板为悬置状态，在从外部施加有加速度时在x、y、z三轴的各方向上位移；锚定件，与半导体基板连接；以及扭转弹簧，将惯性体与锚定件相连。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2017/194376号

技术实现思路

1、专利文献1所记载的加速度传感器中，当扭转弹簧弯曲时惯性体在x方向上位移，当扭转弹簧伸缩时惯性体在y方向上位移，当扭转弹簧扭转时惯性体在z方向上位移，利用检测电极，检测与惯性体的位移相伴的静电电容的变化。该加速度传感器中，通过检测当惯性体在x、y、z各方向上位移时产生的静电电容的变化，能够检测三个方向上的加速度。

2、在此，扭转弹簧在x、y、z中的一个方向上与所施加的加速度的大小成比例地线性变形。另一方面，扭转弹簧若同时受到多个方向的加速度，则引起弯曲、伸缩、扭转中的两个以上的变形，非线性地变形。上述的加速度传感器在扭转弹簧非线性地变形时，在相对于静电电容的变化、即所施加的加速度的输出信号中可能产生噪声从而产生误差。另外，在扭转弹簧产生了非线性的变形的情况下，难以通过对来自检测电极的输出信号进行电子电路中的运算校正来降低噪声。

3、本公开鉴于上述的点，目的在于提供加速度传感器，其具备扭转弹簧、锚定件、惯性体以及检测电极，相对于z方向的加速度选择性地产生惯性体的位移，扭转弹簧的非线性的位移被抑制，能够低噪声地检测z方向的加速度。

4、根据本公开的一个观点，加速度传感器具备：基板；框体形状的惯性体，相对于基板为悬置状态；至少一个第一锚定件，设置在基板中的由惯性体包围的区域内，并固定于基板；至少一组扭转弹簧，相对于基板为悬置状态，将惯性体与第一锚定件相连；至少一个第二锚定件，设置于基板中的与第一锚定件不同的位置，并固定于基板；以及至少一个板簧，相对于基板为悬置状态，沿着惯性体的外形并且在与一组扭转弹簧正交的方向上延伸设置，将第二锚定件与惯性体相连；一组扭转弹簧配置在同一直线上，板簧的延伸设置方向上的中心位置位于配置一组扭转弹簧的直线上，惯性体的重心的位置相对于一组扭转弹簧的位置偏移。

5、该加速度传感器具有相对于扭转弹簧正交的板簧、以及与经由扭转弹簧而与惯性体连接的第一锚定件不同的第二锚定件，第二锚定件与板簧连接。并且，惯性体的重心的位置相对于一组扭转弹簧的位置偏移。加速度传感器在被施加x、y方向的加速度的情况下板簧不位移而抑制惯性体的位移，另一方面，在被施加z方向的加速度的情况下板簧能够位移，惯性体能够旋转。由此，该加速度传感器对于z方向的加速度选择性地产生惯性体的位移，扭转弹簧的非线性位移被抑制，因此能够以低噪声检测z方向的加速度。

6、此外，对各构成要素等标注的带括号的参照附图标记表示该构成要素等与后述的实施方式所记载的具体的构成要素等的对应关系的一个例子。

1.一种加速度传感器，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的加速度传感器，其特征在于，